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    • 1. 发明专利
    • 表面處理裝置
    • 表面处理设备
    • TW202026463A
    • 2020-07-16
    • TW108140677
    • 2019-11-08
    • 日商上村工業股份有限公司C. UYEMURA & CO., LTD.
    • 內海雅之UTSUMI, MASAYUKI竹內雅治TAKEUCHI, MASAHARU
    • C23C18/54
    • 本發明提供表面處理裝置,減少澆流式的表面處理裝置的處理液的飛散量。在各處理室的入口側和出口側具有膜形成機構。膜形成機構以流量5L/min~10L/min噴射不間斷的0.01 MPa 程度的層流狀的液體。該液體膜防止在飛散防止部件的表面反彈的液滴彈起而進入處理室。即使板狀工件晃動,由於由膜形成機構成的膜是液體,因此即使板狀工件與液體膜碰撞,液體也會沿板狀工件流動。由此,會減小板狀工件的晃動。減小各處理室內的空氣向搬運方向的流入量。
    • 本发明提供表面处理设备,减少浇流式的表面处理设备的处理液的飞散量。在各处理室的入口侧和出口侧具有膜形成机构。膜形成机构以流量5L/min~10L/min喷射不间断的0.01 MPa 程度的层流状的液体。该液体膜防止在飞散防止部件的表面反弹的液滴弹起而进入处理室。即使板状工件晃动,由于由膜形成机构成的膜是液体,因此即使板状工件与液体膜碰撞,液体也会沿板状工件流动。由此,会减小板状工件的晃动。减小各处理室内的空气向搬运方向的流入量。