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1. 发明专利

TW201741775A 雙面光刻裝置以及雙面光刻裝置中遮罩與工件的對準方法审中-公开
简体标题：双面光刻设备以及双面光刻设备中遮罩与工件的对准方法
公开(公告)号：TW201741775A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW105139412
申请日：2016-11-30
申请人：倍科有限公司 , BEAC CO., LTD.
发明人：河東和彦 , KATO, KAZUHIKO , 屋宜健勇 , YAGI, KENYU
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00
摘要：本發明係揭示一種雙面光刻裝置以及雙面光刻裝置中遮罩與工件的對準方法，其能夠在不移動和不轉動工件的情況下，將第一遮罩與第二遮罩、第一遮罩以及第二遮罩與工件進行對準。其具有使第一遮罩可沿xy平面移動的同時沿xy平面轉動的第一遮罩台；以及使第二遮罩可沿xy平面移動的同時沿xy平面轉動的第二遮罩台，其中，第二遮罩台能夠在第一遮罩臺上除第一遮罩台之外沿xy平面移動的同時沿xy平面轉動，並且，當第一遮罩台沿xy平面移動和轉動時，隨第一遮罩台一同沿xy平面移動和轉動。
简体摘要：本发明系揭示一种双面光刻设备以及双面光刻设备中遮罩与工件的对准方法，其能够在不移动和不转动工件的情况下，将第一遮罩与第二遮罩、第一遮罩以及第二遮罩与工件进行对准。其具有使第一遮罩可沿xy平面移动的同时沿xy平面转动的第一遮罩台；以及使第二遮罩可沿xy平面移动的同时沿xy平面转动的第二遮罩台，其中，第二遮罩台能够在第一遮罩台上除第一遮罩台之外沿xy平面移动的同时沿xy平面转动，并且，当第一遮罩台沿xy平面移动和转动时，随第一遮罩台一同沿xy平面移动和转动。

2. 发明专利

TWI676587B 離型膜剝離方法以及離型膜剝離裝置有权
简体标题：离型膜剥离方法以及离型膜剥离设备
公开(公告)号：TWI676587B
公开(公告)日：2019-11-11
申请号：TW107143151
申请日：2018-11-30
申请人：日商倍科有限公司 , BEAC CO., LTD.
发明人：河東和彦 , KATO, KAZUHIKO
IPC分类号： B65H41/00

3. 发明专利

TWI680703B 加強板貼附裝置有权
简体标题：加强板贴附设备
公开(公告)号：TWI680703B
公开(公告)日：2019-12-21
申请号：TW107124927
申请日：2018-07-19
申请人：日商倍科有限公司 , BEAC CO., LTD.
发明人：屋宜健勇 , YAGI, KENYU , 河東和彦 , KATO, KAZUHIKO
IPC分类号： H05K13/04 , B23P21/00

4. 发明专利

TWI690475B 薄膜構件黏貼裝置及方法有权
简体标题：薄膜构件黏贴设备及方法
公开(公告)号：TWI690475B
公开(公告)日：2020-04-11
申请号：TW108125497
申请日：2018-05-11
申请人：日商倍科有限公司 , BEAC CO., LTD.
发明人：河東和彦 , KATO, KAZUHIKO , 屋宜健勇 , YAGI, KENYU
IPC分类号： B65H37/04 , B65H41/00

5. 发明专利

TWI676586B 薄膜構件黏貼裝置及方法有权
简体标题：薄膜构件黏贴设备及方法
公开(公告)号：TWI676586B
公开(公告)日：2019-11-11
申请号：TW107116186
申请日：2018-05-11
申请人：日商倍科有限公司 , BEAC CO., LTD.
发明人：河東和彦 , KATO, KAZUHIKO , 屋宜健勇 , YAGI, KENYU
IPC分类号： B65H37/04 , B65H41/00

6. 发明专利

TWI616729B 雙面光刻裝置以及雙面光刻裝置中遮罩與工件的對準方法有权
简体标题：双面光刻设备以及双面光刻设备中遮罩与工件的对准方法
公开(公告)号：TWI616729B
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：TW105139412
申请日：2016-11-30
申请人：倍科有限公司 , BEAC CO., LTD.
发明人：河東和彦 , KATO, KAZUHIKO , 屋宜健勇 , YAGI, KENYU
IPC分类号： G03F7/20 , G03F9/00

7. 发明专利

TWI553424B 曝光裝置有权
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TWI553424B
公开(公告)日：2016-10-11
申请号：TW103138984
申请日：2014-11-11
申请人：倍科股份有限公司 , BEAC CO.,LTD.
发明人：河東和彥 , KATO, KAZUHIKO , 羽生慎一 , HANYU, SHINICHI
IPC分类号： G03F7/20

8. 发明专利

TW201617736A 曝光裝置审中-公开
简体标题：曝光设备
公开(公告)号：TW201617736A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：TW103138976
申请日：2014-11-11
申请人：倍科股份有限公司 , BEAC CO.,LTD.
发明人：河東和彥 , KATO, KAZUHIKO , 羽生慎一 , HANYU, SHINICHI
IPC分类号： G03F7/20 , G03F1/82
摘要：本發明的課題為提供一種捲對捲方式的曝光裝置，可自動地進行罩幕板的圖案面的除塵，且不會給予曝光動作影響而能進行罩幕板的圖案面的除塵。本發明的解決手段為一種曝光裝置，具備：曝光平台240，具有保持基板W的曝光台241，可沿著z軸與基板W一起升降；罩幕除塵部230，將由罩幕板210的後方側的端部210a沿著x軸離開規定間隔的第一位置x1與由罩幕板210的前方側端部210b沿著x軸離開規定間隔的第二位置x4之間當作往復運動時的可動範圍，一邊行進於該可動範圍內一邊進行對罩幕板210的圖案面M除塵的動作；罩幕除塵部控制裝置400，控制罩幕除塵部230的往復運動；及曝光平台控制裝置500，控制曝光平台240的升降。【代表圖】
简体摘要：本发明的课题为提供一种卷对卷方式的曝光设备，可自动地进行罩幕板的图案面的除尘，且不会给予曝光动作影响而能进行罩幕板的图案面的除尘。本发明的解决手段为一种曝光设备，具备：曝光平台240，具有保持基板W的曝光台241，可沿着z轴与基板W一起升降；罩幕除尘部230，将由罩幕板210的后方侧的端部210a沿着x轴离开规定间隔的第一位置x1与由罩幕板210的前方侧端部210b沿着x轴离开规定间隔的第二位置x4之间当作往复运动时的可动范围，一边行进于该可动范围内一边进行对罩幕板210的图案面M除尘的动作；罩幕除尘部控制设备400，控制罩幕除尘部230的往复运动；及曝光平台控制设备500，控制曝光平台240的升降。【代表图】

9. 发明专利

TW201540611A 構件貼附裝置审中-公开
简体标题：构件贴附设备
公开(公告)号：TW201540611A
公开(公告)日：2015-11-01
申请号：TW104112609
申请日：2015-04-20
申请人：倍科股份有限公司 , BEAC CO.,LTD.
发明人：河東和彥 , KATO, KAZUHIKO , 羽生慎一 , HANYU, SHINICHI
IPC分类号： B65C9/24 , B65C9/26
摘要：本發明的課題為提供一種構件貼附裝置，可藉由以短時間使接著劑層熔融或軟化而可使貼附動作高速化，並且可使作為應加熱的範圍的局部的範圍以外盡可能不加熱。本發明的解決手段為一種構件貼附裝置1，負壓吸引貼附構件20，藉由加熱接著劑層21將該負壓吸引的貼附構件20貼附於被貼附構件10的規定位置，包含：吸引頭100，在頂端部111具有吸引孔，並且在內部具有連通於吸引孔的空氣吸引路徑，在吸引孔負壓吸引貼附構件20；及雷射光輸出頭300，將雷射光照射於被吸引頭100吸引的貼附構件20以加熱接著劑層21，雷射光輸出頭300以自該雷射光輸出頭300輸出的雷射光通過空氣吸引路徑的方式被配設。【代表圖】
简体摘要：本发明的课题为提供一种构件贴附设备，可借由以短时间使接着剂层熔融或软化而可使贴附动作高速化，并且可使作为应加热的范围的局部的范围以外尽可能不加热。本发明的解决手段为一种构件贴附设备1，负压吸引贴附构件20，借由加热接着剂层21将该负压吸引的贴附构件20贴附于被贴附构件10的规定位置，包含：吸引头100，在顶端部111具有吸引孔，并且在内部具有连通于吸引孔的空气吸引路径，在吸引孔负压吸引贴附构件20；及激光光输出头300，将激光光照射于被吸引头100吸引的贴附构件20以加热接着剂层21，激光光输出头300以自该激光光输出头300输出的激光光通过空气吸引路径的方式被配设。【代表图】

10. 发明专利

TWI472469B 塑膠膜的剝離裝置有权
简体标题：塑胶膜的剥离设备
公开(公告)号：TWI472469B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：TW100106688
申请日：2011-03-01
申请人：倍科股份有限公司 , BEAC CO., LTD.
发明人：河東和彦 , KATO, KAZUHIKO , 羽生慎一 , HANYU, SHINICHI , 小池亮二 , KOIKE, RYOUJI
IPC分类号： B65H41/00
CPC分类号： B65H41/00 , B32B43/006 , B65H29/241 , B65H29/54 , B65H2406/351 , B65H2701/1942

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