会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 91. 发明专利
    • 銅化合物及使用其之銅薄膜之製造方法
    • 铜化合物及使用其之铜薄膜之制造方法
    • TW200505795A
    • 2005-02-16
    • TW093119405
    • 2004-06-30
    • MEC股份有限公司 MEC COMPANY LTD.
    • 王谷稔久田純馬渡豐樹
    • C01G
    • C23C18/08
    • 本發明提供一種銅化合物,係分解溫度為100~300℃範圍之以下述式(1):〔R^1COO〕n〔NH3〕mCuX^1p…(1)(其中,n為1~3、m為1~3、p為0~1、n個之R^1分別表示下述式(2)、CH2X^2、CH2X^2(CH2X^2)q、NH2、H,可為相同,亦可為不同;於n為2時,2個〔R^1COO〕係一起以下述式(3)表示,R^2、R^3、R^4分別為CH2X^2、CH2X^2(CH2X^2)q、NH2、H,R^5為(CH2X^2)r–,X^2為H、OH、NH2,r為0~4,q為1~4,X^1為 NH4^+、H2O或溶劑分子);093119405-p01.bmp所表示之單位1或數個連結而成。藉此,所提供之銅化合物可安全、廉價而容易地形成在電子元件等之製造步驟中所必須的銅薄膜,並提供使用該銅化合物之銅薄膜之製造方法。
    • 本发明提供一种铜化合物,系分解温度为100~300℃范围之以下述式(1):〔R^1COO〕n〔NH3〕mCuX^1p…(1)(其中,n为1~3、m为1~3、p为0~1、n个之R^1分别表示下述式(2)、CH2X^2、CH2X^2(CH2X^2)q、NH2、H,可为相同,亦可为不同;于n为2时,2个〔R^1COO〕系一起以下述式(3)表示,R^2、R^3、R^4分别为CH2X^2、CH2X^2(CH2X^2)q、NH2、H,R^5为(CH2X^2)r–,X^2为H、OH、NH2,r为0~4,q为1~4,X^1为 NH4^+、H2O或溶剂分子);093119405-p01.bmp所表示之单位1或数个链接而成。借此,所提供之铜化合物可安全、廉价而容易地形成在电子组件等之制造步骤中所必须的铜薄膜,并提供使用该铜化合物之铜薄膜之制造方法。