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11. 发明专利

TWI533049B 雷射裝置之電光調變器之調整方法、及雷射裝置有权
简体标题：激光设备之电光调制器之调整方法、及激光设备
公开(公告)号：TWI533049B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：TW101104492
申请日：2012-02-10
申请人：尼康股份有限公司 , NIKON CORPORATION
发明人：德久章 , TOKUHISA, AKIRA , 高田康利 , TAKADA, YASUTOSHI
IPC分类号： G02F1/01 , G02F1/225
CPC分类号： H01S3/10015 , G02F1/37 , H01S3/0085 , H01S3/0092 , H01S3/06754 , H01S3/1301

12. 发明专利

TW201536112A 用於極紫外光源之適應性雷射系統审中-公开
简体标题：用于极紫外光源之适应性激光系统
公开(公告)号：TW201536112A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：TW104104272
申请日：2015-02-09
申请人：艾司摩爾荷蘭股份有限公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：陶業爭 , TAO, YEZHENG , 布朗丹尼爾J W , BROWN, DANIEL J. W. , 夏夫根斯亞歷山大 , SCHAFGANS, ALEXANDER , 查迪爾麥可D , CAUDILL, MICHAEL DAVID , 葛里奇丹尼爾J , GOLICH, DANIEL J. , 桑德斯特倫理查L , SANDSTROM, RICHARD L. , 天田芳穂 , AMADA, YOSHIHO
IPC分类号： H05G2/00
CPC分类号： H05G2/008 , H01S3/1003 , H01S3/1301 , H01S3/1305 , H05G2/003
摘要：一種用於極紫外(EUV)光源的系統，其係包括：包含位於一光束路徑上之一增益介質的一光學放大器，該光學放大器經組配成可在一輸入處接收一光束以及在一輸出處射出一輸出光束供一EUV光源用；一回饋系統，其係測量該輸出光束之一性質以及基於該測得性質來產生一回饋訊號；以及一適應性光件，其係位於該光束路徑中且經組配成可接收該回饋訊號以及調整該輸出光束之一性質以響應該回饋訊號。
简体摘要：一种用于极紫外(EUV)光源的系统，其系包括：包含位于一光束路径上之一增益介质的一光学放大器，该光学放大器经组配成可在一输入处接收一光束以及在一输出处射出一输出光束供一EUV光源用；一回馈系统，其系测量该输出光束之一性质以及基于该测得性质来产生一回馈信号；以及一适应性光件，其系位于该光束路径中且经组配成可接收该回馈信号以及调整该输出光束之一性质以响应该回馈信号。

13. 发明专利

TW515150B 里曼放大器中之增益控制有权
公开(公告)号：TW515150B
公开(公告)日：2002-12-21
申请号：TW090120442
申请日：2001-08-18
申请人：康寧公司
发明人：亞倫法郎依文 , 埃希克拉曼 , 史都特葛雷 , 配來加力羅位克
IPC分类号： H04B
CPC分类号： H04B10/2942 , H01S3/06754 , H01S3/094003 , H01S3/094096 , H01S3/1301 , H01S3/302 , H04B10/2916
摘要：一種里曼光纖放大器包含：傳送光纖；至少一個泵提供光學泵功率至傳送光纖；至少一個泵運功率感測器；至少一個訊號感測器，其感測傳播通過傳送光纖之訊號功率。里曼光纖放大器亦包含控制器其調整由泵提供之泵運功率以調整由里曼光纖放大器所提供之增益，或訊號功率。
简体摘要：一种里曼光纤放大器包含：发送光纤；至少一个泵提供光学泵功率至发送光纤；至少一个泵运功率传感器；至少一个信号传感器，其传感传播通过发送光纤之信号功率。里曼光纤放大器亦包含控制器其调整由泵提供之泵运功率以调整由里曼光纤放大器所提供之增益，或信号功率。

14. 发明专利

TW493086B 光放大器及光放大方法失效
公开(公告)号：TW493086B
公开(公告)日：2002-07-01
申请号：TW089106605
申请日：2000-04-10
申请人：住友電氣工業股份有限公司
发明人：津崎哲文 , 西村正幸 , 重松昌行 , 山均 , 岡英資
IPC分类号： G02B
CPC分类号： H01S3/06758 , H01S3/06754 , H01S3/10007 , H01S3/10023 , H01S3/1301 , H01S2301/04 , H04B10/2941 , H04B10/2942 , H04B10/296
摘要：光過濾器140所具有之損失頻譜是使多重信號光之波長帶之損失L(dβ)對波長λ(nm)之斜率dL/dλ成為可變。控制電路150檢測被光耦合器130分支之信號光之功率，根據該輸入信號光功率，控制從激勵光源121，122供給到光放大部111，112之之激勵光之功率，用來使輸出信號光之功率成為一定之目標值。另外，控制電路150根據該輸入信號光功率用來控制光過濾器140之斜率 dL/dλ。
简体摘要：光过滤器140所具有之损失频谱是使多重信号光之波长带之损失L(dβ)对波长λ(nm)之斜率dL/dλ成为可变。控制电路150检测被光耦合器130分支之信号光之功率，根据该输入信号光功率，控制从激励光源121，122供给到光放大部111，112之之激励光之功率，用来使输出信号光之功率成为一定之目标值。另外，控制电路150根据该输入信号光功率用来控制光过滤器140之斜率 dL/dλ。

15. 发明专利

TW366632B 具有可變增益之光纖放大器失效
简体标题：具有可变增益之光纤放大器
公开(公告)号：TW366632B
公开(公告)日：1999-08-11
申请号：TW087102048
申请日：1998-02-13
申请人： LM艾瑞克生電話公司
发明人：馬格納斯山德林 , 强山迪 , 戴格菠尼達
IPC分类号： H04J , H04B
CPC分类号： H04B10/291 , H01S3/06758 , H01S3/1301 , H04B10/2941 , H04B2210/003
摘要：一種用於WDM光信號之光學放大器裝置，包括光纖放大器類型的一前置放大器(3)及一功率放大器(11)，而這兩放大器係串連並具有依賴於波長的增益曲線。一可控制的衰減器(5)係連接在放大器(3)和(11)之間，並由一控制裝置(7)所控制。輸入到前置放大器(3)的信號、具有一低功率，並被放大而提供一輸入信號，其中輸入通道的該等信號係使用不同的增益而放大。功率放大器(11)的輸入信號然後具有造成不同於前置放大器(3)之增益特性的一較大功率。藉著使衰減器(5)的衰減適應於輸入信號中的變化，該功率放大器(11)的增益特性便能設定，所以來自放大器裝置的信號輸出具有一光譜依存，其是相同於沒有變化所獲得的該最初光譜依存。同時，該功率放大器的該幫浦光功率改變的時候，相同的光譜依存便能維持而然後藉著使衰減器(5)的衰減，總放大器增益便會改變，所以功率放大器的增益便不會改變。在該放大器中，來自前置放大器級的最低可能雜訊係加入輸入信號，而整個輸出功率始終能從功率放大器獲得。例如，如果輸入信號增加時，經過放大器之信號的SNR會相對改良。這會改良使用該放大器的一光學網路效率。
简体摘要：一种用于WDM光信号之光学放大器设备，包括光纤放大器类型的一前置放大器(3)及一功率放大器(11)，而这两放大器系串连并具有依赖于波长的增益曲线。一可控制的衰减器(5)系连接在放大器(3)和(11)之间，并由一控制设备(7)所控制。输入到前置放大器(3)的信号、具有一低功率，并被放大而提供一输入信号，其中输入信道的该等信号系使用不同的增益而放大。功率放大器(11)的输入信号然后具有造成不同于前置放大器(3)之增益特性的一较大功率。借着使衰减器(5)的衰减适应于输入信号中的变化，该功率放大器(11)的增益特性便能设置，所以来自放大器设备的信号输出具有一光谱依存，其是相同于没有变化所获得的该最初光谱依存。同时，该功率放大器的该帮浦光功率改变的时候，相同的光谱依存便能维持而然后借着使衰减器(5)的衰减，总放大器增益便会改变，所以功率放大器的增益便不会改变。在该放大器中，来自前置放大器级的最低可能噪声系加入输入信号，而整个输出功率始终能从功率放大器获得。例如，如果输入信号增加时，经过放大器之信号的SNR会相对改良。这会改良使用该放大器的一光学网络效率。

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