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    • 84. 发明专利
    • 矩形基板的分割設備 RECTANGULAR SUBSTRATE DIVIDING APPARATUS
    • 矩形基板的分割设备 RECTANGULAR SUBSTRATE DIVIDING APPARATUS
    • TW200639973A
    • 2006-11-16
    • TW094141917
    • 2005-11-29
    • 迪思科股份有限公司 DISCO CORPORATION
    • 大河原聰 OHKAWARA, SATOSHI和泉邦治 IZUMI, KUNIHIRO石井茂 ISHII, SHIGERU小峰龍 KOMINE, RYU
    • H01L
    • H01L21/67132Y10S438/976Y10T156/1082Y10T156/1168Y10T156/1978
    • 本發明提供一矩形基板分割設備,其能於較小空間中分割一矩形基板、將藉著該分割形成為個別元件之裝置容置進入裝置盒子、及由一附加至該矩形基板背面之保護帶可靠及有效率地拾取該等裝置。此設備沿著該等已規劃分開線分開一矩形基板,一保護帶係附加至該矩形基板背面,且藉著已規劃之分開格子線在該矩形基板上分割複數裝置,以將該矩形基板分割成該等個別之裝置,及將該等裝置容置於裝置盒子中。在一切割–責任區域中,該矩形基板被送出卡匣、藉著一切割機構切割、且接著由一清洗機構所清洗。於一帶子剝離–責任區域中,以將被剝離之保護帶拾取該等裝置。於一裝置容置–責任區域中,該等被拾取之個別裝置係容置進入裝置盒子。
    • 本发明提供一矩形基板分割设备,其能于较小空间中分割一矩形基板、将借着该分割形成为个别组件之设备容置进入设备盒子、及由一附加至该矩形基板背面之保护带可靠及有效率地十取该等设备。此设备沿着该等已规划分开线分开一矩形基板,一保护带系附加至该矩形基板背面,且借着已规划之分开格子线在该矩形基板上分割复数设备,以将该矩形基板分割成该等个别之设备,及将该等设备容置于设备盒子中。在一切割–责任区域中,该矩形基板被送出卡匣、借着一切割机构切割、且接着由一清洗机构所清洗。于一带子剥离–责任区域中,以将被剥离之保护带十取该等设备。于一设备容置–责任区域中,该等被十取之个别设备系容置进入设备盒子。