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11. 外观设计

TWD148170S 基板洗淨用輥軸有权
简体标题：基板洗净用辊轴
公开(公告)号：TWD148170S
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：TW100306700
申请日：2011-12-08
申请人：荏原製作所股份有限公司
设计人：石橋知淳 , 及川文利 , 田中英明 , 本坊光朗
摘要：【物品用途】
本創作係有關於一種用來洗淨施加研磨處理基板使用的「基板洗淨用輥軸」之新式樣設計。
【創作特點】
如立體圖所示，本創作「基板洗淨用輥軸」概呈圓柱狀，如前後視圖所示，該輥軸呈現出多數個略同心圓，配合右側視圖觀之，其中央有一凹部，該輥軸軸身上有多數略呈圓形孔。
整體而言，本創作線條流暢簡潔俐落、且式樣新穎具獨創性，實為一特殊且實用之新式樣設計。
上述說明僅供輔助瞭解本創作而非用以限制其內容；理應明瞭，新式樣係就其整體形狀指定之。
简体摘要：【物品用途】本创作系有关于一种用来洗净施加研磨处理基板使用的“基板洗净用辊轴”之新式样设计。【创作特点】如三維图所示，本创作“基板洗净用辊轴”概呈圆柱状，如前后视图所示，该辊轴呈现出多数个略同心圆，配合右侧视图观之，其中央有一凹部，该辊轴轴身上有多数略呈圆形孔。整体而言，本创作线条流畅简洁俐落、且式样新颖具独创性，实为一特殊且实用之新式样设计。上述说明仅供辅助了解本创作而非用以限制其内容；理应明了，新式样系就其整体形状指定之。

12. 发明专利

TW201200255A 清洗基板之方法及裝置 METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING SUBSTRATE 审中-公开
简体标题：清洗基板之方法及设备 METHOD AND APPARATUS FOR CLEANING SUBSTRATE
公开(公告)号：TW201200255A
公开(公告)日：2012-01-01
申请号：TW100106625
申请日：2011-03-01
申请人：荏原製作所股份有限公司
发明人：王新明 , 及川文利 , 大野晴子 , 本坊光朗
IPC分类号： B08B , B65G
CPC分类号： H01L21/67046 , B08B1/04
摘要：清洗基板，藉由當滾筒狀清洗構件的外圍表面與基板之將被清洗的表面橫跨預定接觸寬度而維持接觸時，利用滾筒狀清洗構件在旋轉的基板之將被清洗的表面上執行洗刷程序。於洗刷程序的至少一段期間，將滾筒狀清洗構件置於清洗偏移位置，於偏移清洗位置處，滾筒狀清洗構件的中心軸以接觸寬度的0.14至0.15倍的距離與基板的中心軸隔開。當將沿著基板之將被清洗的表面之徑向方向上的各位置(區域)的清洗強度考慮在內時，以更均勻的清洗強度洗刷基板之將被清洗的表面。
简体摘要：清洗基板，借由当滚筒状清洗构件的外围表面与基板之将被清洗的表面横跨预定接触宽度而维持接触时，利用滚筒状清洗构件在旋转的基板之将被清洗的表面上运行洗刷进程。于洗刷进程的至少一段期间，将滚筒状清洗构件置于清洗偏移位置，于偏移清洗位置处，滚筒状清洗构件的中心轴以接触宽度的0.14至0.15倍的距离与基板的中心轴隔开。当将沿着基板之将被清洗的表面之径向方向上的各位置(区域)的清洗强度考虑在内时，以更均匀的清洗强度洗刷基板之将被清洗的表面。

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