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    • 2. 发明专利
    • 具有可變體積型坩堝之沈積源
    • 具有可变体积型坩埚之沉积源
    • TW201628460A
    • 2016-08-01
    • TW104141910
    • 2015-12-14
    • 三星顯示器有限公司SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
    • 金旻首KIM, MIN SOO布鲁辛斯奇 瓦列里PRUSHINSKIY, VALERIY
    • H05B33/10
    • 一種具有可變體積型坩堝之沈積源包含:一坩堝,容置複數有機沈積物且具有複數個交疊結構;一加熱器,用於加熱坩堝及有機沈積物;及至少一噴嘴,排列於坩堝之一側,其中藉由交疊結構改變內部體積。 藉由此組態,可提供具有可變體積型坩堝之沈積源,具有如下優點:藉由快速且精確控制坩堝內外之壓力差且藉由改變其中容置有機沈積物之坩堝之體積以一起施加體積控制及熱能控制而使沈積角度保持較窄來減小陰影現象。 另外,可提供具有可變體積型坩堝之沈積源,能夠即使在於沈積之最後階段處存留少量有機沈積物時亦能使製程保持持續。
    • 一种具有可变体积型坩埚之沉积源包含:一坩埚,容置复数有机沉积物且具有复数个交叠结构;一加热器,用于加热坩埚及有机沉积物;及至少一喷嘴,排列于坩埚之一侧,其中借由交叠结构改变内部体积。 借由此组态,可提供具有可变体积型坩埚之沉积源,具有如下优点:借由快速且精确控制坩埚内外之压力差且借由改变其中容置有机沉积物之坩埚之体积以一起施加体积控制及热能控制而使沉积角度保持较窄来减小阴影现象。 另外,可提供具有可变体积型坩埚之沉积源,能够即使在于沉积之最后阶段处存留少量有机沉积物时亦能使制程保持持续。