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    • 2. 发明专利
    • 用於定位載體物件上的多個放置位置的裝置和方法
    • 用于定位载体对象上的多个放置位置的设备和方法
    • TW201423896A
    • 2014-06-16
    • TW102144301
    • 2013-12-04
    • 先進科技新加坡有限公司ASM TECHNOLOGY SINGAPORE PTE LTD
    • 林鉅淦LAM, KUI KAM鄧諺羲TANG, YEN HSI陳文嶺CHAN, WENLING馮順明FUNG, SHUN MING
    • H01L21/68H05K13/04
    • G01B11/14G01B11/002G01B2210/52H01L21/681
    • 本發明公開了一種用於定位載體物件上多個放置位置的光學裝置,該光學裝置包含有:i)成像設備,其具有多個成像感測器,每個成像感測器被操作來捕獲載體物件上的選定行的放置位置的局部圖像,多個成像感測器確定聯合的視場,該聯合的視場包括所有的選定行的放置位置;ii)定位設備,其和成像設備相耦接,該定位設備被操作來相對於載體物件上的後續行的放置位置定位成像設備;以及iii)處理器,其連接至成像設備,該處理器被配置來接收由多個成像感測器所捕獲的圖像進行影像處理,以便於識別放置位置的確定位置,該放置位置包含在選定行的放置位置中。本發明還公開了一種定位載體物件上多個放置位置的方法。
    • 本发明公开了一种用于定位载体对象上多个放置位置的光学设备,该光学设备包含有:i)成像设备,其具有多个成像传感器,每个成像传感器被操作来捕获载体对象上的选定行的放置位置的局部图像,多个成像传感器确定联合的视场,该联合的视场包括所有的选定行的放置位置;ii)定位设备,其和成像设备相耦接,该定位设备被操作来相对于载体对象上的后续行的放置位置定位成像设备;以及iii)处理器,其连接至成像设备,该处理器被配置来接收由多个成像传感器所捕获的图像进行影像处理,以便于识别放置位置的确定位置,该放置位置包含在选定行的放置位置中。本发明还公开了一种定位载体对象上多个放置位置的方法。