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1. 发明专利

TW421843B 半導體製程及類似敏感製程的保護失效
简体标题：半导体制程及类似敏感制程的保护
公开(公告)号：TW421843B
公开(公告)日：2001-02-11
申请号：TW087102747
申请日：1998-02-25
申请人：萃取系統股份有限公司
发明人：歐雷格.P.基許科維基 , 戴文.A.金凱德
IPC分类号： H01L , G01N
CPC分类号： G03F7/70525 , G01N21/76 , G01N21/766 , G01N33/0037 , G03F7/70858 , G03F7/70916 , Y02A50/245 , Y10T436/173845
摘要：一檢測氣體試樣中低濃度胺和其它鹼污染的檢測系統。該系統可用於例如保護一敏感工藝。該檢測系統是設成檢查氣體中的多種胺，產生一與存在於取樣氣體中多種胺質子結合特性相關的化學計量讀數。一方面檢測系統包括至少兩個待檢氣體試樣通過的通道，至少一個轉換器(6)使多種胺轉換成NO，和至少一個化學發光NO檢測器(7)產生表示穿過空氣中NO濃度的信號。另一方面檢測系統包括至少兩個待檢氣體試樣通過的通道，一除胺器(120)不論對強或弱胺都具有高效清除能力，被結合在其中一個通道上，一轉換器(124)使多種胺轉換成NO，和至少一個化學發光NO檢測器(126)產生表示穿過空氣中NO濃度的信號。
简体摘要：一检测气体试样中低浓度胺和其它碱污染的检测系统。该系统可用于例如保护一敏感工艺。该检测系统是设成检查气体中的多种胺，产生一与存在于采样气体中多种胺质子结合特性相关的化学计量读数。一方面检测系统包括至少两个待检气体试样通过的信道，至少一个转换器(6)使多种胺转换成NO，和至少一个化学发光NO检测器(7)产生表示穿过空气中NO浓度的信号。另一方面检测系统包括至少两个待检气体试样通过的信道，一除胺器(120)不论对强或弱胺都具有高效清除能力，被结合在其中一个信道上，一转换器(124)使多种胺转换成NO，和至少一个化学发光NO检测器(126)产生表示穿过空气中NO浓度的信号。

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