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91. 实用新型

TW506503U 管接頭失效
简体标题：管接头
公开(公告)号：TW506503U
公开(公告)日：2002-10-11
申请号：TW091202042
申请日：1998-06-15
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 山路道雄 , 池田信一 , 篠原努 , 小島徹哉
IPC分类号： F16L
CPC分类号： F16L19/025 , F16L19/0218 , Y10S285/917
摘要：本創作係提供一種管接頭，其特徵為；各密封，突起(7)、(8)位於比接頭構件(1)(2)的對合端面內周(1a)、(2a)更靠半徑方向外側的位置，各密封突起(7)、(8)截而的輪廓形狀係由；從對合端面向半徑方向外側延伸的圓弧部(7b)、(8b)，和與此圓弧部(7b)、(8b)相連的直線部(7a)、(8a)所形成，圓弧部(7b)(8b)的中心即位於比圓弧部(7b)(8b)和直線部(7a)(8a)之交差點更為半徑方向內側的位置，直線部(7a)(8a)並對軸向傾斜45℃。(選擇圖：第4圖)
简体摘要：本创作系提供一种管接头，其特征为；各密封，突起(7)、(8)位于比接头构件(1)(2)的对合端面内周(1a)、(2a)更靠半径方向外侧的位置，各密封突起(7)、(8)截而的轮廓形状系由；从对合端面向半径方向外侧延伸的圆弧部(7b)、(8b)，和与此圆弧部(7b)、(8b)相连的直线部(7a)、(8a)所形成，圆弧部(7b)(8b)的中心即位于比圆弧部(7b)(8b)和直线部(7a)(8a)之交差点更为半径方向内侧的位置，直线部(7a)(8a)并对轴向倾斜45℃。(选择图：第4图)

92. 发明专利

TW457119B 含氫排氣處理裝置失效
简体标题：含氢排气处理设备
公开(公告)号：TW457119B
公开(公告)日：2001-10-01
申请号：TW088100151
申请日：1999-06-11
申请人：日立製作所股份有限公司 , 富士金股份有限公司
发明人：田邊義和 , 皆見幸男 , 川田幸司 , 池田信一 , 森本明弘 , 平尾圭志
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B01D53/8671
摘要：本發明之課題係在於：將從半導體製造設施等排出的含氫排氣用小型的處理裝置製作成，即使含氫排氣量等大幅度地變動，也能夠經常安定且確實地處理，並且不會帶給半導體製造裝置側之運作不良的影響。
本發明之解決手段所採用之處理裝置係由：將含氫排氣之排出源連接於吸入口並且將氧氣供給源連接於驅動用流體供給口之噴射器型的真空發生器、及連接於真空發生器之驅動用流體排出口之具備有觸媒之氫與氧的反應爐、及連接於反應爐之出口而可積存來自反應爐的水之排洩槽所構成。
简体摘要：本发明之课题系在于：将从半导体制造设施等排出的含氢排气用小型的处理设备制作成，即使含氢排气量等大幅度地变动，也能够经常安定且确实地处理，并且不会带给半导体制造设备侧之运作不良的影响。本发明之解决手段所采用之处理设备系由：将含氢排气之排出源连接于吸入口并且将氧气供给源连接于驱动用流体供给口之喷射器型的真空发生器、及连接于真空发生器之驱动用流体排出口之具备有触媒之氢与氧的反应炉、及连接于反应炉之出口而可积存来自反应炉的水之排泄槽所构成。

93. 发明专利

TW428036B 滑動零件及其製造方法失效
简体标题：滑动零件及其制造方法
公开(公告)号：TW428036B
公开(公告)日：2001-04-01
申请号：TW086105303
申请日：1997-04-21
申请人：日本科學工程股份有限公司 , 富士金股份有限公司 , 普羅特尼克斯研究所有限公司
发明人：田口長兵衛 , 湯川晃宏 , 松本宏憲 , 池田信一 , 森本明弘
IPC分类号： C22F , C25D
CPC分类号： C23C14/5806 , C23C26/00 , C23C30/00 , Y10S411/902 , Y10T428/12896 , Y10T428/12979
摘要：滑動零件,於不銹鋼製滑動零件本體與其他不銹綱製零件滑動之面,形成含In25～35重量百分比其餘部分是由Ag及不可避免雜質構成之Ag-In合金膜,Ag-In合金，是其晶體結構呈緊密裝填六角晶之ζ相。
简体摘要：滑动零件,于不锈钢制滑动零件本体与其他不锈纲制零件滑动之面,形成含In25～35重量百分比其余部分是由Ag及不可避免杂质构成之Ag-In合金膜,Ag-In合金，是其晶体结构呈紧密装填六角晶之ζ相。

94. 发明专利

TW386187B 小流量之水分供給方法失效
简体标题：小流量之水分供给方法
公开(公告)号：TW386187B
公开(公告)日：2000-04-01
申请号：TW087120549
申请日：1999-01-19
申请人：富士金股份有限公司 , 日立製作所股份有限公司
发明人：皆見幸男 , 川田幸司 , 田邊義和 , 池田信一 , 森本明弘
IPC分类号： G05D
CPC分类号： F22B1/003 , C01B5/00
摘要：本發明之課題係從水分產生裝置向製程裝置側之供給水分量即使變成極少量，也可用高精度控制所供給之水分流量。
本發明之解決手段係在內部空間之壁面備有白金塗層膜被之反應爐內供給氫與氧，而藉白金之催化作用不僅可提升氫及氧之反應活性，並且，將已提高該反應活性之氫與氧較氫混合氣之著火溫度更低溫度下使其剎那地發生反應，不至於發生高溫燃燒產生水分之水分產生裝置，使用流量控制器控制供給於上述反應爐內之氫流量,藉該流量控制器從氫開始流入起緩慢地增加氫流量，而延遲既定時間由於將設定流量之氫供給於反應爐內，從反應爐之設定流量之水分供給於製程側(process side)。
简体摘要：本发明之课题系从水分产生设备向制程设备侧之供给水分量即使变成极少量，也可用高精度控制所供给之水分流量。本发明之解决手段系在内部空间之壁面备有白金涂层膜被之反应炉内供给氢与氧，而藉白金之催化作用不仅可提升氢及氧之反应活性，并且，将已提高该反应活性之氢与氧较氢混合气之着火温度更低温度下使其刹那地发生反应，不至于发生高温燃烧产生水分之水分产生设备，使用流量控制器控制供给于上述反应炉内之氢流量,藉该流量控制器从氢开始流入起缓慢地增加氢流量，而延迟既定时间由于将设置流量之氢供给于反应炉内，从反应炉之设置流量之水分供给于制程侧(process side)。

95. 发明专利

TW342429B 流體控制系統及其所使用之閥失效
简体标题：流体控制系统及其所使用之阀
公开(公告)号：TW342429B
公开(公告)日：1998-10-11
申请号：TW085101845
申请日：1996-02-14
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 山路道雄 , 池田信一 , 唐土裕司
IPC分类号： F16K
CPC分类号： C23C16/45561 , B01J4/008 , C30B25/14 , C30B31/16 , F16K31/1226 , F16K31/42 , Y10T137/87684
摘要：本發明係關於使用在製造半導體和磁性薄膜及生物關聯製品等之流體控制系統及其所使用之閥，其目的為：能夠迅速且正確地作動閥，進而促使可以正確地供給流體。
本發明之構成要素，簡單地說係由：
將數種類的流體Ｇ１，Ｇ２……供給至處理裝置Ｃ內之主控制管路Ｌ與分歧控制管路Ｌ１，Ｌ２；及
由組裝於分歧控制管路Ｌ１，Ｌ２，而來進行供給至處理裝置Ｃ內之各種流體Ｇ１，Ｇ２……的切換動作之複數個閥而構成之流體控制系統，上述閥Ｖ為具備有流體壓引動器１之流體驅動型閥Ｖ′；及安裝於流體驅動型閥Ｖ′，而來將作動流體Ａ供給至流體壓引動器１之電磁閥Ｖ〞而構成者。
简体摘要：本发明系关于使用在制造半导体和磁性薄膜及生物关联制品等之流体控制系统及其所使用之阀，其目的为：能够迅速且正确地作动阀，进而促使可以正确地供给流体。本发明之构成要素，简单地说系由：将数种类的流体Ｇ１，Ｇ２……供给至处理设备Ｃ内之主控制管路Ｌ与分歧控制管路Ｌ１，Ｌ２；及由组装于分歧控制管路Ｌ１，Ｌ２，而来进行供给至处理设备Ｃ内之各种流体Ｇ１，Ｇ２……的切换动作之复数个阀而构成之流体控制系统，上述阀Ｖ为具备有流体压引动器１之流体驱动型阀Ｖ′；及安装于流体驱动型阀Ｖ′，而来将作动流体Ａ供给至流体压引动器１之电磁阀Ｖ〞而构成者。

96. 发明专利

TW337545B 流體關閉、開啓裝置(一) 失效
简体标题：流体关闭、开启设备(一)
公开(公告)号：TW337545B
公开(公告)日：1998-08-01
申请号：TW086117266
申请日：1997-11-19
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 山路道雄 , 平尾圭志 , 田中林明 , 池田信一 , 唐土裕司
IPC分类号： F17D , F16L , H01L
CPC分类号： F16K27/003 , F16K51/00 , Y10T137/7783 , Y10T137/87917 , Y10T137/88054
摘要：閥之閥本體，具有：第一流體用流入通路；第二流體用流入通路；以及第一流體及第二流體共同的流出通路。第一流體用流入通路輿共同流出通路，係經常藉由閥室連通。第二流體用流入通路，以第一流體用流入通路及共同流出通路藉由閥室連通，且其連通係由閥體來關閉，開啟者。
简体摘要：阀之阀本体，具有：第一流体用流入通路；第二流体用流入通路；以及第一流体及第二流体共同的流出通路。第一流体用流入通路舆共同流出通路，系经常借由阀室连通。第二流体用流入通路，以第一流体用流入通路及共同流出通路借由阀室连通，且其连通系由阀体来关闭，打开者。

97. 发明专利

TW306965B 管接頭失效
简体标题：管接头
公开(公告)号：TW306965B
公开(公告)日：1997-06-01
申请号：TW085105854
申请日：1996-05-17
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：大見忠弘 , 小島徹哉 , 山路道雄 , 吉川和博 , 池田信一 , 篠原努
IPC分类号： F16L
CPC分类号： F16L19/0218 , F16L19/0212 , Y10S285/906 , Y10S285/917
摘要：一種管接頭係具備：一對管狀接頭構件，與置於兩接頭構件之對接頭面間之圓環狀墊片與連接兩接頭構件之螺紋手段。而在各接頭構件之對接頭面，比其內緣靠近半徑方向側之位置設有密封突起。由螺紋被鎖緊致各密封突起之頂端接觸於墊片之端面時，各接頭構件對接端面之外側平坦面與墊片之各端面間，形成有比各接頭構件對接端面之內側平坦面與墊片之各端面之間隙較大且鎖緊完了時形成有消失之間隙。
简体摘要：一种管接头系具备：一对管状接头构件，与置于两接头构件之对接头面间之圆环状垫片与连接两接头构件之螺纹手段。而在各接头构件之对接头面，比其内缘靠近半径方向侧之位置设有密封突起。由螺纹被锁紧致各密封突起之顶端接触于垫片之端面时，各接头构件对接端面之外侧平坦面与垫片之各端面间，形成有比各接头构件对接端面之内侧平坦面与垫片之各端面之间隙较大且锁紧完了时形成有消失之间隙。

98. 发明专利

TW300947B 壓力式流量控制裝置失效
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW300947B
公开(公告)日：1997-03-21
申请号：TW085105996
申请日：1996-05-21
申请人：富士金股份有限公司
发明人：土肥亮介 , 川田幸司 , 池田信一 , 西野功二 , 皆見幸男 , 森本明弘 , 福田浩幸
IPC分类号： F17D , G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/5109 , Y10T137/7737 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/777 , Y10T137/87917
摘要：本發明之目的係在於提高流量控制裝置之控制精度，而且達成裝置之小型化，低成本化。
一種壓力式流量控制裝置，屬於將流出口之上游側壓力Ｐ１保持在下游側壓力之約兩倍以上之狀態下實行控制流體之流量的壓力式流量控制裝置，其特徵為：流出口５，及設於流出口２之上游側的控制閥５，及設於控制閥２與流出口５間的壓力檢測器３，及從壓力檢測器２之檢測壓力Ｐ１作為Qc＝ＫＰ１，（但，Ｋ係常數）演算流量Qc，而且將流量指會信號Q5與上述經演算之流量信號Qc之間的相差作為控制信號 Qy而輸出至上述控制閥２之驅動部１４的演算控制裝置６所構成；藉控制閥２之開閉來調整流出口上游側壓力Ｐ１，俾控制流出口下游側流量者。
简体摘要：本发明之目的系在于提高流量控制设备之控制精度，而且达成设备之小型化，低成本化。一种压力式流量控制设备，属于将流出口之上游侧压力Ｐ１保持在下游侧压力之约两倍以上之状态下实行控制流体之流量的压力式流量控制设备，其特征为：流出口５，及设于流出口２之上游侧的控制阀５，及设于控制阀２与流出口５间的压力检测器３，及从压力检测器２之检测压力Ｐ１作为Qc＝ＫＰ１，（但，Ｋ系常数）演算流量Qc，而且将流量指会信号Q5与上述经演算之流量信号Qc之间的相差作为控制信号 Qy而输出至上述控制阀２之驱动部１４的演算控制设备６所构成；藉控制阀２之开闭来调整流出口上游侧压力Ｐ１，俾控制流出口下游侧流量者。

99. 发明专利

TW267235B 對處理室供給氣體之方法失效
简体标题：对处理室供给气体之方法
公开(公告)号：TW267235B
公开(公告)日：1996-01-01
申请号：TW083107561
申请日：1994-08-17
申请人：富士金股份有限公司
发明人：池田信一 , 皆見幸男
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C23C16/45561 , B01J4/008 , C23C16/4412 , C23C16/455 , Y10T137/0318 , Y10T137/0396 , Y10T137/86083 , Y10T137/87249 , Y10T137/87499
摘要：由反應性氣體供給管線１將反應性氣體，及由不活性氣體供給管線２將不活性氣體分別交互供給處理室３內之對處理室供給氣體之方法中，在設於各管線１，２之轉換閥V１，V２之一次側分別以分岐狀連接分流閥V３，V４，並在該分流閥Ｖ３，Ｖ４之出口側連接排氣管線６，將前述排氣管線６保持真空祭氣，分別以一定時間間隔實施同時開閉操作反應性氣體供給管線１之管線轉換閥Ｖ１與不活或氣體供給管線２側之分流閥Ｖ４，及同時開閉操作不活或氣體供給管線２整管線轉換閥Ｖ２與反應性氣體供給管線１側之分流閥Ｖ３，自反雁性氣體供給管線１及不活性氣體供給管線２交互將反應性氣體與不活性氣體供給處理室３內。
简体摘要：由反应性气体供给管线１将反应性气体，及由不活性气体供给管线２将不活性气体分别交互供给处理室３内之对处理室供给气体之方法中，在设于各管线１，２之转换阀V１，V２之一次侧分别以分岐状连接分流阀V３，V４，并在该分流阀Ｖ３，Ｖ４之出口侧连接排气管线６，将前述排气管线６保持真空祭气，分别以一定时间间隔实施同时开闭操作反应性气体供给管线１之管线转换阀Ｖ１与不活或气体供给管线２侧之分流阀Ｖ４，及同时开闭操作不活或气体供给管线２整管线转换阀Ｖ２与反应性气体供给管线１侧之分流阀Ｖ３，自反雁性气体供给管线１及不活性气体供给管线２交互将反应性气体与不活性气体供给处理室３内。

100. 发明专利

TW244917B 螺栓構件鎖緊方法失效
简体标题：螺栓构件锁紧方法
公开(公告)号：TW244917B
公开(公告)日：1995-04-11
申请号：TW083105088
申请日：1994-06-03
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：土肥亮介 , 大見忠弘 , 山路道雄 , 出田英二 , 池田信一 , 西野功二 , 長井邦雄
IPC分类号： B23P
摘要：本發明係有關於一種螺栓構件鎖緊方法，其主要係事先設定在正常鎖緊時螺栓構件對旋轉角度之鎖緊扭矩的基準範圍，將螺帽鎖緊於公螺絲構件時，則對於每一規定角度，藉扭矩檢測器檢測出其鎖緊扭矩，而藉微電腦判斷相對於旋轉角度之鎖緊扭矩是否在基準範圍內。又將該判斷結果由發光二極體以及蜂鳴器加以表示。
简体摘要：本发明系有关于一种螺栓构件锁紧方法，其主要系事先设置在正常锁紧时螺栓构件对旋转角度之锁紧扭矩的基准范围，将螺帽锁紧于公螺丝构件时，则对于每一规定角度，藉扭矩检测器检测出其锁紧扭矩，而藉微电脑判断相对于旋转角度之锁紧扭矩是否在基准范围内。又将该判断结果由发光二极管以及蜂鸣器加以表示。

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