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1. 发明专利

TWI336424B 負型光阻組合物 NEGATIVE RESIST COMPOSITION 有权
简体标题：负型光阻组合物 NEGATIVE RESIST COMPOSITION
公开(公告)号：TWI336424B
公开(公告)日：2011-01-21
申请号：TW094124598
申请日：2005-07-20
申请人：三養EMS股份有限公司
发明人：柳美善 , 文奉錫 , 裵琉璃 , 車爀鎮 , 李壽鉉 , 金永會 , 金碩根 , 趙行圭 , 朴陳圭 , 申大浩
IPC分类号： G03F
CPC分类号： G03F7/033 , C08F220/06 , C08F220/18 , C08F220/32 , C08F222/1006 , C09D4/06 , G03F7/0007 , G03F7/0751
摘要：在此揭示一用於液晶顯示元件的負型光阻組合物，其包括(a)3至40份重量份的黏合樹脂，其係由包括下列(i)至(iv)之單體的共聚物所組成；(i)10-50莫耳%之一種酸其包括一具有3至10個碳原子之不飽和基團、包括該不飽和基團之酸酐或其之混合物；(ii)5-50莫耳%之一含有一環氧取代基之(甲)丙烯酸衍生物，其中該環氧取代基具有3-10個碳原子；(iii)1-35莫耳%之一含有一烷基取代基的(甲)丙烯酸衍生物，其中該烷基取代基具有7-16個碳原子；(iv)5-55莫耳%之一含有一烷基取代基的(甲)丙烯酸衍生物，其中該烷基取代基具有1-6個碳原子；或一具有一不飽和雙鍵之包括4-14個碳原子的化合物，其係選自下列：(甲)丙烯酸甲酯、(甲)丙烯酸乙酯、(甲)丙烯酸丙酯、(甲)丙烯酸丁酯、(甲)丙烯酸戊酯、(甲)丙烯酸己酯、(甲)丙烯酸環己酯、(甲)丙烯酸異冰片酯、(甲)丙烯酸金剛烷酯、(甲)丙烯酸二環戊酯、(甲)丙烯酸二環戊烯酯、(甲)丙烯酸苯甲酯、(甲)丙烯酸2-甲氧乙酯、(甲)丙烯酸2-乙氧乙酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙醯氧苯乙烯、N-甲基順丁烯二醯亞胺、N-乙基順丁烯二醯亞胺、N-丙基順丁烯二醯亞胺、N-丁基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺、(甲)丙烯醯胺及N-甲基(甲)丙烯醯胺；(b)1至40份重量份之一(甲)丙烯醛單體，其包括至少3個(甲)丙烯醛基；(c)1至40份重量份之一(甲)丙烯醛單體，其包括一或兩個(甲)丙烯醛基；及(d)0.01至10份重量份之一光起始劑。藉由使用所揭示負型光阻組合物所生成的圖樣具有良好的物理性質，例如滯留比、圖樣穩定度、與基板間的黏合性、及生成圖樣後的耐化學性及在黏合製程或熱製程間絕佳的順服性所致之極低的碎裂度。
简体摘要：在此揭示一用于液晶显示组件的负型光阻组合物，其包括(a)3至40份重量份的黏合树脂，其系由包括下列(i)至(iv)之单体的共聚物所组成；(i)10-50莫耳%之一种酸其包括一具有3至10个碳原子之不饱和基团、包括该不饱和基团之酸酐或其之混合物；(ii)5-50莫耳%之一含有一环氧取代基之(甲)丙烯酸衍生物，其中该环氧取代基具有3-10个碳原子；(iii)1-35莫耳%之一含有一烷基取代基的(甲)丙烯酸衍生物，其中该烷基取代基具有7-16个碳原子；(iv)5-55莫耳%之一含有一烷基取代基的(甲)丙烯酸衍生物，其中该烷基取代基具有1-6个碳原子；或一具有一不饱和双键之包括4-14个碳原子的化合物，其系选自下列：(甲)丙烯酸甲酯、(甲)丙烯酸乙酯、(甲)丙烯酸丙酯、(甲)丙烯酸丁酯、(甲)丙烯酸戊酯、(甲)丙烯酸己酯、(甲)丙烯酸环己酯、(甲)丙烯酸异冰片酯、(甲)丙烯酸金刚烷酯、(甲)丙烯酸二环戊酯、(甲)丙烯酸二环戊烯酯、(甲)丙烯酸苯甲酯、(甲)丙烯酸2-甲氧乙酯、(甲)丙烯酸2-乙氧乙酯、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙酰氧苯乙烯、N-甲基顺丁烯二酰亚胺、N-乙基顺丁烯二酰亚胺、N-丙基顺丁烯二酰亚胺、N-丁基顺丁烯二酰亚胺、N-环己基顺丁烯二酰亚胺、(甲)丙烯酰胺及N-甲基(甲)丙烯酰胺；(b)1至40份重量份之一(甲)丙烯醛单体，其包括至少3个(甲)丙烯醛基；(c)1至40份重量份之一(甲)丙烯醛单体，其包括一或两个(甲)丙烯醛基；及(d)0.01至10份重量份之一光起始剂。借由使用所揭示负型光阻组合物所生成的图样具有良好的物理性质，例如滞留比、图样稳定度、与基板间的黏合性、及生成图样后的耐化学性及在黏合制程或热制程间绝佳的顺服性所致之极低的碎裂度。

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