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    • 7. 发明专利
    • 一種以電漿方法處理製程廢氣與微粒的裝置 A PLASMA METHOD AND APPARATUS TO DISPOSE OF PROCESS WASTE GASES AND PARTICLES
    • 一种以等离子方法处理制程废气与微粒的设备 A PLASMA METHOD AND APPARATUS TO DISPOSE OF PROCESS WASTE GASES AND PARTICLES
    • TW200706688A
    • 2007-02-16
    • TW094126474
    • 2005-08-04
    • 財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心 INSTRUMENT TECHNOLOGY RESEARCH CENTER, NATIONAL APPLIED RESEARCH LABORATORIES
    • 高健薰 JIANN-SHIUN KAO,鍾炳中 PING-CHUNG CHUNG,潘漢昌 HAN-CHANG PAN,
    • C23C
    • 一種以電漿方法處理製程廢氣與微粒的裝置,係由一高密度電漿處理腔體及高效率靜電吸附板所組合而成,並直接加裝於製程機台腔體與抽氣幫浦之間。當製程機台腔體進行如薄膜及蝕刻等製程時,其所排出之氣體含有未反應之製程氣體、副產物氣體以及微粒等,在薄膜沉積階段,高密度電漿處理腔體能繼續將未反應之製程氣體完全反應,而高效率靜電吸附板則能將所有來自製程機台腔體或其後高密度電漿處理腔體所產生之微粒,吸附於靜電吸附板上;當製程機台腔體通入全氟化合物氣體作清潔腔體時,其所排出之氣體亦含有未反應之全氟化合物氣體及副產物氣體,此未反應之全氟化合物氣體亦繼續在高密度電漿處理腔體內被充分解離,然後將原先吸附在靜電吸附板上之微粒清除乾淨,達到同時處理全氟化合物氣體及微粒之目的。另外於處理全氟化合物氣體時可酌量加入催化氣體,增加對全氟化合物氣體之處理效率。最後所有氣體再經幫浦導入小型洗滌塔作最後處理。
    • 一种以等离子方法处理制程废气与微粒的设备,系由一高密度等离子处理腔体及高效率静电吸附板所组合而成,并直接加装于制程机台腔体与抽气帮浦之间。当制程机台腔体进行如薄膜及蚀刻等制程时,其所排出之气体含有未反应之制程气体、副产物气体以及微粒等,在薄膜沉积阶段,高密度等离子处理腔体能继续将未反应之制程气体完全反应,而高效率静电吸附板则能将所有来自制程机台腔体或其后高密度等离子处理腔体所产生之微粒,吸附于静电吸附板上;当制程机台腔体通入全氟化合物气体作清洁腔体时,其所排出之气体亦含有未反应之全氟化合物气体及副产物气体,此未反应之全氟化合物气体亦继续在高密度等离子处理腔体内被充分解离,然后将原先吸附在静电吸附板上之微粒清除干净,达到同时处理全氟化合物气体及微粒之目的。另外于处理全氟化合物气体时可酌量加入催化气体,增加对全氟化合物气体之处理效率。最后所有气体再经帮浦导入小型洗涤塔作最后处理。