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1. 发明专利

TW201337031A 施加電壓給ＣＶＤ反應器中之多個矽棒的裝置及其方法审中-公开
简体标题：施加电压给ＣＶＤ反应器中之多个硅棒的设备及其方法
公开(公告)号：TW201337031A
公开(公告)日：2013-09-16
申请号：TW101139128
申请日：2012-10-23
申请人：山特森西特股份有限公司 , CENTROTHERM SITEC GMBH
发明人：福瑪威爾佛萊德 , VOLLMAR, WILFRIED , 格蘭馬恩法蘭克 , GRUNDMANN, FRANK
IPC分类号： C23C16/44
CPC分类号： C23C16/24 , C23C16/4418 , H02M5/12 , H02M5/257
摘要：一種施加電壓給CVD反應器中之多個矽棒的裝置及其方法。設有，一串聯電路，該等矽棒可作為電阻器插入該串聯電路；至少一第一電流供應單元；至少一第二電流供應單元；至少一第三電流供應單元；及至少一短路裝置。該短路裝置適用於以可控的方式使該串聯電路的外端相連並接地。還設有至少一用於控制該第一、第二及第三電流供應單元與該短路裝置的控制單元，其中該第一電流供應單元具有複數個第一變壓器，該等第一變壓器之輸出端分別與至少一矽棒串聯，其中該第二電流供應單元具有複數個第二變壓器，該等第二變壓器之輸出端分別連接到串聯電路中的數個矽棒，與數目至少等於該等第一變壓器之各輸出端分別連接的矽棒。且該等第二變壓器與該等第一變壓器中的一或多個並聯，其中該第三電流供應單元具有與該等串聯之矽芯連接的輸出端，且該等輸出端與該等第一及第二變壓器並聯。該短路裝置具有一連接該串聯電路之外端的線路，該線路中設有至少一電阻器，或者一變壓器之二次側，以及設有至少一開關。該控制單元與至少一用於量測流過該電阻器之電流的電流錶或者用於量測該變壓器之一次側上之電壓的電壓錶連接。
简体摘要：一种施加电压给CVD反应器中之多个硅棒的设备及其方法。设有，一串联电路，该等硅棒可作为电阻器插入该串联电路；至少一第一电流供应单元；至少一第二电流供应单元；至少一第三电流供应单元；及至少一短路设备。该短路设备适用于以可控的方式使该串联电路的外端相连并接地。还设有至少一用于控制该第一、第二及第三电流供应单元与该短路设备的控制单元，其中该第一电流供应单元具有复数个第一变压器，该等第一变压器之输出端分别与至少一硅棒串联，其中该第二电流供应单元具有复数个第二变压器，该等第二变压器之输出端分别连接到串联电路中的数个硅棒，与数目至少等于该等第一变压器之各输出端分别连接的硅棒。且该等第二变压器与该等第一变压器中的一或多个并联，其中该第三电流供应单元具有与该等串联之硅芯连接的输出端，且该等输出端与该等第一及第二变压器并联。该短路设备具有一连接该串联电路之外端的线路，该线路中设有至少一电阻器，或者一变压器之二次侧，以及设有至少一开关。该控制单元与至少一用于量测流过该电阻器之电流的电流表或者用于量测该变压器之一次侧上之电压的电压表连接。

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