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热词
    • 58. 发明专利
    • 微機電元件
    • 微机电组件
    • TW201538416A
    • 2015-10-16
    • TW104110919
    • 2015-04-02
    • 立錡科技股份有限公司RICHTEK TECHNOLOGY CORPORATION
    • 吳嘉昱WU, CHIA-YU林炯彣LIN, CHIUNG-WEN羅烱成LO, CHIUNG-CHENG
    • B81B7/02B81C1/00G01P15/125
    • G01P15/125G01P2015/0834
    • 本發明提出一種微機電元件,包含:一基板;一質量塊,其內部定義一中空結構,該質量塊與該基板構成至少兩個感測電容;至少兩個錨點結構,連接於該基板,且從剖面圖視之,該錨點結構分別落在該至少兩個感測電容的電容區域內;至少一個連桿構架,位於該中空結構中,與該錨點結構直接連接、或是藉由緩衝彈簧而與該錨點結構間接連接;以及複數個扭轉彈簧,位於該中空結構中,各扭轉彈簧一端連接於該質量塊,另一端連接於該連桿構架;其中,該至少兩個感測電容分別位於該扭轉彈簧之兩相對側,該質量塊可依該扭轉彈簧為軸而旋轉,使該至少兩個感測電容構成差分感測電容,且其中,在該質量塊和該基板的連接關係中,不具有不構成活動電極的質量塊。
    • 本发明提出一种微机电组件,包含:一基板;一质量块,其内部定义一中空结构,该质量块与该基板构成至少两个传感电容;至少两个锚点结构,连接于该基板,且从剖面图视之,该锚点结构分别落在该至少两个传感电容的电容区域内;至少一个连杆构架,位于该中空结构中,与该锚点结构直接连接、或是借由缓冲弹簧而与该锚点结构间接连接;以及复数个扭转弹簧,位于该中空结构中,各扭转弹簧一端连接于该质量块,另一端连接于该连杆构架;其中,该至少两个传感电容分别位于该扭转弹簧之两相对侧,该质量块可依该扭转弹簧为轴而旋转,使该至少两个传感电容构成差分传感电容,且其中,在该质量块和该基板的连接关系中,不具有不构成活动电极的质量块。