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1. 发明专利

TW201826031A 多光子吸收微影加工系統审中-公开
简体标题：多光子吸收微影加工系统
公开(公告)号：TW201826031A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106100703
申请日：2017-01-10
申请人：國立清華大學 , NATIONAL TSING HUA UNIVERSITY
发明人：傅建中 , FU, CHIEN-CHUNG , 葉哲瑋 , YEH, CHE-WEI
IPC分类号： G03F7/20 , G03F7/213
摘要：一種多光子吸收微影加工系統，用以加工一待加工物。多光子吸收微影加工系統包括一飛秒雷射光源、一空間光調變器、一透鏡陣列及一載台。飛秒雷射光源用以發出一飛秒雷射光束，空間光調變器配置於飛秒雷射光束的傳遞路徑上，以將飛秒雷射光束調變成一調制光束。透鏡陣列配置於調制光束的傳遞路徑上，以將調制光束分成多道子光束，並使這些子光束分別聚焦於位於待加工物的多個位置點上，以在這些位置點上產生多光子吸收反應。載台用以承載待加工物。載台與透鏡陣列適於在三個維度上相對移動。
简体摘要：一种多光子吸收微影加工系统，用以加工一待加工物。多光子吸收微影加工系统包括一飞秒激光光源、一空间光调制器、一透镜数组及一载台。飞秒激光光源用以发出一飞秒激光光束，空间光调制器配置于飞秒激光光束的传递路径上，以将飞秒激光光束调制成一调制光束。透镜数组配置于调制光束的传递路径上，以将调制光束分成多道子光束，并使这些子光束分别聚焦于位于待加工物的多个位置点上，以在这些位置点上产生多光子吸收反应。载台用以承载待加工物。载台与透镜数组适于在三个维度上相对移动。

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