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    • 4. 发明专利
    • 膜厚量測方法及微波量測設備 METHOD OF MEASURING FILM THICKNESS AND MICROWAVE MEASURING UNIT
    • 膜厚量测方法及微波量测设备 METHOD OF MEASURING FILM THICKNESS AND MICROWAVE MEASURING UNIT
    • TWI227319B
    • 2005-02-01
    • TW092115651
    • 2003-06-10
    • 仁寶電腦工業股份有限公司 COMPAL ELECTRONICS, INC.
    • 鄧拔龍 DENQ, BAR LONG范光城 FAN, KUANG CHENG
    • G01BG01R
    • 一種膜厚量測方法及微波量測設備,係先提供一物體,再量測波長範圍在微波段的一訊號從一量測點到達物體表面所需的時間t0。然後,提供一待測物,其係經表面處理過的物體,其中物體表面具有一表面處理層物。之後,量測波長範圍在微波段的訊號從量測點到達待測物表面所需的時間t1,其中此處之訊號需與之前量測t0所用的訊號波長一樣。接著,利用訊號之波長λ與時間差(t0-t1)估算出物體的表面處理層物之膜厚d,其中估算公式為d=λ(t0-t1)。由於本發明透過訊號發射、反射及接收,並設定範圍在短波高頻之微波段來量測膜厚,所以可輕易且精確測得較薄的膜厚。
    • 一种膜厚量测方法及微波量测设备,系先提供一物体,再量测波长范围在微波段的一信号从一量测点到达物体表面所需的时间t0。然后,提供一待测物,其系经表面处理过的物体,其中物体表面具有一表面处理层物。之后,量测波长范围在微波段的信号从量测点到达待测物表面所需的时间t1,其中此处之信号需与之前量测t0所用的信号波长一样。接着,利用信号之波长λ与时间差(t0-t1)估算出物体的表面处理层物之膜厚d,其中估算公式为d=λ(t0-t1)。由于本发明透过信号发射、反射及接收,并设置范围在短波高频之微波段来量测膜厚,所以可轻易且精确测得较薄的膜厚。
    • 5. 发明专利
    • 膜厚量測方法及微波量測設備 METHOD OF MEASURING FILM THICKNESS AND MICROWAVE MEASURING UNIT
    • 膜厚量测方法及微波量测设备 METHOD OF MEASURING FILM THICKNESS AND MICROWAVE MEASURING UNIT
    • TW200427965A
    • 2004-12-16
    • TW092115651
    • 2003-06-10
    • 仁寶電腦工業股份有限公司 COMPAL ELECTRONICS, INC.
    • 鄧拔龍 DENQ, BAR LONG范光城 FAN, KUANG CHENG
    • G01BG01R
    • 一種膜厚量測方法及微波量測設備,係先提供一物體,再量測波長範圍在微波段的一訊號從一量測點到達物體表面所需的時間t0。然後,提供一待測物,其係經表面處理過的物體,其中物體表面具有一表面處理層物。之後,量測波長範圍在微波段的訊號從量測點到達待測物表面所需的時間t1,其中此處之訊號需與之前量測t0所用的訊號波長一樣。接著,利用訊號之波長λ與時間差(t0–t1)估算出物體的表面處理層物之膜厚d,其中估算公式為d=λ(t0–t1)。由於本發明透過訊號發射、反射及接收,並設定範圍在短波高頻之微波段來量測膜厚,所以可輕易且精確測得較薄的膜厚。
    • 一种膜厚量测方法及微波量测设备,系先提供一物体,再量测波长范围在微波段的一信号从一量测点到达物体表面所需的时间t0。然后,提供一待测物,其系经表面处理过的物体,其中物体表面具有一表面处理层物。之后,量测波长范围在微波段的信号从量测点到达待测物表面所需的时间t1,其中此处之信号需与之前量测t0所用的信号波长一样。接着,利用信号之波长λ与时间差(t0–t1)估算出物体的表面处理层物之膜厚d,其中估算公式为d=λ(t0–t1)。由于本发明透过信号发射、反射及接收,并设置范围在短波高频之微波段来量测膜厚,所以可轻易且精确测得较薄的膜厚。