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31. 发明专利

TW201832888A 基板分斷系統审中-公开
简体标题：基板分断系统
公开(公告)号：TW201832888A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106121740
申请日：2017-06-29
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：上野勉 , UENO, TSUTOMU
IPC分类号： B28D5/00 , B28D7/04 , C03B33/033 , C03B33/07 , C03B33/03
摘要：本發明提供一種可省略作業者之檢查作業從而可提高裂斷後之作業效率之基板分斷系統。基板分斷系統1具有基板分斷裝置3、基板檢查裝置5、及基板搬送裝置11。基板分斷裝置3係用於切離貼合基板G之端部之裝置。貼合基板G具有：在表面形成有用於切離端材GL之劃線S之第1基板G1；及貼合於第1基板G1之背面之第2基板G2。基板檢查裝置5檢查貼合基板G之端部除去狀態。基板搬送裝置11使吸附貼合基板G之吸附部47a～d繞支柱41a之周圍旋轉而搬送貼合基板G。在吸附部47a～d之旋轉路徑上配置有基板分斷裝置3與基板檢查裝置5。
简体摘要：本发明提供一种可省略作业者之检查作业从而可提高裂断后之作业效率之基板分断系统。基板分断系统1具有基板分断设备3、基板检查设备5、及基板搬送设备11。基板分断设备3系用于切离贴合基板G之端部之设备。贴合基板G具有：在表面形成有用于切离端材GL之划线S之第1基板G1；及贴合于第1基板G1之背面之第2基板G2。基板检查设备5检查贴合基板G之端部除去状态。基板搬送设备11使吸附贴合基板G之吸附部47a～d绕支柱41a之周围旋转而搬送贴合基板G。在吸附部47a～d之旋转路径上配置有基板分断设备3与基板检查设备5。

32. 发明专利

TWI635549B 薄膜太陽能電池之加工溝槽檢測方法及加工溝槽檢測裝置有权
简体标题：薄膜太阳能电池之加工沟槽检测方法及加工沟槽检测设备
公开(公告)号：TWI635549B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：TW103133638
申请日：2014-09-26
申请人：日商三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：堀井良吾 , HORII, RYOGO
IPC分类号： H01L21/66 , H01L31/0465 , H01L31/18

33. 发明专利

TWI635058B 劃線裝置有权
简体标题：划线设备
公开(公告)号：TWI635058B
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：TW103137065
申请日：2014-10-27
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：成尾徹 , NARUO, TORU
IPC分类号： C03B33/10

34. 发明专利

TWI633069B 基板翻轉搬送裝置有权
简体标题：基板翻转搬送设备
公开(公告)号：TWI633069B
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：TW103113732
申请日：2014-04-15
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：上野勉 , UENO, TSUTOMU
IPC分类号： C03B33/02 , B65G49/06

35. 发明专利

TWI630059B 基板吸附裝置及工作台有权
简体标题：基板吸附设备及工作台
公开(公告)号：TWI630059B
公开(公告)日：2018-07-21
申请号：TW105139368
申请日：2016-11-30
申请人：日商三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：堀井良吾 , HORII, RYOGO , 野崎正和 , NOZAKI, MASAKAZU
IPC分类号： B23Q3/00 , H01L21/683

36. 发明专利

TWI630052B 雷射加工裝置、及具有圖案之基板之加工條件設定方法有权
简体标题：激光加工设备、及具有图案之基板之加工条件设置方法
公开(公告)号：TWI630052B
公开(公告)日：2018-07-21
申请号：TW103114359
申请日：2014-04-21
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：木山直哉 , KIYAMA, NAOYA
IPC分类号： B23K26/04 , B23K26/38

37. 发明专利

TWI629250B 工具保持具及工具保持具單元有权
简体标题：工具保持具及工具保持具单元
公开(公告)号：TWI629250B
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：TW105127620
申请日：2016-08-29
申请人：日商三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：曽山浩 , SOYAMA, HIROSHI
IPC分类号： C03B33/027 , C03B33/04 , C03B33/10 , B28D5/00

38. 发明专利

TW201821343A 搬送體、搬送裝置及劃線系統审中-公开
简体标题：搬送体、搬送设备及划线系统
公开(公告)号：TW201821343A
公开(公告)日：2018-06-16
申请号：TW106126025
申请日：2017-08-02
申请人：日商三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：西尾仁孝 , NISHIO, YOSHITAKA , 高松生芳 , TAKAMATSU, KIYOSHI
IPC分类号： B65G45/10 , B65G49/06 , C03B33/033 , C03B33/10
摘要：本發明之課題在於提供一種可利用簡單的構成順滑地清掃載台之上表面之搬送體、具備該搬送體之搬送裝置、及具備該搬送裝置之劃線系統。本發明之搬送體300保持著基板10並將其自第1載台110搬送至第2載台410。搬送體300具備第1清掃單元240，該第1清掃單元240配置於基板10之搬送方向後方，在將基板10自第1載台110搬送至第2載台410之步驟中與第1載台110之上表面接觸，而清掃第1載台110之上表面。第1清掃單元240具備刷子241來作為清掃工具，刷子241一面與第1載台110之上表面接觸一面移動，而清掃第1載台110之上表面。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种可利用简单的构成顺滑地清扫载台之上表面之搬送体、具备该搬送体之搬送设备、及具备该搬送设备之划线系统。本发明之搬送体300保持着基板10并将其自第1载台110搬送至第2载台410。搬送体300具备第1清扫单元240，该第1清扫单元240配置于基板10之搬送方向后方，在将基板10自第1载台110搬送至第2载台410之步骤中与第1载台110之上表面接触，而清扫第1载台110之上表面。第1清扫单元240具备刷子241来作为清扫工具，刷子241一面与第1载台110之上表面接触一面移动，而清扫第1载台110之上表面。

39. 发明专利

TWI625211B 脆性材料基板中之傾斜裂痕之形成方法及脆性材料基板之分斷方法有权
简体标题：脆性材料基板中之倾斜裂痕之形成方法及脆性材料基板之分断方法
公开(公告)号：TWI625211B
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW105121922
申请日：2016-07-12
申请人：三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：岩坪佑磨 , IWATSUBO, YUMA , 曾山浩 , SOYAMA, HIROSHI
IPC分类号： B28D5/04 , C03B33/037 , C03B33/10

40. 发明专利

TW201820440A 脆性材料基板之分斷方法及分斷裝置审中-公开
简体标题：脆性材料基板之分断方法及分断设备
公开(公告)号：TW201820440A
公开(公告)日：2018-06-01
申请号：TW106138639
申请日：2017-11-08
申请人：日商三星鑽石工業股份有限公司 , MITSUBOSHI DIAMOND INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：村上健二 , MURAKAMI, KENJI
IPC分类号： H01L21/301 , B26D1/08 , C03B33/033 , C03B33/10
摘要：將脆性材料基板保持於切割環並載置於台上時防止基板的彎曲。於貼附於切割環31之黏著帶32上保持藍寶石基板30。於分斷裝置之玻璃台12上設置彈性支承板40，於其上方固定切割環31。藉由將滾筒22按壓於藍寶石基板30並使其相對移動，使藍寶石基板30緊貼於彈性支承板40上。其次，以監測照相機確認劃線並從劃線正上方使裂斷桿下降，將脆性材料基板分離。
简体摘要：将脆性材料基板保持于切割环并载置于台上时防止基板的弯曲。于贴附于切割环31之黏着带32上保持蓝宝石基板30。于分断设备之玻璃台12上设置弹性支承板40，于其上方固定切割环31。借由将滚筒22按压于蓝宝石基板30并使其相对移动，使蓝宝石基板30紧贴于弹性支承板40上。其次，以监测照相机确认划线并从划线正上方使裂断杆下降，将脆性材料基板分离。

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