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1. 发明专利

TW200841765A 平板顯示器薄膜沈積罩幕框架組合及用此之沈積至裝置 MASK FRAME ASSEMBLY FOR THIN FILM DEPOSITION OF FLAT PANEL DISPLAY AND DEPOSITION APPARATUS USING THE SAME 审中-公开
简体标题：平板显示器薄膜沉积罩幕框架组合及用此之沉积至设备 MASK FRAME ASSEMBLY FOR THIN FILM DEPOSITION OF FLAT PANEL DISPLAY AND DEPOSITION APPARATUS USING THE SAME
公开(公告)号：TW200841765A
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：TW097109737
申请日：2008-03-19
申请人：三星SDI股份有限公司 SAMSUNG SDI CO., LTD.
发明人：金善浩 SUN-HOE KIM , 魯碩原 SOK-WON NOH
IPC分类号： H05B
摘要：提供一種平板顯示器的薄膜沉積的罩幕框架組合及用此之沉積裝置,其包含被供應具有複數開口的一圖案部分的一圖案罩幕;與該圖案罩幕下緣部分耦合以支撐該圖案罩幕的一第一框架;及以水平或垂直方向與該第一框架耦合的一第二框架。該薄膜沉積的罩幕框架組合被裝設於用於沉積有機發光顯示器之一有機發光層之一沉積裝置處,以沉積一薄膜特定圖案於一基板上。此時,該第二框架係由具有小於形成該第一框架的一不脹鋼或SUS物質之一質量的一金屬及一合金其中之一形成,以針對薄膜組合實施輕量罩幕框架組合。因此,可輕易地針對薄膜組合處理輕量罩幕框架組合,及降低安置於該沉積裝置室中之一運輸裝置重量負載,藉此增加生產力。
简体摘要：提供一种平板显示器的薄膜沉积的罩幕框架组合及用此之沉积设备,其包含被供应具有复数开口的一图案部分的一图案罩幕;与该图案罩幕下缘部分耦合以支撑该图案罩幕的一第一框架;及以水平或垂直方向与该第一框架耦合的一第二框架。该薄膜沉积的罩幕框架组合被装设于用于沉积有机发光显示器之一有机发光层之一沉积设备处,以沉积一薄膜特定图案于一基板上。此时,该第二框架系由具有小于形成该第一框架的一不胀钢或SUS物质之一质量的一金属及一合金其中之一形成,以针对薄膜组合实施轻量罩幕框架组合。因此,可轻易地针对薄膜组合处理轻量罩幕框架组合,及降低安置于该沉积设备室中之一运输设备重量负载,借此增加生产力。

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