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    • 4. 发明专利
    • 半導體積體電路
    • 半导体集成电路
    • TW201333488A
    • 2013-08-16
    • TW101136882
    • 2012-10-05
    • 愛思開海力士有限公司SK HYNIX INC.
    • 丘泳埈KU, YOUNG JUN
    • G01R31/26
    • G01R31/318513G01R31/2853G01R31/31717H01L22/22H01L23/481H01L2924/0002H01L2924/00012H01L2924/00
    • 一種半導體積體電路包括經由貫孔而彼此耦合之複數半導體晶片,其中該等複數半導體晶片中的一最下方半導體晶片係配置成產生一第一測試脈衝訊號,並經由該貫孔而傳送該第一測試脈衝訊號;該等複數半導體晶片中的一最上方半導體晶片係配置成產生一第二測試脈衝訊號,同時實質維持與該第一測試脈衝訊號之一時間差,並經由該貫孔而傳送該第二測試脈衝訊號;以及該等複數半導體晶片係配置成響應於該第一測試脈衝訊號與該第二測試脈衝訊號而產生測試結果訊號,以用於判定該等貫孔是否有缺陷。
    • 一种半导体集成电路包括经由贯孔而彼此耦合之复数半导体芯片,其中该等复数半导体芯片中的一最下方半导体芯片系配置成产生一第一测试脉冲信号,并经由该贯孔而发送该第一测试脉冲信号;该等复数半导体芯片中的一最上方半导体芯片系配置成产生一第二测试脉冲信号,同时实质维持与该第一测试脉冲信号之一时间差,并经由该贯孔而发送该第二测试脉冲信号;以及该等复数半导体芯片系配置成响应于该第一测试脉冲信号与该第二测试脉冲信号而产生测试结果信号,以用于判定该等贯孔是否有缺陷。