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1. 发明专利

TW200938819A 評估測量値之方法 METHOD FOR EVALUATING A MEASURE VALUE 审中-公开
简体标题：评估测量値之方法 METHOD FOR EVALUATING A MEASURE VALUE
公开(公告)号：TW200938819A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：TW098106070
申请日：2009-02-26
申请人：英飛康股份有限公司 INFICON GMBH
发明人：威格里彼得 WAEGLI, PETER , 慕里斯費利克斯 MULLIS, FELIX
IPC分类号： G01J
CPC分类号： G01K11/3206 , G01B9/02044 , G01B9/0209 , G01B2290/25 , G01L9/0079
摘要：為使用一測量單元(5)來評估一測量値(12),該測量單元(5)包含一空腔(11),其對光線產生一種光學路徑長度差(dGap),該空腔(11)中的光學路徑長度差依據該測量値(12)的變化而發生變化,該測量値(12)的評估包括以下各步驟:‧藉助於光波導(4),經由配置在該光波導(4)之路徑中的耦合器(3),將白光源(2)的光(1)導入至空腔(11)中,‧藉助於該耦合器(3),將由空腔(11)反射回到光波導中的光(1')之至少一部份射出,且引導該反射的光(1')至光譜儀(6),‧以該光譜儀(6)來測得該反射的光(1')之光譜且產生光譜儀信號(8),‧將此光譜儀信號(8)引導至一計算單元(9)﹐其中此光譜儀信號(8)藉該計算單元(9)直接轉換成干涉光譜,且由該干涉光譜的强度曲線來求出各別的振幅極端値的位置,各別的該位置因此直接表示該空腔中光學路徑長度差之各別的値,其包括該測量値(12)。
简体摘要：为使用一测量单元(5)来评估一测量値(12),该测量单元(5)包含一空腔(11),其对光线产生一种光学路径长度差(dGap),该空腔(11)中的光学路径长度差依据该测量値(12)的变化而发生变化,该测量値(12)的评估包括以下各步骤:‧借助于光波导(4),经由配置在该光波导(4)之路径中的耦合器(3),将白光源(2)的光(1)导入至空腔(11)中,‧借助于该耦合器(3),将由空腔(11)反射回到光波导中的光(1')之至少一部份射出,且引导该反射的光(1')至光谱仪(6),‧以该光谱仪(6)来测得该反射的光(1')之光谱且产生光谱仪信号(8),‧将此光谱仪信号(8)引导至一计算单元(9)﹐其中此光谱仪信号(8)藉该计算单元(9)直接转换成干涉光谱,且由该干涉光谱的强度曲线来求出各别的振幅极端値的位置,各别的该位置因此直接表示该空腔中光学路径长度差之各别的値,其包括该测量値(12)。

2. 发明专利

TW200912269A 具有加熱器的真空量規頭配置 VACUUM GAUGE HEAD WITH HEATER 审中-公开
简体标题：具有加热器的真空量规头配置 VACUUM GAUGE HEAD WITH HEATER
公开(公告)号：TW200912269A
公开(公告)日：2009-03-16
申请号：TW097122503
申请日：2008-06-17
申请人：英飛康股份有限公司 INFICON GMBH
发明人：韓瑟曼漢斯傑寇 HANSJAKOB, HANSELMANN , 克里斯多夫克勞迪 CLAUDIO, CHRISTOFFEL , 都里士斯坦尼斯拉夫 STANISLAV, DURIS
IPC分类号： G01L , H05B
CPC分类号： G01L9/0075 , G01L19/04 , G01L19/0636 , G01L21/00
摘要：一種真空量規裝置,具有一個真空薄膜量規(8)及連接在真空薄膜量規(8)上與要測量的媒介物溝通連接的連接器(5,6)、一個與真空薄膜量規(8)電連接的電子裝置(34)、以及一個將真空薄膜量規(8)加熱到一個可事先規定的溫度値的加熱裝置(20,21),其中加熱裝置(20,21)將真空薄膜量規(8)整個圍繞住,因而形成一個加熱容器(20)。加熱容器(20)在連接器(5,6)所在的區域是作為一個被連接器(6)穿過的加熱器(20a),連接器(6)至少有部分區域與加熱器(20a)形成熱接觸。加熱器(20a)具有一個加熱用的熱源(21)。加熱容器(20)被一個絕熱套(22)整個圍繞住。
简体摘要：一种真空量规设备,具有一个真空薄膜量规(8)及连接在真空薄膜量规(8)上与要测量的媒介物沟通连接的连接器(5,6)、一个与真空薄膜量规(8)电连接的电子设备(34)、以及一个将真空薄膜量规(8)加热到一个可事先规定的温度値的加热设备(20,21),其中加热设备(20,21)将真空薄膜量规(8)整个围绕住,因而形成一个加热容器(20)。加热容器(20)在连接器(5,6)所在的区域是作为一个被连接器(6)穿过的加热器(20a),连接器(6)至少有部分区域与加热器(20a)形成热接触。加热器(20a)具有一个加热用的热源(21)。加热容器(20)被一个绝热套(22)整个围绕住。

3. 发明专利

TW200712465A 光學干涉壓力感測器 OPTICAL INTERFEROMETRIC PRESSURE SENSOR 失效
简体标题：光学干涉压力传感器 OPTICAL INTERFEROMETRIC PRESSURE SENSOR
公开(公告)号：TW200712465A
公开(公告)日：2007-04-01
申请号：TW095127727
申请日：2006-07-28
申请人：英飛康股份有限公司 INFICON GMBH
发明人：烏斯瓦克利 WAELCHLI, URS , 波爾畢爾曼 BJOERKMAN, PER , 海基薩里 SAARI, HEIKKI , 查寇安帝拉 ANTILA, JARKKO , 漢斯傑寇韓瑟曼 HANSELMANN, HANSJAKOB , 馬丁烏斯特 WUEEST, MARTIN
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G01L9/0079 , Y10T29/49769 , Y10T29/49776
摘要：一種電容式真空量測胞包含由Al2O3陶瓷或藍寶石材料製成之第一容體(1)、由Al2O3陶瓷或藍寶石材料製成且緊鄰該第一容體配置之薄膜片(2)以及由Al2O3陶瓷或藍寶石材料製成且位置相對於該薄膜片(2)之第二容體(4)。至少在第一容體(1)地中央區形成透光窗口(33),而此窗口(33)至少在薄膜片(2)的中央區域,薄膜片(2)的表面(31)係形成可以光學反射。光纖(37)係配置以饋送光進出薄膜片(2)的表面(31),透鏡(35)係放置在光纖(37)和窗口(33)之間,用以光學連接到薄膜片(2)的表面(31),使得配置可以形成量測區,藉由檢測Fabry–Perot干涉儀,可以決定薄膜片(2)的曲撓程度。
简体摘要：一种电容式真空量测胞包含由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成之第一容体(1)、由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成且紧邻该第一容体配置之薄膜片(2)以及由Al2O3陶瓷或蓝宝石材料制成且位置相对于该薄膜片(2)之第二容体(4)。至少在第一容体(1)地中央区形成透光窗口(33),而此窗口(33)至少在薄膜片(2)的中央区域,薄膜片(2)的表面(31)系形成可以光学反射。光纤(37)系配置以馈送光进出薄膜片(2)的表面(31),透镜(35)系放置在光纤(37)和窗口(33)之间,用以光学连接到薄膜片(2)的表面(31),使得配置可以形成量测区,借由检测Fabry–Perot干涉仪,可以决定薄膜片(2)的曲挠程度。

4. 发明专利

TW200907315A 校正方法及測定槽裝置之操作 PROCESS FOR CALIBRATION AND OPERATION FOR MEASURING CELL ARRANGEMENT 审中-公开
简体标题：校正方法及测定槽设备之操作 PROCESS FOR CALIBRATION AND OPERATION FOR MEASURING CELL ARRANGEMENT
公开(公告)号：TW200907315A
公开(公告)日：2009-02-16
申请号：TW097123830
申请日：2008-06-26
申请人：英飛康股份有限公司 INFICON GMBH
发明人：克利斯汀柏格 BERG, CHRISTIAN , 卡斯坦史崔特索 STRIETZEL, CARSTEN
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G01L27/005 , G01L21/00
摘要：為了對一真空測定單元配置進行校正,建議進行以下的方法:a)將該測定單元配置(1)與一校正裝置(10)相連接,將該測定終端(5)連接至一真空體積(58)且將該測定單元介面(8)經由一信號線(20)而連接至一校正運行控制器(11),且將該測定單元配置(1)接通;b)將該測定單元配置上的第一加熱溫度調整至一預設的固定値;c)藉由在真空體積(58)中產生至少一種預設壓力來進行該測定單元配置(1)之第一校正步驟,且同時測得該測定單元配置(1)和至少一參考測定單元(6)之真空測定信號,且將已測得的壓力値儲存在一校正資料記憶體(13)中;d)藉由一校正處理器(14)而由該測定單元配置(1)和該參考測定單元(6)所求出的差異値來求得多個補償値,且將這些差異値暫時儲存在該校正運行控制器(11)之校正資料記憶體(13)中;e)參考該參考測定單元(60),在不同的預設操作點所求出的不同的壓力値和溫度値時,藉由將已求出的補償値傳送至該測定單元資料記憶體(6)來調整該測定單元配置(1)。
简体摘要：为了对一真空测定单元配置进行校正,建议进行以下的方法:a)将该测定单元配置(1)与一校正设备(10)相连接,将该测定终端(5)连接至一真空体积(58)且将该测定单元界面(8)经由一信号线(20)而连接至一校正运行控制器(11),且将该测定单元配置(1)接通;b)将该测定单元配置上的第一加热温度调整至一默认的固定値;c)借由在真空体积(58)中产生至少一种默认压力来进行该测定单元配置(1)之第一校正步骤,且同时测得该测定单元配置(1)和至少一参考测定单元(6)之真空测定信号,且将已测得的压力値存储在一校正数据内存(13)中;d)借由一校正处理器(14)而由该测定单元配置(1)和该参考测定单元(6)所求出的差异値来求得多个补偿値,且将这些差异値暂时存储在该校正运行控制器(11)之校正数据内存(13)中;e)参考该参考测定单元(60),在不同的默认操作点所求出的不同的压力値和温度値时,借由将已求出的补偿値发送至该测定单元数据内存(6)来调整该测定单元配置(1)。

5. 发明专利

TW200639385A 真空量測計 VACUUM MEASURING GAUGE 审中-公开
简体标题：真空量测计 VACUUM MEASURING GAUGE
公开(公告)号：TW200639385A
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：TW095106989
申请日：2006-03-02
申请人：英飛康股份有限公司 INFICON GMBH
发明人：沃夫拉姆可奈普 KNAPP, WOLFRAM , 馬丁烏斯特 WUEST, MARTIN
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G01L21/32 , G01L21/12 , H01J1/3042 , H01J41/04
摘要：一電子發射陰極(6)由附著至由不銹鋼組成之一側壁(2)之一導電射極層(7)與一閘極(9)組成，其被固定於該射極層(7)之一凹射極表面內部一微小距離。陰極(6)包圍一含有圓柱形格子狀陽極(5)之反應區域(3)與由一直軸向絲極組成之中央離子收集器(4)。反映反應區(3)中之氣體濃度之一離子收集器電流(IIC)以一電流表(11)量測，同時一閘極電壓(VG)被保持於射極層(7)之接地電壓與一較高陽極電壓(VA)之間，且以一陽極電流(IA)被保持固定之方式被整流。射極層(7)可由碳奈米管、鑽石狀碳、一金屬或一金屬混合物或一半導體材料組成，例如，矽可以碳化物或鉬覆鍍。然而，射極表面亦可為例如，藉化學蝕刻粗糙化之側壁的內部表面一部分。閘極(9)可為一柵或它可由覆蓋分佈於射極區域之隔片之金屬膜的補片(patch)或一覆蓋設置於射極表面上之一電子穿透層之金屬膜製成。
简体摘要：一电子发射阴极(6)由附着至由不锈钢组成之一侧壁(2)之一导电射极层(7)与一闸极(9)组成，其被固定于该射极层(7)之一凹射极表面内部一微小距离。阴极(6)包围一含有圆柱形格子状阳极(5)之反应区域(3)与由一直轴向丝极组成之中央离子收集器(4)。反映反应区(3)中之气体浓度之一离子收集器电流(IIC)以一电流表(11)量测，同时一闸极电压(VG)被保持于射极层(7)之接地电压与一较高阳极电压(VA)之间，且以一阳极电流(IA)被保持固定之方式被整流。射极层(7)可由碳奈米管、钻石状碳、一金属或一金属混合物或一半导体材料组成，例如，硅可以碳化物或钼覆镀。然而，射极表面亦可为例如，藉化学蚀刻粗糙化之侧壁的内部表面一部分。闸极(9)可为一栅或它可由覆盖分布于射极区域之隔片之金属膜的补片(patch)或一覆盖设置于射极表面上之一电子穿透层之金属膜制成。

6. 发明专利

TW200615527A 洩漏檢測方法 A METHOD FOR LEAK DETECTION 审中-公开
简体标题：泄漏检测方法 A METHOD FOR LEAK DETECTION
公开(公告)号：TW200615527A
公开(公告)日：2006-05-16
申请号：TW094133891
申请日：2005-09-29
申请人：英飛康股份有限公司 INFICON GMBH
发明人：喬恩列比屈 LIEBICH, JOERN , 藍道夫羅福 ROLFF, RANDOLF , 拉夫奇連 KILIAN, RALF
IPC分类号： G01M
CPC分类号： G01M3/202
摘要：於洩漏偵測中，由一測試氣體所產生之訊號由干擾予以疊加，其當容器中之真空產生進行時會衰減，視容積訊號(MS)之負斜率而定，下指示界限(AG)被計算，在一歸零功能致動下，容積訊號(MS)未被減少至零，而僅減少至指示界限(AG)之位準，指示界限之任何超過將被視為洩漏，因此，洩漏偵測之最大靈敏度在任何時間皆被確保。
简体摘要：于泄漏侦测中，由一测试气体所产生之信号由干扰予以叠加，其当容器中之真空产生进行时会衰减，视容积信号(MS)之负斜率而定，下指示界限(AG)被计算，在一归零功能致动下，容积信号(MS)未被减少至零，而仅减少至指示界限(AG)之位准，指示界限之任何超过将被视为泄漏，因此，泄漏侦测之最大灵敏度在任何时间皆被确保。

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