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1. 发明专利

TW201628117A 雙層輸送處理裝置與雙層輸送處理方法审中-公开
简体标题：双层输送处理设备与双层输送处理方法
公开(公告)号：TW201628117A
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW104101829
申请日：2015-01-20
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：江勳偉 , CHIANG, HSUN WEI , 蔡宗錡 , TSAI, TSUNG CHI , 丁啓民 , TING, CHI MIN , 呂國榮
IPC分类号： B65G49/07 , H05K3/00
摘要：本發明揭露一種雙層輸送處理裝置。雙層輸送處理裝置包括上滾輪組、下滾輪組、滾輪平台以及處理單元。下滾輪組設於上滾輪組之下。滾輪平台於上滾輪組與下滾輪組之間移動。處理單元設於下滾輪組的第三端部與第四端部之間。基板由上滾輪組的第一端部輸送至上滾輪組的第二端。滾輪平台承接由上滾輪組的第二端部所送來的基板，滾輪平台將基板下移並輸送至下滾輪組的第三端部。基板由下滾輪組的第三端部輸送至下滾輪組的第四端部，以將基板輸送至外界。處理單元對基板噴灑液體，以進行製程處理。此外，一種雙層輸送處理方法亦被提出。
简体摘要：本发明揭露一种双层输送处理设备。双层输送处理设备包括上滚轮组、下滚轮组、滚轮平台以及处理单元。下滚轮组设于上滚轮组之下。滚轮平台于上滚轮组与下滚轮组之间移动。处理单元设于下滚轮组的第三端部与第四端部之间。基板由上滚轮组的第一端部输送至上滚轮组的第二端。滚轮平台承接由上滚轮组的第二端部所送来的基板，滚轮平台将基板下移并输送至下滚轮组的第三端部。基板由下滚轮组的第三端部输送至下滚轮组的第四端部，以将基板输送至外界。处理单元对基板喷洒液体，以进行制程处理。此外，一种双层输送处理方法亦被提出。

2. 发明专利

TWI595587B 雙層輸送處理裝置與雙層輸送處理方法有权
简体标题：双层输送处理设备与双层输送处理方法
公开(公告)号：TWI595587B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：TW104101829
申请日：2015-01-20
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：江勳偉 , CHIANG, HSUN WEI , 蔡宗錡 , TSAI, TSUNG CHI , 丁啓民 , TING, CHI MIN , 呂國榮
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07

3. 发明专利

TWI557841B 輸送處理裝置與輸送處理方法有权
简体标题：输送处理设备与输送处理方法
公开(公告)号：TWI557841B
公开(公告)日：2016-11-11
申请号：TW105103164
申请日：2016-02-01
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：詹益全 , CHAN, YI CHUAN , 丁啓民 , TING, CHI MIN , 陳志昂 , CHEN, CHIH ANG , 邱顯緯 , CHIU, HSIEN WEI
IPC分类号： H01L21/677

4. 发明专利

TWI623359B 基板清洗方法與清洗設備有权
简体标题：基板清洗方法与清洗设备
公开(公告)号：TWI623359B
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：TW106108967
申请日：2017-03-17
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：黃建凱 , HUANG, CHIEN KAI , 丁啓民 , TING, CHI MIN
IPC分类号： B08B3/04 , B08B3/02 , B08B11/00

5. 发明专利

TW201834756A 基板清洗方法與清洗設備审中-公开
简体标题：基板清洗方法与清洗设备
公开(公告)号：TW201834756A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW106108967
申请日：2017-03-17
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：黃建凱 , HUANG, CHIEN KAI , 丁啓民 , TING, CHI MIN
IPC分类号： B08B3/04 , B08B3/02 , B08B11/00
摘要：一種清洗設備，包括第一腔室、移動元件、滾輪組、承接元件及噴管元件。移動元件位於第一腔室內。滾輪組容置於第一腔室，承接元件位於第一腔室內，承接元件用以承接移動元件所傳送的基板。噴管元件位於第一腔室內，且噴管元件位於承接元件之下，噴管元件用以朝承接元件的簍空部內的基板的下表面噴灑液體。此外，一種基板清洗方法亦被提出。
简体摘要：一种清洗设备，包括第一腔室、移动组件、滚轮组、承接组件及喷管组件。移动组件位于第一腔室内。滚轮组容置于第一腔室，承接组件位于第一腔室内，承接组件用以承接移动组件所发送的基板。喷管组件位于第一腔室内，且喷管组件位于承接组件之下，喷管组件用以朝承接组件的篓空部内的基板的下表面喷洒液体。此外，一种基板清洗方法亦被提出。

6. 发明专利

TW201729325A 輸送處理裝置與輸送處理方法审中-公开
简体标题：输送处理设备与输送处理方法
公开(公告)号：TW201729325A
公开(公告)日：2017-08-16
申请号：TW105103164
申请日：2016-02-01
申请人：亞智科技股份有限公司 , MANZ TAIWAN LTD.
发明人：詹益全 , CHAN, YI CHUAN , 丁啓民 , TING, CHI MIN , 陳志昂 , CHEN, CHIH ANG , 邱顯煒 , CHIU, HSIEN WEI
IPC分类号： H01L21/677
摘要：本發明揭露一種輸送處理裝置，輸送處理裝置包含框架、第一輸送裝置、第二輸送裝置、第三輸送裝置、處理單元、第一滾輪平台及第二滾輪平台。第一、第二及第三輸送裝置分別位於框架中的中層、下層及上層平台。第一輸送裝置將基板由第一端部輸送至第二端部。第一滾輪平台將基板由第二端部移動至第二輸送裝置的第三端部。第二輸送裝置將基板由第三端部輸送至第四端部，處理單元對基板進行製程處理。第二滾輪平台將基板由第四端部移動至第三輸送裝置的第五端部。第三輸送裝置將基板由第五端部移動至第六端部。此外，一種輸送處理方法亦被提出。
简体摘要：本发明揭露一种输送处理设备，输送处理设备包含框架、第一输送设备、第二输送设备、第三输送设备、处理单元、第一滚轮平台及第二滚轮平台。第一、第二及第三输送设备分别位于框架中的中层、下层及上层平台。第一输送设备将基板由第一端部输送至第二端部。第一滚轮平台将基板由第二端部移动至第二输送设备的第三端部。第二输送设备将基板由第三端部输送至第四端部，处理单元对基板进行制程处理。第二滚轮平台将基板由第四端部移动至第三输送设备的第五端部。第三输送设备将基板由第五端部移动至第六端部。此外，一种输送处理方法亦被提出。

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