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91. 发明专利

TW201116960A 質流控制器 MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
简体标题：质流控制器 MASS FLOW CONTROLLER
公开(公告)号：TW201116960A
公开(公告)日：2011-05-16
申请号：TW098137627
申请日：2009-11-05
申请人：堀場STEC股份有限公司
发明人：高橋明人 , 古川幸正 , 田中祐紀
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635
摘要：一種本發明使質量流量控制器的PI性能提高。在質量流量控制器中，基於一次側壓力、該一次側壓力的經時性變化量以及流量設定值中的至少兩個，來對穩定狀態下的用於PID運算中的比例係數、積分係數以及微分係數進行變更。
简体摘要：一种本发明使质量流量控制器的PI性能提高。在质量流量控制器中，基于一次侧压力、该一次侧压力的经时性变化量以及流量设置值中的至少两个，来对稳定状态下的用于PID运算中的比例系数、积分系数以及微分系数进行变更。

92. 发明专利

TW201044128A 質量流量控制器的測試系統、測試方法、測試用程式 TEST SYSTEM, TEST METHOD AND PROGRAM FOR TESTING OF MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
简体标题：质量流量控制器的测试系统、测试方法、测试用进程 TEST SYSTEM, TEST METHOD AND PROGRAM FOR TESTING OF MASS FLOW CONTROLLER
公开(公告)号：TW201044128A
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：TW099106748
申请日：2010-03-09
申请人：堀場STEC股份有限公司
发明人：安田忠弘 , 山口裕二
IPC分类号： G05B , G01F
CPC分类号： G01F25/0007 , G01F1/36 , G01F1/50 , G01F25/00 , G01F25/0038 , G01F25/0053 , G05B23/00 , G05B23/02 , G05D7/0635 , H01L21/67017 , Y10T137/7759
摘要：本發明提供一種測試系統,其設置有:測試用氣體管線KL,和所述支流氣體管線SL並排設置,且合流於所述合流後氣體管線ML;基準容積計算部32,計算出由氣體配管系統GS的配管自身所規定的基準容積;測試用參數計算部33,根據在由所要測試的質量流量控制器1進行流量控制的期間由壓力測定機構213測定的測定壓力的時間序列數據來計算出測試用參數;以及比較部33,將根據所述基準容積所設定的基準參數和所述測試用參數進行比較。
简体摘要：本发明提供一种测试系统,其设置有:测试用气体管线KL,和所述支流气体管线SL并排设置,且合流于所述合流后气体管线ML;基准容积计算部32,计算出由气体配管系统GS的配管自身所规定的基准容积;测试用参数计算部33,根据在由所要测试的质量流量控制器1进行流量控制的期间由压力测定机构213测定的测定压力的时间串行数据来计算出测试用参数;以及比较部33,将根据所述基准容积所设置的基准参数和所述测试用参数进行比较。

93. 发明专利

TW201040505A 質量流量計、質量流量控制器以及具有其的質量流量計系統及質量流量控制器系統 MASS FLOW METER, MASS FLOW CONTROLLER, AND MASS FLOW METER SYSTEM AND MASS FLOW CONTROLLER SYSTEM HAVING THE SAME CONTROLLER 审中-公开
简体标题：质量流量计、质量流量控制器以及具有其的质量流量计系统及质量流量控制器系统 MASS FLOW METER, MASS FLOW CONTROLLER, AND MASS FLOW METER SYSTEM AND MASS FLOW CONTROLLER SYSTEM HAVING THE SAME CONTROLLER
公开(公告)号：TW201040505A
公开(公告)日：2010-11-16
申请号：TW099106745
申请日：2010-03-09
申请人：堀場STEC股份有限公司
发明人：磯部泰弘 , 米田豊 , 鹿島利弘
IPC分类号： G01F , G05F
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F5/00 , G01F25/0007 , G05D7/0635 , Y10T137/7722 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明提供一種優異的質量流量計，其包括：感測器部2，對流路1中流動的試樣流體G的流量進行偵測；設定部4c，設定所指定的試樣流體所固有的流量特性函數K和儀器誤差修正參數α，所述流量特性函數K是按照每一流體所確定的、用以根據來自所述感測器部2的輸出值確定流量的流量特性函數，且所述儀器誤差修正參數α是獨立於所述流量特性函數且為多個試樣流體所共用的參數，用以對每一質量流量計的儀器誤差進行修正；以及流量計算部4d，根據所述流量特性函數K和所述儀器誤差修正參數α，來計算出所述試樣流體G的流量。
简体摘要：本发明提供一种优异的质量流量计，其包括：传感器部2，对流路1中流动的试样流体G的流量进行侦测；设置部4c，设置所指定的试样流体所固有的流量特性函数K和仪器误差修正参数α，所述流量特性函数K是按照每一流体所确定的、用以根据来自所述传感器部2的输出值确定流量的流量特性函数，且所述仪器误差修正参数α是独立于所述流量特性函数且为多个试样流体所共享的参数，用以对每一质量流量计的仪器误差进行修正；以及流量计算部4d，根据所述流量特性函数K和所述仪器误差修正参数α，来计算出所述试样流体G的流量。

94. 发明专利

TW200931502A 液體材料氣化裝置 LIQUID MATERIAL VAPORIZING APPARATUS 审中-公开
简体标题：液体材料气化设备 LIQUID MATERIAL VAPORIZING APPARATUS
公开(公告)号：TW200931502A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：TW097148233
申请日：2008-12-11
申请人：堀場STEC股份有限公司 HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：宮本英顯 MIYAMOTO, HIDEAKI , 西川一朗 NISHIKAWA, ICHIRO
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C23C16/4481 , B01B1/005 , B01D1/0082 , B01D1/16
摘要：本發明目的在於不變更噴嘴形狀而能使載體氣體CG大流量化,且包含:氣液混合室1,將液體材料LM以及載體氣體CG混合;液體材料導入通道2,將前述液體材料LM導入氣液混合室1;載體氣體導入通道3,將載體氣體CG導入氣液混合室1;氣化噴嘴部4,與氣液混合室1連通,且使由液體材料LM以及載體氣體CG所構成之混合體降壓氣化;混合氣體導出通道5,與氣化噴嘴部4連通,且將氣化噴嘴部4所氣化之混合氣體MG導出;旁通道6,將載體氣體導入通道3以及混合氣體導出通道5連通,且將載體氣體CG從載體氣體導入通道3向混合氣體導出通道5流動。
简体摘要：本发明目的在于不变更喷嘴形状而能使载体气体CG大流量化,且包含:气液混合室1,将液体材料LM以及载体气体CG混合;液体材料导入信道2,将前述液体材料LM导入气液混合室1;载体气体导入信道3,将载体气体CG导入气液混合室1;气化喷嘴部4,与气液混合室1连通,且使由液体材料LM以及载体气体CG所构成之混合体降压气化;混合气体导出信道5,与气化喷嘴部4连通,且将气化喷嘴部4所气化之混合气体MG导出;旁信道6,将载体气体导入信道3以及混合气体导出信道5连通,且将载体气体CG从载体气体导入信道3向混合气体导出信道5流动。

95. 发明专利

TW200839475A 差壓式質量流量控制器中之診斷機構 DIAGNOSTIC MECHANISM FOR DIFFERENTIAL PRESSURE MASS FLOW CONTROLLER 审中-公开
简体标题：差压式质量流量控制器中之诊断机构 DIAGNOSTIC MECHANISM FOR DIFFERENTIAL PRESSURE MASS FLOW CONTROLLER
公开(公告)号：TW200839475A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：TW096141315
申请日：2007-11-02
申请人：堀場STEC股份有限公司 HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：安田忠弘 YASUDA, TADAHIRO , 松浦和宏 MATSUURA, KAZUHIRO , 長井健太郎 NAGAI, KENTARO
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , G01F1/50 , G01F1/88 , G01F25/0007 , G05B23/0221
摘要：本發明提供一種差壓式質量流量控制器(A)之診斷機構,其可適當地發現阻抗體孔道阻塞等弊病,而以高精度診斷異常之有無。藉由使設於流體流動之流路上之流量控制閥(2Va)從流量控制狀態轉變為關閉狀態可使一阻抗體(3)的導入出口之間產生差壓,該阻抗體(3)之導入口(31)側及導出口(32)側分別連結設置有一入口側感測器(4)及一出口側感測器(5)。差壓式質量流量控制器(A)之診斷機構包含:診斷用參數計算部(2f),從該兩感測器中之人口側感測器(4)的下降之壓力値,藉由積分運算計算質量流量積分値,再由計算出之質量流量積分値計算診斷用體積値;及比較部(2h),將由診斷用參數計算部(2f)計算出之診斷用體積値與規定之體積値相比較。
简体摘要：本发明提供一种差压式质量流量控制器(A)之诊断机构,其可适当地发现阻抗体孔道阻塞等弊病,而以高精度诊断异常之有无。借由使设于流体流动之流路上之流量控制阀(2Va)从流量控制状态转变为关闭状态可使一阻抗体(3)的导入出口之间产生差压,该阻抗体(3)之导入口(31)侧及导出口(32)侧分别链接设置有一入口侧传感器(4)及一出口侧传感器(5)。差压式质量流量控制器(A)之诊断机构包含:诊断用参数计算部(2f),从该两传感器中之人口侧传感器(4)的下降之压力値,借由积分运算计算质量流量积分値,再由计算出之质量流量积分値计算诊断用体积値;及比较部(2h),将由诊断用参数计算部(2f)计算出之诊断用体积値与规定之体积値相比较。

96. 发明专利

TW200839474A 流量控制裝置與流量測定裝置之校準方法、流量控制裝置之校準系統、及半導體製造裝置 CALIBRATION METHOD FOR FLOW RATE CONTROLLER AND FLOW RATE MEASURING DEVICE, CALIBRATION SYSTEM FOR FLOW RATE CONTROLLER, AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION APPARATUS 审中-公开
简体标题：流量控制设备与流量测定设备之校准方法、流量控制设备之校准系统、及半导体制造设备 CALIBRATION METHOD FOR FLOW RATE CONTROLLER AND FLOW RATE MEASURING DEVICE, CALIBRATION SYSTEM FOR FLOW RATE CONTROLLER, AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION APPARATUS
公开(公告)号：TW200839474A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：TW096146323
申请日：2007-12-05
申请人：堀場STEC股份有限公司 HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：安田忠弘 YASUDA, TADAHIRO
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635
摘要：本發明旨在提供一流量控制裝置之校準方法,可盡量縮短包含等待時間校準所需之時間,並進行精度佳之校準。為此,將成為校準對象之流量控制裝置4及成為基準之流量控制裝置5自上游以此順序一前一後地設置在成為流量控制對象之流體流動之流路上,使該成為校準對象之流量控制裝置4進入其閥幾乎處於全開狀態之流量非控制狀態,並在藉由該成為基準之流量控制裝置5控制流體流量於既定流量之狀態下判斷該成為校準對象之流量控制裝置4所產生之實測流量是否處於該成為基準之流量控制裝置5所產生之實測流量之既定範圍內。
简体摘要：本发明旨在提供一流量控制设备之校准方法,可尽量缩短包含等待时间校准所需之时间,并进行精度佳之校准。为此,将成为校准对象之流量控制设备4及成为基准之流量控制设备5自上游以此顺序一前一后地设置在成为流量控制对象之流体流动之流路上,使该成为校准对象之流量控制设备4进入其阀几乎处于全开状态之流量非控制状态,并在借由该成为基准之流量控制设备5控制流体流量于既定流量之状态下判断该成为校准对象之流量控制设备4所产生之实测流量是否处于该成为基准之流量控制设备5所产生之实测流量之既定范围内。

97. 发明专利

TW200839197A 流量計 FLOW METER 失效
简体标题：流量计 FLOW METER
公开(公告)号：TW200839197A
公开(公告)日：2008-10-01
申请号：TW097102608
申请日：2008-01-24
申请人：堀場STEC股份有限公司 HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：井上正規 INOUE, MASAKI , 矢田秀貴 YADA, HIDETAKA
IPC分类号： G01F
CPC分类号： G01F1/6847 , G01F1/6888
摘要：本發明旨在提供一流量計,可在不使裝置整體大型化之情形下使線性特性獲得提昇並穩定地測定其流量大時之流量。其構成包含:流通管2;冷卻裝置3,冷卻流通管2之一部分;第1溫度偵測部4,偵測藉由冷卻裝置3所冷卻之流通管2之溫度;第2溫度偵測部5,偵測冷卻裝置3之溫度;第3溫度偵測部6,偵測流通管2中較冷卻區域2a更為上游之一側之非冷卻區域2b之溫度;及資訊處理部8,控制冷卻裝置3,以使第2溫度偵測部5之偵測溫度與第3溫度偵測部6之偵測溫度兩者間之差値成為既定値,並根據第2溫度偵測部5之偵測溫度與第1溫度偵測部4之偵測溫度兩者間之差値計算流過流通管2內流體F之流量;且將第2溫度偵測部5配置在冷卻裝置3中之最初因該流體F流過流通管內而自流體F受到溫度影響之部分附近。
简体摘要：本发明旨在提供一流量计,可在不使设备整体大型化之情形下使线性特性获得提升并稳定地测定其流量大时之流量。其构成包含:流通管2;冷却设备3,冷却流通管2之一部分;第1温度侦测部4,侦测借由冷却设备3所冷却之流通管2之温度;第2温度侦测部5,侦测冷却设备3之温度;第3温度侦测部6,侦测流通管2中较冷却区域2a更为上游之一侧之非冷却区域2b之温度;及信息处理部8,控制冷却设备3,以使第2温度侦测部5之侦测温度与第3温度侦测部6之侦测温度两者间之差値成为既定値,并根据第2温度侦测部5之侦测温度与第1温度侦测部4之侦测温度两者间之差値计算流过流通管2内流体F之流量;且将第2温度侦测部5配置在冷却设备3中之最初因该流体F流过流通管内而自流体F受到温度影响之部分附近。

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