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    • 50. 发明专利
    • 用於缺陷偵測之裝置和方法及其程式 APPARATUS AND METHOD FOR DEFECT DETECTION AND PROGRAM THEREOF
    • 用于缺陷侦测之设备和方法及其进程 APPARATUS AND METHOD FOR DEFECT DETECTION AND PROGRAM THEREOF
    • TWI241405B
    • 2005-10-11
    • TW092114741
    • 2003-05-30
    • 大日本網板製造股份有限公司 DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.
    • 井根英一 EIICHI INE
    • G01N
    • G06K9/00G06K2209/19G06T7/001G06T2207/30141
    • 一參考遮罩產生部分(reference mask generating part)、檢驗遮罩產生單元(inspecting mask generating part)、缺陷偵測部分(defect detecting part)放置於一缺陷偵測裝置的控制部份(control part)之中。根據一檢驗物件基板(inspection object substrate)(一檢驗影像資料)之一被捕捉(captured)影像,該檢驗遮罩產生部分執行一將被檢驗之墊型圖樣(pad pattern)的輪廓(contour)平滑處理,且經由執行與該參考遮罩產生部分所產生的一參考遮罩資料之邏輯或(logical OR)運算來產生一檢驗遮罩資料。根據如此所產生的該檢驗遮罩資料,來檢驗該檢驗影像資料。進一步,該缺陷偵測部分執行先前已檢驗出之一特定缺陷的區域結合處理(region join processing)。於收集微(micro)缺陷以形成一缺陷之個例中,該缺陷偵測部分將其偵到為一缺陷,且接著產生一缺陷資料。因此,於該基板上缺陷的遺漏可被抑制,同時該影像處理可以高速來執行。
    • 一参考遮罩产生部分(reference mask generating part)、检验遮罩产生单元(inspecting mask generating part)、缺陷侦测部分(defect detecting part)放置于一缺陷侦测设备的控制部份(control part)之中。根据一检验对象基板(inspection object substrate)(一检验影像数据)之一被捕捉(captured)影像,该检验遮罩产生部分运行一将被检验之垫型图样(pad pattern)的轮廓(contour)平滑处理,且经由运行与该参考遮罩产生部分所产生的一参考遮罩数据之逻辑或(logical OR)运算来产生一检验遮罩数据。根据如此所产生的该检验遮罩数据,来检验该检验影像数据。进一步,该缺陷侦测部分运行先前已检验出之一特定缺陷的区域结合处理(region join processing)。于收集微(micro)缺陷以形成一缺陷之个例中,该缺陷侦测部分将其侦到为一缺陷,且接着产生一缺陷数据。因此,于该基板上缺陷的遗漏可被抑制,同时该影像处理可以高速来运行。