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1. 发明专利

TWI334381B 同時將至少兩個圓柱形工件切分成多個晶圓之方法 VERFAHREN ZUM GLEICHZEITIGEN AUFTRENNEN VON WENIGSTENS ZWEI ZYLINDRISCHEN 有权
简体标题：同时将至少两个圆柱形工件切分成多个晶圆之方法 VERFAHREN ZUM GLEICHZEITIGEN AUFTRENNEN VON WENIGSTENS ZWEI ZYLINDRISCHEN
公开(公告)号：TWI334381B
公开(公告)日：2010-12-11
申请号：TW096139653
申请日：2007-10-23
申请人：世創電子材料公司
发明人：安東修伯 , 亞歷山大海邁爾 , 克雷門斯萊德斯皮勒 , 赫穆特西侯佛
IPC分类号： B28D
CPC分类号： B28D5/042
摘要：本發明係關於一種利用線排長度為LG的多線鋸同時將至少兩個圓柱形工件切分成多個晶圓的方法，包括如下步驟：(a)從具有不同長度的工件庫存中選擇數量為n的工件，其中n＞＝2，使得滿足不等式(1)：同時使不等式(1)的右側之值盡可能大，其中Li表示所選工件的長度(i＝1...n)，Amin表示一預定之最小間距；(b)將n個工件沿縱向依次固定在一安裝板上，且各該工件間分別保持一間距A，其中A≧Amin，且所選之A係滿足不等式(2)：(c)將其上固定有工件之該安裝板夾緊在該多線鋸中；以及(d)利用該多線鋸，將該n個工件以垂直於其縱向軸線之方式切分。
本發明亦關於一種方法，其中晶圓堆在切割之後係藉由分隔片而彼此分隔開，且同時受到側向支撐。
简体摘要：本发明系关于一种利用线排长度为LG的多线锯同时将至少两个圆柱形工件切分成多个晶圆的方法，包括如下步骤：(a)从具有不同长度的工件库存中选择数量为n的工件，其中n＞＝2，使得满足不等式(1)：同时使不等式(1)的右侧之值尽可能大，其中Li表示所选工件的长度(i＝1...n)，Amin表示一预定之最小间距；(b)将n个工件沿纵向依次固定在一安装板上，且各该工件间分别保持一间距A，其中A≧Amin，且所选之A系满足不等式(2)：(c)将其上固定有工件之该安装板夹紧在该多线锯中；以及(d)利用该多线锯，将该n个工件以垂直于其纵向轴线之方式切分。本发明亦关于一种方法，其中晶圆堆在切割之后系借由分隔片而彼此分隔开，且同时受到侧向支撑。

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