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    • 6. 发明专利
    • 多重閘極功率MOSFET元件
    • 多重闸极功率MOSFET组件
    • TW202011603A
    • 2020-03-16
    • TW107143259
    • 2018-12-03
    • 力芯科技股份有限公司PTEK TECHNOLOGY CO., LTD.
    • 湯銘TANG, MING焦世平CHIAO, SHIH PING
    • H01L29/40H01L29/43H01L29/66
    • 本揭露提供一種多重閘極功率MOSFET(功率金氧半場效電晶體)元件,該多重閘極功率MOSFET元件設置於一基底上。該多重閘極功率MOSFET元件包括一第一電晶體單元、一第二電晶體單元及一第一絕緣體。該第一電晶體單元具有一第一汲極柱、一第一源極柱及一第一閘極導體,該第一閘極導體設置於該第一汲極柱與該第一源極柱之間。該第二電晶體單元具有一第二汲極柱、一第二源極柱及一第二閘極導體,該第二閘極導體設置於該第二汲極柱及該第二源極柱之間。該第一絕緣體設置於該基底的上方及該第一閘極導體與該第二閘極導體之間。該第一絕緣體將該第二電晶體單元與該第一電晶體單元電絕緣。於操作期間,該第一電晶體單元及該第二電晶體單元共用一共源極及一共汲極,該第一閘極導體及該第二閘極導體的導電狀態被分開控制。
    • 本揭露提供一种多重闸极功率MOSFET(功率金氧半场效应管)组件,该多重闸极功率MOSFET组件设置于一基底上。该多重闸极功率MOSFET组件包括一第一晶体管单元、一第二晶体管单元及一第一绝缘体。该第一晶体管单元具有一第一汲极柱、一第一源极柱及一第一闸极导体,该第一闸极导体设置于该第一汲极柱与该第一源极柱之间。该第二晶体管单元具有一第二汲极柱、一第二源极柱及一第二闸极导体,该第二闸极导体设置于该第二汲极柱及该第二源极柱之间。该第一绝缘体设置于该基底的上方及该第一闸极导体与该第二闸极导体之间。该第一绝缘体将该第二晶体管单元与该第一晶体管单元电绝缘。于操作期间,该第一晶体管单元及该第二晶体管单元共享一共源极及一共汲极,该第一闸极导体及该第二闸极导体的导电状态被分开控制。