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    • 72. 发明专利
    • 蝕刻液組成物及蝕刻方法
    • 蚀刻液组成物及蚀刻方法
    • TW201610234A
    • 2016-03-16
    • TW104124086
    • 2015-07-24
    • 關東化學股份有限公司KANTO KAGAKU KABUSHIKI KAISHA
    • 河野良KOUNO, RYOU清水壽和SHIMIZU, TOSHIKAZU
    • C23F1/44C23F1/20C23F1/26H01L21/3213
    • 本發明提供一種蝕刻液組成物及使用該蝕刻液組成物的蝕刻方法,該蝕刻液組成物可對金屬層疊膜的含Ti層和含Al層進行一次性蝕刻,並且在蝕刻過程中可使含In的金屬氧化物層的損傷減少,該金屬層疊膜包括由Ti或以Ti為主要成分的合金所形成的含Ti層、由Al或以Al為主要成分的合金所形成的含Al層、及含In的金屬氧化物層。本發明的蝕刻液組成物是用於對金屬層疊膜的含Ti層和含Al層進行一次性蝕刻的蝕刻液組成物,該金屬層疊膜包括由Ti或以Ti為主要成分的合金所形成的含Ti層、由Al或以Al為主要成分的合金所形成的含Al層、及含In的金屬氧化物層,該蝕刻液組成物包含氟化合物、及選自由磷的含氧酸、金屬鹽、有機溶劑、銨鹽和季銨化合物所構成的群組中的一種或兩種以上,並且呈酸性。
    • 本发明提供一种蚀刻液组成物及使用该蚀刻液组成物的蚀刻方法,该蚀刻液组成物可对金属层叠膜的含Ti层和含Al层进行一次性蚀刻,并且在蚀刻过程中可使含In的金属氧化物层的损伤减少,该金属层叠膜包括由Ti或以Ti为主要成分的合金所形成的含Ti层、由Al或以Al为主要成分的合金所形成的含Al层、及含In的金属氧化物层。本发明的蚀刻液组成物是用于对金属层叠膜的含Ti层和含Al层进行一次性蚀刻的蚀刻液组成物,该金属层叠膜包括由Ti或以Ti为主要成分的合金所形成的含Ti层、由Al或以Al为主要成分的合金所形成的含Al层、及含In的金属氧化物层,该蚀刻液组成物包含氟化合物、及选自由磷的含氧酸、金属盐、有机溶剂、铵盐和季铵化合物所构成的群组中的一种或两种以上,并且呈酸性。