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    • 5. 发明专利
    • 半導體裝置及其製造方法
    • 半导体设备及其制造方法
    • TW201832338A
    • 2018-09-01
    • TW106130435
    • 2017-09-06
    • 南亞科技股份有限公司NANYA TECHNOLOGY CORPORATION
    • 林柏均LIN, PO-CHUN朱金龍CHU, CHIN-LUNG
    • H01L23/522H01L23/488
    • 本揭露係關於一種半導體裝置及其製造方法,該半導體裝置具有由融熔接合技術形成之複數個接合的半導體元件。該等半導體元件具有複數個傳導部,其熱膨脹係數大於介電部的熱膨脹係數。在融熔接合技術之熱處理製程中,具有較高熱膨脹係數的傳導部的體積膨脹,可藉由凹部提供的膨脹空間予以容納。如此,藉由融熔接合技術接合該等半導體元件而形成的半導體裝置在兩個介電部之間的界面中不具有一橫向突出。因此,可以有效排除橫向突出造成的電性功能故障。
    • 本揭露系关于一种半导体设备及其制造方法,该半导体设备具有由融熔接合技术形成之复数个接合的半导体组件。该等半导体组件具有复数个传导部,其热膨胀系数大于介电部的热膨胀系数。在融熔接合技术之热处理制程中,具有较高热膨胀系数的传导部的体积膨胀,可借由凹部提供的膨胀空间予以容纳。如此,借由融熔接合技术接合该等半导体组件而形成的半导体设备在两个介电部之间的界面中不具有一横向突出。因此,可以有效排除横向突出造成的电性功能故障。