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1. 发明专利

TW201817929A 自動進料系統及進料方法审中-公开
简体标题：自动进料系统及进料方法
公开(公告)号：TW201817929A
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：TW106107635
申请日：2017-03-08
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：汪燕 , WANG, YAN , 劉源 , LIU, YUAN
IPC分类号： C30B35/00
摘要：本發明提供了一種自動進料系統及進料方法，透過進料口向坩堝內進行填料，並且在填料過程中，透過液壓缸的上下運動使所述坩堝產生搖擺，令所述坩堝中所填的料分佈均勻。進一步的，監控裝置對稱重秤的讀數進行監測以控制該填料過程，若填料過程完成，關閉所述進料口，控制所述坩堝和/或所述多個進料口相對移動使所述坩堝對位於下一個進料口，繼續向所述坩堝內填料。本發明提供的自動進料系統及進料方法能夠避免人工填料時因操作不當造成坩堝破裂以及所填的料容易被雜質金屬污染的問題。
简体摘要：本发明提供了一种自动进料系统及进料方法，透过进料口向坩埚内进行填料，并且在填料过程中，透过液压缸的上下运动使所述坩埚产生摇摆，令所述坩埚中所填的料分布均匀。进一步的，监控设备对称重秤的读数进行监测以控制该填料过程，若填料过程完成，关闭所述进料口，控制所述坩埚和/或所述多个进料口相对移动使所述坩埚对位于下一个进料口，继续向所述坩埚内填料。本发明提供的自动进料系统及进料方法能够避免人工填料时因操作不当造成坩埚破裂以及所填的料容易被杂质金属污染的问题。

2. 发明专利

TWI615502B 白努利效應的底座及磊晶設備有权
简体标题：白努利效应的底座及磊晶设备
公开(公告)号：TWI615502B
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：TW105143707
申请日：2016-12-28
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：劉源 , LIU, YUAN , 汪燕 , WANG, YAN
IPC分类号： C23C16/458 , C30B29/06

3. 发明专利

TW201741509A 磊晶生長設備审中-公开
简体标题：磊晶生长设备
公开(公告)号：TW201741509A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW105135781
申请日：2016-11-03
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：劉源 , LIU, YUAN , 邦凡蒂保羅 , BONFANTI, PAOLO
IPC分类号： C30B25/08
摘要：本發明提供一種磊晶生長設備，所述磊晶生長設備包括一反應室，所述反應室的內表面設有反射層，所述反射層上設有保護層。本發明提供的磊晶生長設備，通過在反應室內表面的反射層上設置保護層，從而延緩所述反射層的表面在高溫下的形變，因此延長了所述反射層的使用壽命，降低了生產成本，提高了生產效率。
简体摘要：本发明提供一种磊晶生长设备，所述磊晶生长设备包括一反应室，所述反应室的内表面设有反射层，所述反射层上设有保护层。本发明提供的磊晶生长设备，通过在反应室内表面的反射层上设置保护层，从而延缓所述反射层的表面在高温下的形变，因此延长了所述反射层的使用寿命，降低了生产成本，提高了生产效率。

4. 发明专利

TW201741021A 一種吸附材料、吸附裝置及製備方法审中-公开
简体标题：一种吸附材料、吸附设备及制备方法
公开(公告)号：TW201741021A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW105134156
申请日：2016-10-21
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：劉源 , LIU, YUAN , 邦凡蒂保羅 , BONFANTI, PAOLO
IPC分类号： B01J20/22 , B01D15/20 , C02F1/28 , B01J20/30 , H01L21/22 , C02F101/10
摘要：本發明提供一種吸附材料、吸附裝置及製備方法，通過靜電紡絲將聚丙烯腈纖維置於聚四氟乙烯網版上，然後將磷酸吸收劑Ce3+離子通過黏合劑(三(2-胺基乙基)胺)結合於聚丙烯腈纖維上，通過Ce3+離子和磷酸鹽形成CePO4而實現吸附功能。所述聚丙烯腈纖維為黏結劑及磷酸鹽吸收劑提供了高活性部位，從而大大提高了本發明的吸附能力。將本發明用於濕式洗滌器中，可以使得濕式洗滌器能夠高效地過濾廢水中的磷。本發明材料及裝置的製備方法簡單，在廢水處理尤其是半導體廢水處理領域具有廣泛的應用前景。
简体摘要：本发明提供一种吸附材料、吸附设备及制备方法，通过静电纺丝将聚丙烯腈纤维置于聚四氟乙烯网版上，然后将磷酸吸收剂Ce3+离子通过黏合剂(三(2-胺基乙基)胺)结合于聚丙烯腈纤维上，通过Ce3+离子和磷酸盐形成CePO4而实现吸附功能。所述聚丙烯腈纤维为黏结剂及磷酸盐吸收剂提供了高活性部位，从而大大提高了本发明的吸附能力。将本发明用于湿式洗涤器中，可以使得湿式洗涤器能够高效地过滤废水中的磷。本发明材料及设备的制备方法简单，在废水处理尤其是半导体废水处理领域具有广泛的应用前景。

5. 发明专利

TWI664661B 用於預清洗機的水道裝置、預清洗機以及預清洗方法有权
简体标题：用于预清洗机的水道设备、预清洗机以及预清洗方法
公开(公告)号：TWI664661B
公开(公告)日：2019-07-01
申请号：TW107101769
申请日：2018-01-18
申请人：大陸商上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：劉源 , LIU, YUAN , 汪燕 , WANG, YAN
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67

6. 发明专利

TW201841283A 宏觀劃痕長度測量裝置审中-公开
简体标题：宏观划痕长度测量设备
公开(公告)号：TW201841283A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW106126978
申请日：2017-08-09
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：王燕 , WANG, YAN , 劉源 , LIU, YUAN
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/66
摘要：本發明提供一種宏觀劃痕長度測量裝置，包括：旋轉夾具，所述旋轉夾具的頂部沿其周向設有滑槽；光源；尺規，所述尺規的上表面沿其長度方向設有刻度，所述尺規的一端經由一固定裝置固定於所述滑槽處；所述固定裝置一端置於所述滑槽內，且可帶動所述尺規以所述固定裝置的軸向中心線為中心在平行於所述旋轉夾具上表面的平面內旋轉及帶動所述尺規沿所述滑槽的長度方向滑動。本發明的宏觀劃痕長度測量裝置可以在目檢的同時精確測量晶圓表面任意位置處的宏觀劃痕；本發明的宏觀劃痕長度測量裝置具有結構簡單、操作方便及測量精度高等優點。
简体摘要：本发明提供一种宏观划痕长度测量设备，包括：旋转夹具，所述旋转夹具的顶部沿其周向设有滑槽；光源；尺规，所述尺规的上表面沿其长度方向设有刻度，所述尺规的一端经由一固定设备固定于所述滑槽处；所述固定设备一端置于所述滑槽内，且可带动所述尺规以所述固定设备的轴向中心线为中心在平行于所述旋转夹具上表面的平面内旋转及带动所述尺规沿所述滑槽的长度方向滑动。本发明的宏观划痕长度测量设备可以在目检的同时精确测量晶圆表面任意位置处的宏观划痕；本发明的宏观划痕长度测量设备具有结构简单、操作方便及测量精度高等优点。

7. 发明专利

TWI633199B 一種磊晶爐矽片基座有权
简体标题：一种磊晶炉硅片基座
公开(公告)号：TWI633199B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：TW106128616
申请日：2017-08-23
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：劉源 , LIU, YUAN , 季文明 , JI, WENMING
IPC分类号： C23C16/24 , C23C16/44

8. 发明专利

TW201826424A 校正晶片及其製造方法审中-公开
简体标题：校正芯片及其制造方法
公开(公告)号：TW201826424A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106110385
申请日：2017-03-28
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：劉源 , LIU, YUAN , 邦凡蒂保羅 , BONFANTI, PAOLO
IPC分类号： H01L21/67
摘要：在本發明提供了一種校正晶片及其製造方法，所述校正晶片包括校正粒子和基板晶片，將二氧化鈰粒子作為校正粒子，因為二氧化鈰的熔點高不易被高能量雷射損傷，並且該二氧化鈰粒子有11種半徑大小；相應的所述基板晶片被劃分成M(M為1~11的自然數)個掃描區，每個掃描區內有2~6組半徑大小相同的所述校正粒子。當對半徑大小不同的粒子進行校正時，雷射光束在不同的掃描區內掃描，這樣避免了雷射光束照射在全部的粒子上，對粒子造成損傷。
简体摘要：在本发明提供了一种校正芯片及其制造方法，所述校正芯片包括校正粒子和基板芯片，将二氧化铈粒子作为校正粒子，因为二氧化铈的熔点高不易被高能量激光损伤，并且该二氧化铈粒子有11种半径大小；相应的所述基板芯片被划分成M(M为1~11的自然数)个扫描区，每个扫描区内有2~6组半径大小相同的所述校正粒子。当对半径大小不同的粒子进行校正时，激光光束在不同的扫描区内扫描，这样避免了激光光束照射在全部的粒子上，对粒子造成损伤。

9. 发明专利

TW201822288A 晶圓表面平坦度測量系統审中-公开
简体标题：晶圆表面平坦度测量系统
公开(公告)号：TW201822288A
公开(公告)日：2018-06-16
申请号：TW106115519
申请日：2017-05-10
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：牛景豪 , NIU, JINHAO , 劉源 , LIU, YUAN
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/67
摘要：本發明提供一種晶圓表面平坦度測量系統，包括：托盤、夾片夾、機械手臂、測量腔室及傳送裝置；托盤內設有通孔，夾片夾位於通孔的側壁上；測量腔室上設有與其內部相連通的入口；托盤處於垂直狀態時遠離機械手臂的一側設有與通孔相連通的開口；測量腔室內對應於入口的位置由上至下依次設有第一感測器、第二感測器及第三感測器；控制器，與第一感測器、第二感測器及第三感測器相連接。通過在測量腔室內設置第一感測器及第三感測器，可以測量托盤處於垂直狀態時與測量腔室入口的相對高度，並在托盤處於垂直狀態時的高度有偏差時及時予以自動調整，以確保托盤可以順利經由入口進入測量腔室，整個過程不需要人工作業，大大節省了人力，提高了工作效率。
简体摘要：本发明提供一种晶圆表面平坦度测量系统，包括：托盘、夹片夹、机械手臂、测量腔室及发送设备；托盘内设有通孔，夹片夹位于通孔的侧壁上；测量腔室上设有与其内部相连通的入口；托盘处于垂直状态时远离机械手臂的一侧设有与通孔相连通的开口；测量腔室内对应于入口的位置由上至下依次设有第一传感器、第二传感器及第三传感器；控制器，与第一传感器、第二传感器及第三传感器相连接。通过在测量腔室内设置第一传感器及第三传感器，可以测量托盘处于垂直状态时与测量腔室入口的相对高度，并在托盘处于垂直状态时的高度有偏差时及时予以自动调整，以确保托盘可以顺利经由入口进入测量腔室，整个过程不需要人工作业，大大节省了人力，提高了工作效率。

10. 发明专利

TWI618823B 自動進料系統及進料方法有权
简体标题：自动进料系统及进料方法
公开(公告)号：TWI618823B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW106107635
申请日：2017-03-08
申请人：上海新昇半導體科技有限公司 , ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
发明人：汪燕 , WANG, YAN , 劉源 , LIU, YUAN
IPC分类号： C30B35/00

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