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1. 发明专利

TW201904359A 用於處理工件的電漿反應裝置审中-公开
简体标题：用于处理工件的等离子反应设备
公开(公告)号：TW201904359A
公开(公告)日：2019-01-16
申请号：TW106129449
申请日：2017-08-30
申请人：中國北京北方華創微電子裝備有限公司
发明人：李興存
IPC分类号： H05H1/28 , H05H7/12 , H01J37/32
摘要：本發明提供一種用於處理工件的電漿反應裝置，其包括電子束產生腔、過濾裝置和製程腔，其中，電子束產生腔位於製程腔的外部，且通過過濾裝置與製程腔相連通，並且電子束產生腔包括電感耦合電漿源，該電感耦合電漿源用於產生第一電漿；過濾裝置用於使第一電漿在經過過濾裝置進入製程腔時，形成電子束，該電子束用於激發製程腔內的製程氣體產生第二電漿，該第二電漿用於處理工件。本發明提供的用於處理工件的電漿反應裝置，其可以降低電子溫度，從而可以解決因電子溫度過高引起的工件表面損傷的問題。
简体摘要：本发明提供一种用于处理工件的等离子反应设备，其包括电子束产生腔、过滤设备和制程腔，其中，电子束产生腔位于制程腔的外部，且通过过滤设备与制程腔相连通，并且电子束产生腔包括电感耦合等离子源，该电感耦合等离子源用于产生第一等离子；过滤设备用于使第一等离子在经过过滤设备进入制程腔时，形成电子束，该电子束用于激发制程腔内的制程气体产生第二等离子，该第二等离子用于处理工件。本发明提供的用于处理工件的等离子反应设备，其可以降低电子温度，从而可以解决因电子温度过高引起的工件表面损伤的问题。

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