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11. 发明专利

TW201537612A 電漿處理裝置审中-公开
简体标题：等离子处理设备
公开(公告)号：TW201537612A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW104105046
申请日：2015-02-13
申请人：日立全球先端科技股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人：豊田晃士 , TOYOTA, KOJI , 山本浩一 , YAMAMOTO, KOICHI , 安井尚輝 , YASUI, NAOKI
IPC分类号： H01J37/32
CPC分类号： H01J37/32146 , H01J37/32192 , H01J37/32935
摘要：提供一種提升處理精度而提高良率之電漿處理裝置。一種電漿處理裝置，具備：處理室，配置於真空容器的內部；及第1高頻電源，輸出第1高頻電力，以便將用於處理對象的試料的處理之電漿，供給至形成於前述處理室內之電場；及試料台，配置於前述處理室內，將前述試料載置於其上面；及第2高頻電源，間歇性地輸出第2高頻電力，以便在配置於該試料台的內部之電極形成偏壓電位，且可將該輸出的時間予以可變地調節；其特徵為：具備下述功能，即，與該第2高頻電力的前述間歇性的輸出的開始同步，來檢測前述第2高頻電力於過渡狀態下的電流或電壓波形隨著時間之變化，並利用其結果來調節前述電漿處理裝置的運轉。
简体摘要：提供一种提升处理精度而提高良率之等离子处理设备。一种等离子处理设备，具备：处理室，配置于真空容器的内部；及第1高频电源，输出第1高频电力，以便将用于处理对象的试料的处理之等离子，供给至形成于前述处理室内之电场；及试料台，配置于前述处理室内，将前述试料载置于其上面；及第2高频电源，间歇性地输出第2高频电力，以便在配置于该试料台的内部之电极形成偏压电位，且可将该输出的时间予以可变地调节；其特征为：具备下述功能，即，与该第2高频电力的前述间歇性的输出的开始同步，来检测前述第2高频电力于过渡状态下的电流或电压波形随着时间之变化，并利用其结果来调节前述等离子处理设备的运转。

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