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    • 6. 实用新型
    • 長晶裝置之均勻過冷組件
    • 长晶设备之均匀过冷组件
    • TWM386302U
    • 2010-08-11
    • TW099205223
    • 2010-03-25
    • 中美矽晶製品股份有限公司
    • 藍崇文李采芳蔡亞陸謝兆坤許松林余文懷
    • C30B
    • 本創作之長晶裝置設有一容置長晶液相原料之坩鍋,該坩鍋邊側或周圍則設有加熱器,以對坩鍋內之液相原料進行加熱;其中,該坩鍋底部設有一均勻過冷組件,該均勻過冷組件至少設有一導熱材、一腔室以及流體控制結構,該導熱材係接觸設置於該坩鍋底部,該腔室係與該導熱材接觸,而該流體控制結構可控制流體是否流通於該腔室中,藉由流體控制結構使流體流通於腔室中,改變坩鍋底部之熱通量達到均勻過冷之效果,以全面性誘導孿生晶界之形成。
    • 本创作之长晶设备设有一容置长晶液相原料之坩锅,该坩锅边侧或周围则设有加热器,以对坩锅内之液相原料进行加热;其中,该坩锅底部设有一均匀过冷组件,该均匀过冷组件至少设有一导热材、一腔室以及流体控制结构,该导热材系接触设置于该坩锅底部,该腔室系与该导热材接触,而该流体控制结构可控制流体是否流通于该腔室中,借由流体控制结构使流体流通于腔室中,改变坩锅底部之热通量达到均匀过冷之效果,以全面性诱导孪生晶界之形成。