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1. 发明专利

TW201330434A 多段式線性離子化棒及離子化晶胞审中-公开
简体标题：多段式线性离子化棒及离子化晶胞
公开(公告)号：TW201330434A
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：TW101112656
申请日：2012-04-10
申请人：伊利諾工具工程公司 , ILLINOIS TOOL WORKS, INC.
发明人：克勞希考艾雷克塞 , KLOCHKOV, ALEKSEY , 蓋夫特彼得 , GEFTER, PETER , 希曼史帝芬伯納德 , HEYMANN, STEVEN BERNARD , 帕特里基萊斯里W , PARTRIDGE, LESLIE W. , 布朗葛林伯利貝福德 , BROWN, GREENBERRY BEDFORD , 安托耐利馬修T , ANTONELLI, MATTHEW T.
IPC分类号： H01T23/00
CPC分类号： H01T23/00 , H01T19/00 , H05F3/04
摘要：本發明揭示一種具有至少四個元件之多段式線性離子化棒。第一，所揭示棒之可包括至少一個離子化晶胞，該至少一個離子化晶胞具有至少一個軸定義的線性離子發射極，該至少一個軸定義的線性離子發射極用於沿著該至少一個軸定義的線性離子發射極之長度建立離子雲。第二，所揭示之棒可包括至少一個參考電極。第三，所揭示之棒可包括歧管，該歧管用於自氣源接收氣體或空氣且用於輸送該氣體或空氣經過一或更多個線性發射極，以使得大體上無任何氣體/空氣流動至離子雲中。第四，所揭示之棒可包括用於接收及輸送之構件，該構件用於接收離子化電壓且用於將該離子化電壓輸送至一或更多個線性發射極，以藉此建立離子雲。以此方式，所揭示之離子化棒可將離子自電漿區域向電荷中和目標運輸，而不誘導線性發射極之實質振動且無到達線性發射極之來自氣體/空氣流之實質污染物。
简体摘要：本发明揭示一种具有至少四个组件之多段式线性离子化棒。第一，所揭示棒之可包括至少一个离子化晶胞，该至少一个离子化晶胞具有至少一个轴定义的线性离子发射极，该至少一个轴定义的线性离子发射极用于沿着该至少一个轴定义的线性离子发射极之长度创建离子云。第二，所揭示之棒可包括至少一个参考电极。第三，所揭示之棒可包括歧管，该歧管用于自气源接收气体或空气且用于输送该气体或空气经过一或更多个线性发射极，以使得大体上无任何气体/空气流动至离子云中。第四，所揭示之棒可包括用于接收及输送之构件，该构件用于接收离子化电压且用于将该离子化电压输送至一或更多个线性发射极，以借此创建离子云。以此方式，所揭示之离子化棒可将离子自等离子区域向电荷中和目标运输，而不诱导线性发射极之实质振动且无到达线性发射极之来自气体/空气流之实质污染物。

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