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    • 4. 发明专利
    • 一種氮化矽非氧坩堝之製造方法
    • 一种氮化硅非氧坩埚之制造方法
    • TW201706232A
    • 2017-02-16
    • TW104126615
    • 2015-08-14
    • 和成欣業股份有限公司
    • 劉哲原陳世傑
    • C04B35/586B01L3/04
    • 一種氮化矽無氧坩堝之製造方法,包括以下步驟:將一混合粉末加入一液體中,並均勻混合該液體以及該混合粉末以形成一混合物,其中該混合粉末係由一矽粉末及一氮化矽粉末所混合而成,其中該矽粉末佔該混合粉末之重量百分比係大於或等於50%且小於或等於100%,且其中該氮化矽粉末佔該混合粉末之重量百分比係大於0%且小於或等於50%;將該混合物置入一模具中,以形成一坩堝生坯;以及於一無氧氣體環境下加熱該坩堝生坯,其中該無氧氣體環境包含一氮氣,其中該坩堝生坯中之該矽粉末與該氮氣經加熱反應而成氮化矽,使該坩堝生坯燒結而形成一氮化矽無氧坩堝。
    • 一种氮化硅无氧坩埚之制造方法,包括以下步骤:将一混合粉末加入一液体中,并均匀混合该液体以及该混合粉末以形成一混合物,其中该混合粉末系由一硅粉末及一氮化硅粉末所混合而成,其中该硅粉末占该混合粉末之重量百分比系大于或等于50%且小于或等于100%,且其中该氮化硅粉末占该混合粉末之重量百分比系大于0%且小于或等于50%;将该混合物置入一模具中,以形成一坩埚生坯;以及于一无氧气体环境下加热该坩埚生坯,其中该无氧气体环境包含一氮气,其中该坩埚生坯中之该硅粉末与该氮气经加热反应而成氮化硅,使该坩埚生坯烧结而形成一氮化硅无氧坩埚。