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热词
    • 1. 实用新型
    • 晶圓夾持裝置
    • 晶圆夹持设备
    • TWM429985U
    • 2012-05-21
    • TW101200775
    • 2012-01-12
    • 那達科技有限公司
    • 古立文張狄鴻
    • H01L
    • 一種晶圓夾持裝置,包括一第一環體、一第二環體、及複數個夾持構件,第一環體與第二環體為同軸旋轉地相鄰設置,每個夾持構件具有:以相異的徑向距離分別軸接於第一環體與第二環體的一第一軸接部與一第二軸接部、以及與第一軸接部及第二軸接部相接合的夾持臂,使得複數個夾持構件之夾持臂在第一環體與第二環體相對旋轉錯動時經由第一軸接部與第二軸接部的槓桿作用而共同擺動,以對應地夾持或釋放各種尺寸的晶圓。
    • 一种晶圆夹持设备,包括一第一环体、一第二环体、及复数个夹持构件,第一环体与第二环体为同轴旋转地相邻设置,每个夹持构件具有:以相异的径向距离分别轴接于第一环体与第二环体的一第一轴接部与一第二轴接部、以及与第一轴接部及第二轴接部相接合的夹持臂,使得复数个夹持构件之夹持臂在第一环体与第二环体相对旋转错动时经由第一轴接部与第二轴接部的杠杆作用而共同摆动,以对应地夹持或释放各种尺寸的晶圆。
    • 2. 实用新型
    • 多功能邏輯控制器
    • 多功能逻辑控制器
    • TWM340486U
    • 2008-09-11
    • TW097206929
    • 2008-04-23
    • 那達科技有限公司
    • 古立文
    • G05B
    • 一種多功能邏輯控制器,係包括至少一可程式I/O控制單元、串接
      界面、邏輯輸出控制單元及遠端通訊界面,其中,可程式I/O控制單元
      具有若干個I/O埠,以提供至少一組I/O信號輸出入、邏輯電壓値設定,
      該可程式I/O控制單元可根據各I/O埠之邏輯狀態與預設之動作邏輯狀
      態比對後,再輸出一動作邏輯信號,該串接界面連結可程式I/O控制單
      元,以提供每一個多功能邏輯控制器間之控制資料及邏輯狀態串接連
      結及資料傳遞,該邏輯輸出控制單元連結該可程式I/O控制單元,以根
      據該可程式I/O控制單元輸出之動作邏輯信號,予以決定一邏輯動作訊
      號輸出與否,該遠端通訊界面連結邏輯輸出控制單元,以藉由遠端之
      網路傳輸邏輯電壓値設定及相關控制參數給邏輯輸出控制單元,以構
      成一具相互串接、遠端遙控、傳輸及動作邏輯輸出之控制器。
    • 一种多功能逻辑控制器,系包括至少一可进程I/O控制单元、串接 界面、逻辑输出控制单元及远程通信界面,其中,可进程I/O控制单元 具有若干个I/O端口,以提供至少一组I/O信号输出入、逻辑电压値设置, 该可进程I/O控制单元可根据各I/O端口之逻辑状态与默认之动作逻辑状 态比对后,再输出一动作逻辑信号,该串接界面链接可进程I/O控制单 元,以提供每一个多功能逻辑控制器间之控制数据及逻辑状态串接连 结及数据传递,该逻辑输出控制单元链接该可进程I/O控制单元,以根 据该可进程I/O控制单元输出之动作逻辑信号,予以决定一逻辑动作讯 号输出与否,该远程通信界面链接逻辑输出控制单元,以借由远程之 网络传输逻辑电压値设置及相关控制参数给逻辑输出控制单元,以构 成一具相互串接、远程遥控、传输及动作逻辑输出之控制器。
    • 3. 实用新型
    • 晶圓索引器之雙重安全監視裝置
    • 晶圆索引器之双重安全监视设备
    • TWM356218U
    • 2009-05-01
    • TW097219999
    • 2008-11-07
    • 那達科技有限公司
    • 古立文
    • H01L
    • 一種晶圓索引器之雙重安全監視裝置,包含至少一第一安全監視器、至少一第二安全監視器及至少一總合示警控制器,其中,該第一安全監視裝置設置於一晶圓索引器(Wafer Indexer)之載台外圍的空間座標軸之垂直軸向(Z軸),以偵測載台內之晶圓是否超出載台範圍之外,該第二安全監視器設於相鄰於第一安全監視器之同軸向平行位置,以同時監測載台內之晶圓是否超出載台範圍之外,該總合示警控制器連結該第一安全監視器及第二安全監視器,以同時接收第一安全監視器及第二安全監視器對載台內晶圓之監測訊號,以使該第一安全監視器或第二安全監視器任一者偵測到載台內晶圓擺設位置超出範圍狀態下,由總合示警控制器發出一警報訊號示警維修及控制該晶圓索引器斷電停止運轉。
    • 一种晶圆索引器之双重安全监视设备,包含至少一第一安全监视器、至少一第二安全监视器及至少一总合示警控制器,其中,该第一安全监视设备设置于一晶圆索引器(Wafer Indexer)之载台外围的空间座标轴之垂直轴向(Z轴),以侦测载台内之晶圆是否超出载台范围之外,该第二安全监视器设于相邻于第一安全监视器之同轴向平行位置,以同时监测载台内之晶圆是否超出载台范围之外,该总合示警控制器链接该第一安全监视器及第二安全监视器,以同时接收第一安全监视器及第二安全监视器对载台内晶圆之监测信号,以使该第一安全监视器或第二安全监视器任一者侦测到载台内晶圆摆设位置超出范围状态下,由总合示警控制器发出一警报信号示警维修及控制该晶圆索引器断电停止运转。