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    • 25. 发明专利
    • 氧氣分離方法
    • 氧气分离方法
    • TWI276459B
    • 2007-03-21
    • TW092119117
    • 2003-07-14
    • 住友精化股份有限公司 SUMITOMO SEIKA CHEMICALS CO., LTD.
    • 山本守彥 MORIHIKO YAMAMOTO野廣昭 HIROAKI SASANO三宅正訓 MASANORI MIYAKE
    • B01D
    • B01D53/053B01D53/0423B01D2256/12B01D2259/40064
    • 本發明係藉由單塔式調壓吸附法,自含有氧氣之原料氣體將氧氣分離之方法,其反覆施行含有一連串的步驟(圖3A、3B)之1循環之作業。於吸附步驟(圖3A)中,將原料氣體導入吸附塔(1)中使該原料中之不要成分吸附於吸附劑之後,使氧氣富有氣體自吸附塔(1)導出。於回收步驟(圖3B)中,使存在於吸附塔(1)內之準氧氣富有氣體回收到回收槽(3)中。於脫附步驟(圖3C)中,使不要成分之至少一部份自吸附劑脫附而由吸附塔(1)排出。於洗淨步驟(圖3D)中,使吸附塔(1)內的壓力維持於恆定,而將保持於回收槽(3)的準氧氣富有氣體之至少一部份導入到吸附塔(1)中,且使排出氣體自吸附塔(1)排出。於昇壓步驟(圖3E、3F)中,使吸附塔(1)內的壓力上昇。
    • 本发明系借由单塔式调压吸附法,自含有氧气之原料气体将氧气分离之方法,其反复施行含有一连串的步骤(图3A、3B)之1循环之作业。于吸附步骤(图3A)中,将原料气体导入吸附塔(1)中使该原料中之不要成分吸附于吸附剂之后,使氧气富有气体自吸附塔(1)导出。于回收步骤(图3B)中,使存在于吸附塔(1)内之准氧气富有气体回收到回收槽(3)中。于脱附步骤(图3C)中,使不要成分之至少一部份自吸附剂脱附而由吸附塔(1)排出。于洗净步骤(图3D)中,使吸附塔(1)内的压力维持于恒定,而将保持于回收槽(3)的准氧气富有气体之至少一部份导入到吸附塔(1)中,且使排出气体自吸附塔(1)排出。于升压步骤(图3E、3F)中,使吸附塔(1)内的压力上升。
    • 27. 发明专利
    • 氣體之分離精製方法及其裝置
    • 气体之分离精制方法及其设备
    • TW495371B
    • 2002-07-21
    • TW090126088
    • 2001-10-19
    • 日本氧氣股份有限公司
    • 川井 雅人中村章寬長徹林田茂
    • B01D
    • B01D53/047B01D53/053B01D2253/102B01D2253/108B01D2256/18B01D2258/0216B01D2259/40062B01D2259/404
    • 本發明係關於一種氣體之分離精製方法及其裝置,其係能夠藉由PSA製程,而效率良好地回收該使用作為半導體製造裝置等之氣氛氣體之氪或氙等之高附加價值氣體。本發明之氣體之分離精製方法,係藉由壓力變動式吸附分離法而對於以包含高附加價值氣體之混合氣體作為原料氣體之前述高附加價值氣體進行分離精製之方法,其中,作為前述壓力變動式吸附分離法,係藉由組合根據平衡式吸附量差而分離氣體成分之平衡型壓力變動式吸附分離法、和根據吸附式速度差而分離氣體成分之速度型壓力變動式吸附分離法,以便對於前述高附加價值氣體進行分離精製。
    • 本发明系关于一种气体之分离精制方法及其设备,其系能够借由PSA制程,而效率良好地回收该使用作为半导体制造设备等之气氛气体之氪或氙等之高附加价值气体。本发明之气体之分离精制方法,系借由压力变动式吸附分离法而对于以包含高附加价值气体之混合气体作为原料气体之前述高附加价值气体进行分离精制之方法,其中,作为前述压力变动式吸附分离法,系借由组合根据平衡式吸附量差而分离气体成分之平衡型压力变动式吸附分离法、和根据吸附式速度差而分离气体成分之速度型压力变动式吸附分离法,以便对于前述高附加价值气体进行分离精制。
    • 28. 发明专利
    • 生產氮氣產物供不同需求用途的改良壓力變換吸附方法及系統
    • 生产氮气产物供不同需求用途的改良压力变换吸附方法及系统
    • TW219898B
    • 1994-02-01
    • TW080104536
    • 1991-06-11
    • 聯合碳化工業氣體技術公司
    • 詹姆士.史莫拉克
    • B01D
    • B01D53/047B01D53/053B01D2256/10B01D2256/12B01D2257/102B01D2259/40015B01D2259/40022B01D2259/4003B01D2259/40052B01D2259/40073B01D2259/402
    • 一種生產氮氣產物供送至一不同需求用途的壓力變換吸附方法,此方法同時生產共產物氧,上述產物係在一含有至少兩個可選擇性吸附氮氣為進料空氣較易吸附組份吸附劑床之壓力變換吸附系統中而生產,各床以一循環進行一操作順序,此順序包含將進料空氣送至該床以在一上吸附壓力下進行選擇性之氮氣吸附,及使該床降壓至一下脫附壓力以脫附氮氣及自該床回收氮氣,其特徵在於:(a) 將該回收的氮氣送至一氮氣儲存槽以供輸送至氮氣不
      同需求下游用途;(b) 在各床於吸附-脫附操作順序時提供一調氣期間,在
      此期間無氣體送至該床,或自該床抽出,該調氣期間
      係在各床同時間發生;(c) 在調氣期間監視該氮氣儲存槽以測定氮氣需求之變化
      ;(d) 調整總周期時間及各別操作步驟時間,使操作順序係
      介於在設計操作條件下適用於生產期望純度的氮氣之
      時間,與在減少需求的條件下,生產實際上相同純度
      的氮氣時間之間;及(e) 在反映該減少需求條件下,減少壓力變換吸附系統之
      動力消耗,
      因此,此方法可操作以在不同需求條件下進行固定純
      度的氮氣產物之生產,並在減少需求操作時,電力消
      耗有顯著減少。
      一種生產氮氣產物供送至一不同需求用途的功力變換吸附系統,此系統同時生產共產物氧,該系統係含有至少兩個可選擇性吸附氮氣為進料空氣較易吸附組份吸附劑床之壓力變換吸附系統,各床以一循環進行一操作順序,此順序包含將進料空氣送至該床以在一上吸附壓力下進行選擇性之氮氣吸附,及使該床降壓至一下脫附壓力以脫附氮氣及自該床回收氮氣,其特徵在於:(a) 一氮氣儲存槽,用以將該系統中回收的氮氣產物以固
      定純度分送至該氮氣的不同需求下游用途;(b) 在各床中用以中斷吸附-脫附操作順序的調氣裝置,
      使得在該調氣期間,沒有氣體送入或由床排出,這種
      調氣期間在各床中都在同一時發生;(c) 用來測定該氣氣儲存槽中氮氣體積與氮氣需求上不同
      的監視裝置;(d) 用來調整總週期時間,與個別操作步驟時間的控制裝
      置,使操作順序介於適用於在設計操作條件下生產所
      要純度的氮氣的時間,與在減少的需求條件下,生產
      基本上相同純度的氮氣的該時間之間;及(e) 用來反映該減少的需求條件而減少功力變換吸附系統
      的電力消耗,
      因此此系統可在不同需求條件下操作以生產固定純度
      氮氣產物,而在減少需求的操作電力消耗有相當顯著
      減少。
    • 一种生产氮气产物供送至一不同需求用途的压力变换吸附方法,此方法同时生产共产物氧,上述产物系在一含有至少两个可选择性吸附氮气为进料空气较易吸附组份吸附剂床之压力变换吸附系统中而生产,各床以一循环进行一操作顺序,此顺序包含将进料空气送至该床以在一上吸附压力下进行选择性之氮气吸附,及使该床降压至一下脱附压力以脱附氮气及自该床回收氮气,其特征在于:(a) 将该回收的氮气送至一氮气存储槽以供输送至氮气不 同需求下游用途;(b) 在各床于吸附-脱附操作顺序时提供一调气期间,在 此期间无气体送至该床,或自该床抽出,该调气期间 系在各床同时间发生;(c) 在调气期间监视该氮气存储槽以测定氮气需求之变化 ;(d) 调整总周期时间及各别操作步骤时间,使操作顺序系 介于在设计操作条件下适用于生产期望纯度的氮气之 时间,与在减少需求的条件下,生产实际上相同纯度 的氮气时间之间;及(e) 在反映该减少需求条件下,减少压力变换吸附系统之 动力消耗, 因此,此方法可操作以在不同需求条件下进行固定纯 度的氮气产物之生产,并在减少需求操作时,电力消 耗有显着减少。 一种生产氮气产物供送至一不同需求用途的功力变换吸附系统,此系统同时生产共产物氧,该系统系含有至少两个可选择性吸附氮气为进料空气较易吸附组份吸附剂床之压力变换吸附系统,各床以一循环进行一操作顺序,此顺序包含将进料空气送至该床以在一上吸附压力下进行选择性之氮气吸附,及使该床降压至一下脱附压力以脱附氮气及自该床回收氮气,其特征在于:(a) 一氮气存储槽,用以将该系统中回收的氮气产物以固 定纯度分送至该氮气的不同需求下游用途;(b) 在各床中用以中断吸附-脱附操作顺序的调气设备, 使得在该调气期间,没有气体送入或由床排出,这种 调气期间在各床中都在同一时发生;(c) 用来测定该气气存储槽中氮气体积与氮气需求上不同 的监视设备;(d) 用来调整总周期时间,与个别操作步骤时间的控制装 置,使操作顺序介于适用于在设计操作条件下生产所 要纯度的氮气的时间,与在减少的需求条件下,生产 基本上相同纯度的氮气的该时间之间;及(e) 用来反映该减少的需求条件而减少功力变换吸附系统 的电力消耗, 因此此系统可在不同需求条件下操作以生产固定纯度 氮气产物,而在减少需求的操作电力消耗有相当显着 减少。