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6. 发明专利

TWI320603B 平坦面板顯示器及平坦面板顯示器之製造方法 FLAT PANEL DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD OF FLAT PANEL DISPLAY 有权
简体标题：平坦皮肤显示器及平坦皮肤显示器之制造方法 FLAT PANEL DISPLAY AND MANUFACTURING METHOD OF FLAT PANEL DISPLAY
公开(公告)号：TWI320603B
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：TW095120229
申请日：2006-06-07
申请人：三星電子股份有限公司
发明人：金保成 , 吳俊鶴 , 李容旭
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L51/0533
摘要：本發明有關於一種顯示器裝置，包含一個絕緣基板；在該絕緣基板上且由一個通道區域所分隔的一個源極電極和一個汲極電極；一個形成於該通道區域內且形成在該汲極電極之至少一個部份上與在該源極電極之至少一個部份上的有機半導體層；及一個自我－組裝單層，該自我－組裝單層具有一個置於該有機半導體層與該源極電極之間的第一部份和一個置於該有機半導體層與該汲極電極之間的第二部份俾可降低在該等電極與該有機半導體層之間的接觸電阻。因此，本發明的實施例提供一種包括一個在其之性能方面被增強之TFT的顯示器裝置。 The present disclosure relates to a display device comprising an insulating substrate;a source electrode and a drain electrode on the insulating substrate and separated by a channel area;an organic semiconductor layer formed in the channel area and on at least a portion of the source electrode and at least a portion of the drain electrode;and a self－assembly monolayer having a first portion disposed between the organic semiconductor layer and the source electrode and a second portion disposed between the organic semiconductor layer and the drain electrode to reduce contact resistance between the electrodes and the organic semiconductor layer. Thus, embodiments of present invention provide a display device including a TFT that is enhanced in its performance. 【創作特點】發明概要
本發明提供一種性能提昇之包括TFT的顯示器裝置。
本發明之另一個特徵是為提供一種性能提昇之包括TFT之顯示器裝置的製造方法。
根據本發明之實施例，一種顯示器裝置包含一個絕緣基板；由一個通道區域所分隔的一個源極電極和一個汲極電極；一個形成於該通道區域內且形成在該汲極電極之至少一個部份上與在該源極電極之至少一個部份上的有機半導體層；及一個自我－組裝單層，該自我－組裝單層具有一個置於該有機半導體層與該源極電極之間的第一部份和一個在該有機半導體層與該汲極電極之間的第二部份俾可降低在該等電極與該有機半導體層之間的接觸電阻。
根據本發明的實施例，該自我－組裝單層覆蓋該源極電極與該汲極電極。
根據本發明的實施例，該源極電極與該汲極電極包含透明的導電金屬氧化物。
根據本發明的實施例，該源極電極與該汲極電極包含ITO或IZO中之一者。
根據本發明的實施例，該自我－組裝單層與該源極電極和該汲極電極化學結合。
根據本發明的實施例，該顯示器裝置更包含一個包圍該有機半導體層且曝露該通道區域的堤。
根據本發明的實施例，該自我－組裝單層包含鹵素取代芳基二鹵磷酸鹽、鹵素取代芳基鹵磷酸鹽、鹵素取代芳基磺醯鹵、鹵素取代苯甲醯鹵、鹵素取代芳基鹵化物、鹵素取代芳基三鹵矽烷、鹵素取代烷基三鹵矽烷及其之衍生物中之至少一者。
根據本發明的實施例，該自我－組裝單層包含鹵素取代萘基二鹵磷酸鹽、鹵素取代萘基鹵磷酸鹽、鹵素取代萘基磺醯鹵、鹵素取代萘基鹵化物、鹵素取代萘基三鹵矽烷、及其之衍生物中之至少一者。
根據本發明的實施例，該絕緣基板是為一個塑膠基板。
根據本發明的實施例，該有機半導體層包含稠五苯、3,4,9,10－苝四甲酸二酐(PTCDA)、寡噻吩、聚噻吩、及聚伸噻吩伸乙烯中之至少一者。
根據本發明的實施例，該顯示器裝置包含液晶顯示器裝置、有機發光二極體裝置、平坦面板顯示器裝置、與電泳指示顯示器裝置中之至少一者。
根據本發明的實施例，一種顯示器裝置的製造方法是被提供，該方法包含提供一個絕緣基板；於該絕緣基板上形成一個源極電極與一個汲極電極，其中，該源極電極與該汲極電極是由一個通道區域所分隔；引入一個自我－組裝單層材料到一個接近該源極電極與該汲極電極的區域；形成一個自我－組裝單層，該自我－組裝單層具有一個第一部份在該源極電極之至少一個部份上和一個第二部份在該汲極電極之至少一個部份上；及形成一個有機半導體層在該自我－組裝單層的至少一個部份附近及在該通道區域內。
根據本發明的實施例，該製造方法更包含在形成該源極電極與該汲極電極之前形成一個閘極電極於該絕緣基板上及一個閘極絕緣層於該閘極電極上，其中，形成該有機半導體層包含形成一個有機半導體材料區域於該閘極絕緣層上，與該自我－組裝單層，並且利用微影把該有機半導體材料區域定以圖案。
根據本發明的實施例，該製造方法更包含在形成該源極電極與該汲極電極之後形成一個包圍該通道且曝露該源極電極之至少一部份與該汲極電極之至少一部份的堤。
根據本發明的實施例，該有機半導體層是藉著噴墨法來被形成於該堤內。
根據本發明的實施例，一種顯示器是被提供，該顯示器包含：一個基板；一個形成於該基板上的有機薄膜電晶體；該有機薄膜電晶體包含：一個源極、一個汲極、一個置於該源極與該汲極之間的通道區域，該通道區域包括一個有機半導體材料；一個在與該通道區域相鄰之源極之一部份與該有機半導體材料之間的第一自我－組裝單層；及一個在與該通道區域相鄰之汲極之一部份與該有機半導體材料之間的第二自我－組裝單層。
根據本發明的實施例，該源極與該汲極中之至少一者包含一個透明導電氧化物。
根據本發明的實施例，該第一自我－組裝單層包含一個芳香族化合物。
根據本發明的實施例，該基板包含塑膠。
本發明之額外的特徵將會在後面的說明中陳述，有一部份將會由於該說明而清楚明白，或者可以藉著本發明的實施來學會。
圖式簡單說明
該等附圖，它們是被包括俾可提供本發明的進一步理解而且是被併合及構成本說明書的一部份，描繪本發明的實施例而且與該說明一起作用來經由範例實施例說明本發明的原理。
第1圖是為本發明之第一實施例之顯示器裝置的剖視圖。
第2a圖是為一個顯示當一個自我－組裝單層未被形成時該第一實施例之一個有機半導體層之表面的圖示。
第2b圖是為一個顯示當一個自我－組裝單層被形成時該第一實施例之有機半導體層之表面的圖示。
第3圖是為一個本發明之第一實施例的圖表。
第4a至4f圖是為描繪本發明之第一實施例之顯示器裝置之製造方法的剖視圖。
第5圖是為本發明之第二實施例之顯示器裝置的剖視圖。
简体摘要：本发明有关于一种显示器设备，包含一个绝缘基板；在该绝缘基板上且由一个信道区域所分隔的一个源极电极和一个汲极电极；一个形成于该信道区域内且形成在该汲极电极之至少一个部份上与在该源极电极之至少一个部份上的有机半导体层；及一个自我－组装单层，该自我－组装单层具有一个置于该有机半导体层与该源极电极之间的第一部份和一个置于该有机半导体层与该汲极电极之间的第二部份俾可降低在该等电极与该有机半导体层之间的接触电阻。因此，本发明的实施例提供一种包括一个在其之性能方面被增强之TFT的显示器设备。 The present disclosure relates to a display device comprising an insulating substrate;a source electrode and a drain electrode on the insulating substrate and separated by a channel area;an organic semiconductor layer formed in the channel area and on at least a portion of the source electrode and at least a portion of the drain electrode;and a self－assembly monolayer having a first portion disposed between the organic semiconductor layer and the source electrode and a second portion disposed between the organic semiconductor layer and the drain electrode to reduce contact resistance between the electrodes and the organic semiconductor layer. Thus, embodiments of present invention provide a display device including a TFT that is enhanced in its performance. 【创作特点】发明概要本发明提供一种性能提升之包括TFT的显示器设备。本发明之另一个特征是为提供一种性能提升之包括TFT之显示器设备的制造方法。根据本发明之实施例，一种显示器设备包含一个绝缘基板；由一个信道区域所分隔的一个源极电极和一个汲极电极；一个形成于该信道区域内且形成在该汲极电极之至少一个部份上与在该源极电极之至少一个部份上的有机半导体层；及一个自我－组装单层，该自我－组装单层具有一个置于该有机半导体层与该源极电极之间的第一部份和一个在该有机半导体层与该汲极电极之间的第二部份俾可降低在该等电极与该有机半导体层之间的接触电阻。根据本发明的实施例，该自我－组装单层覆盖该源极电极与该汲极电极。根据本发明的实施例，该源极电极与该汲极电极包含透明的导电金属氧化物。根据本发明的实施例，该源极电极与该汲极电极包含ITO或IZO中之一者。根据本发明的实施例，该自我－组装单层与该源极电极和该汲极电极化学结合。根据本发明的实施例，该显示器设备更包含一个包围该有机半导体层且曝露该信道区域的堤。根据本发明的实施例，该自我－组装单层包含卤素取代芳基二卤磷酸盐、卤素取代芳基卤磷酸盐、卤素取代芳基磺酰卤、卤素取代苯甲酰卤、卤素取代芳基卤化物、卤素取代芳基三卤硅烷、卤素取代烷基三卤硅烷及其之衍生物中之至少一者。根据本发明的实施例，该自我－组装单层包含卤素取代萘基二卤磷酸盐、卤素取代萘基卤磷酸盐、卤素取代萘基磺酰卤、卤素取代萘基卤化物、卤素取代萘基三卤硅烷、及其之衍生物中之至少一者。根据本发明的实施例，该绝缘基板是为一个塑胶基板。根据本发明的实施例，该有机半导体层包含稠五苯、3,4,9,10－苝四甲酸二酐(PTCDA)、寡噻吩、聚噻吩、及聚伸噻吩伸乙烯中之至少一者。根据本发明的实施例，该显示器设备包含液晶显示器设备、有机发光二极管设备、平坦皮肤显示器设备、与电泳指示显示器设备中之至少一者。根据本发明的实施例，一种显示器设备的制造方法是被提供，该方法包含提供一个绝缘基板；于该绝缘基板上形成一个源极电极与一个汲极电极，其中，该源极电极与该汲极电极是由一个信道区域所分隔；引入一个自我－组装单层材料到一个接近该源极电极与该汲极电极的区域；形成一个自我－组装单层，该自我－组装单层具有一个第一部份在该源极电极之至少一个部份上和一个第二部份在该汲极电极之至少一个部份上；及形成一个有机半导体层在该自我－组装单层的至少一个部份附近及在该信道区域内。根据本发明的实施例，该制造方法更包含在形成该源极电极与该汲极电极之前形成一个闸极电极于该绝缘基板上及一个闸极绝缘层于该闸极电极上，其中，形成该有机半导体层包含形成一个有机半导体材料区域于该闸极绝缘层上，与该自我－组装单层，并且利用微影把该有机半导体材料区域定以图案。根据本发明的实施例，该制造方法更包含在形成该源极电极与该汲极电极之后形成一个包围该信道且曝露该源极电极之至少一部份与该汲极电极之至少一部份的堤。根据本发明的实施例，该有机半导体层是借着喷墨法来被形成于该堤内。根据本发明的实施例，一种显示器是被提供，该显示器包含：一个基板；一个形成于该基板上的有机薄膜晶体管；该有机薄膜晶体管包含：一个源极、一个汲极、一个置于该源极与该汲极之间的信道区域，该信道区域包括一个有机半导体材料；一个在与该信道区域相邻之源极之一部份与该有机半导体材料之间的第一自我－组装单层；及一个在与该信道区域相邻之汲极之一部份与该有机半导体材料之间的第二自我－组装单层。根据本发明的实施例，该源极与该汲极中之至少一者包含一个透明导电氧化物。根据本发明的实施例，该第一自我－组装单层包含一个芳香族化合物。根据本发明的实施例，该基板包含塑胶。本发明之额外的特征将会在后面的说明中陈述，有一部份将会由于该说明而清楚明白，或者可以借着本发明的实施来学会。图式简单说明该等附图，它们是被包括俾可提供本发明的进一步理解而且是被并合及构成本说明书的一部份，描绘本发明的实施例而且与该说明一起作用来经由范例实施例说明本发明的原理。第1图是为本发明之第一实施例之显示器设备的剖视图。第2a图是为一个显示当一个自我－组装单层未被形成时该第一实施例之一个有机半导体层之表面的图标。第2b图是为一个显示当一个自我－组装单层被形成时该第一实施例之有机半导体层之表面的图标。第3图是为一个本发明之第一实施例的图表。第4a至4f图是为描绘本发明之第一实施例之显示器设备之制造方法的剖视图。第5图是为本发明之第二实施例之显示器设备的剖视图。

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