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    • 1. 发明专利
    • 質流控制器遲滯補償系統及方法 MASS FLOW CONTROLLER HYSTERESIS COMPENSATION SYSTEM AND METHOD
    • 质流控制器迟滞补偿系统及方法 MASS FLOW CONTROLLER HYSTERESIS COMPENSATION SYSTEM AND METHOD
    • TW201033777A
    • 2010-09-16
    • TW099101595
    • 2010-01-21
    • 先驅能源工業公司
    • 史摩諾夫 艾立克威斯特拉 麥克麥當 麥克
    • G05D
    • G05D7/0635Y10T137/0324Y10T137/7761Y10T137/7837
    • 一種特徵化磁滯作為一個裝置輸出之功能之方法,其係包含:施加一個橫跨一個第一輸入訊號範圍之輸入訊號至一個裝置,該輸入訊號係導致一個裝置功能,其係具有一個第一輸出,該第一輸出係具有一個根據該第一輸入訊號範圍之第一輸出值範圍。該輸入訊號係進一步施加橫跨一個第二輸入訊號範圍至該裝置,該輸入訊號導致該裝置功能以具有一個第二輸出,該第二輸出係具有一個根據(i)該第二輸入訊號範圍及(ii)裝置磁滯之第二輸出值範圍。接著,該第二輸入訊號範圍及該第一輸入訊號範圍之間之差於第一及第二輸出值範圍被測量。一種操作質流控制器閥之方法及一種質流控制器亦被揭示。
    • 一种特征化磁滞作为一个设备输出之功能之方法,其系包含:施加一个横跨一个第一输入信号范围之输入信号至一个设备,该输入信号系导致一个设备功能,其系具有一个第一输出,该第一输出系具有一个根据该第一输入信号范围之第一输出值范围。该输入信号系进一步施加横跨一个第二输入信号范围至该设备,该输入信号导致该设备功能以具有一个第二输出,该第二输出系具有一个根据(i)该第二输入信号范围及(ii)设备磁滞之第二输出值范围。接着,该第二输入信号范围及该第一输入信号范围之间之差于第一及第二输出值范围被测量。一种操作质流控制器阀之方法及一种质流控制器亦被揭示。