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1. 发明专利

TWI405619B 藉由Ｘ射線揀選自含碳酸鈣岩石分離礦物雜質之方法有权
简体标题：借由Ｘ射线拣选自含碳酸钙岩石分离矿物杂质之方法
公开(公告)号：TWI405619B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：TW098143269
申请日：2009-12-17
申请人：歐亞發展公司 , OMYA DEVELOPMENT AG
发明人：塔瓦寇利巴曼 , TAVAKKOLI, BAHMAN , 曼格貝格湯瑪斯 , MANGELBERGER, THOMAS , 萊辛格馬蒂斯 , REISINGER, MATTHIAS
IPC分类号： B07C5/346 , B07C5/34 , G01N23/18 , G01N23/087
CPC分类号： B02C25/00 , B02C23/08 , B07C5/3425 , B07C5/366

2. 发明专利

TW202030478A 用於切割基板上的電子裝置的設備及方法审中-公开
简体标题：用于切割基板上的电子设备的设备及方法
公开(公告)号：TW202030478A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW108136635
申请日：2019-10-09
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：穆勒博海德 , MUELLER, BERNHARD G.
IPC分类号： G01N23/18 , G01N1/04 , H01J37/26 , H01J37/28
摘要：揭露了一種用於切割一電子裝置的方法及設備。在一實施例中，描述了一種用於在一基板上切割一電子裝置的設備，此設備包括用於支撐此基板的一平臺，此基板上具有此電子裝置；固定在此平臺上方的一位置上的一聚焦離子束柱，此聚焦離子束柱係適於在相對於此基板的一主要表面的一平面的一銳角角度處發射一光束路徑，以及與此聚焦離子束柱相鄰放置的一顯微鏡，其中此平臺在此電子裝置的切割期間僅限於在一X-Y平面中移動。
简体摘要：揭露了一种用于切割一电子设备的方法及设备。在一实施例中，描述了一种用于在一基板上切割一电子设备的设备，此设备包括用于支撑此基板的一平台，此基板上具有此电子设备；固定在此平台上方的一位置上的一聚焦离子束柱，此聚焦离子束柱系适于在相对于此基板的一主要表面的一平面的一锐角角度处发射一光束路径，以及与此聚焦离子束柱相邻放置的一显微镜，其中此平台在此电子设备的切割期间仅限于在一X-Y平面中移动。

3. 发明专利

TW201743059A 追蹤潤滑劑品質變化之裝置及方法、追蹤之方法及使用此方法於測定潤滑劑之鐵含量审中-公开
简体标题：追踪润滑剂品质变化之设备及方法、追踪之方法及使用此方法于测定润滑剂之铁含量
公开(公告)号：TW201743059A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW106118156
申请日：2017-06-01
申请人：道達爾行銷服務公司 , TOTAL MARKETING SERVICES
发明人：賈斯當哈法耶 , JUSTON, RAPHAEL , 特羅德克顏 , TROADEC, YANN , 修德海耶馮索 , CHAUDOREILLE, FRANCOIS , 侯曼強菲力浦 , ROMAN, JEAN PHILIPPE , 阿米歐阿何諾 , AMIOT, ARNAUD
IPC分类号： G01N33/30 , G01N23/18 , G01N23/223
CPC分类号： G01N33/30 , G01N23/223 , G01N33/2835 , G01N33/2858 , G01N33/2888
摘要：本發明係關於用於追蹤在一件設備(M)中循環之潤滑劑品質變化的裝置(2)，該裝置(2)包含向上游連接至該件設備(M)且向下游連接至回收盤之至少一個管道(4)。該裝置進一步包含用於該潤滑劑在該管道中之該循環(F1)的第一受控中斷閥(20)、用於聚積潤滑劑之緩衝液儲集器(26)、一方面自該第一閥(20)向上游連接至該管道(4)且另一方面連接至該緩衝液儲集器(26)的第一旁路管線(28)。該裝置亦包含用於該潤滑劑在該第一旁路管線(28)中之該循環的第二受控中斷閥(32)、用於將該潤滑劑自該緩衝液儲集器(26)排出至該回收盤之第二排出管線(42)及用於該潤滑劑在該第二排出管線(42)中之循環的第三受控中斷閥(44)。感測器(50)提供藉由X螢光技術測定該緩衝液儲集器之出口處之潤滑劑樣本中之預定化學元素之含量的可能性。此感測器包含x射線源、x射線偵測器及意欲容納待分析潤滑劑樣本之單元。該單元具備壁，該壁形成用於穿過源自該源或朝向該偵測器行進之該等射線的窗，且該壁由聚(對苯二甲酸乙二酯)製成。
简体摘要：本发明系关于用于追踪在一件设备(M)中循环之润滑剂品质变化的设备(2)，该设备(2)包含向上游连接至该件设备(M)且向下游连接至回收盘之至少一个管道(4)。该设备进一步包含用于该润滑剂在该管道中之该循环(F1)的第一受控中断阀(20)、用于聚积润滑剂之缓冲液储集器(26)、一方面自该第一阀(20)向上游连接至该管道(4)且另一方面连接至该缓冲液储集器(26)的第一旁路管线(28)。该设备亦包含用于该润滑剂在该第一旁路管线(28)中之该循环的第二受控中断阀(32)、用于将该润滑剂自该缓冲液储集器(26)排出至该回收盘之第二排出管线(42)及用于该润滑剂在该第二排出管线(42)中之循环的第三受控中断阀(44)。传感器(50)提供借由X萤光技术测定该缓冲液储集器之出口处之润滑剂样本中之预定化学元素之含量的可能性。此传感器包含x射线源、x射线侦测器及意欲容纳待分析润滑剂样本之单元。该单元具备壁，该壁形成用于穿过源自该源或朝向该侦测器行进之该等射线的窗，且该壁由聚(对苯二甲酸乙二酯)制成。

4. 发明专利

TW201708812A 利用能夠分辨光子能量的檢測器的Ｘ射線成像审中-公开
简体标题：利用能够分辨光子能量的检测器的Ｘ射线成像
公开(公告)号：TW201708812A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105126634
申请日：2016-08-19
申请人：深圳幀觀德芯科技有限公司 , SHENZHEN XPECTVISION TECHNOLOGY CO., LTD.
发明人：曹培炎 , CAO, PEIYAN , 劉雨潤 , LIU, YURUN
IPC分类号： G01N23/18 , A61B6/02 , G01T1/29
CPC分类号： G01N23/046 , G01N2223/423 , G01T1/366 , G06T15/08 , G06T2210/41
摘要：本教導涉及用於利用能夠分辨光子能量的檢測器的X射線成像的方法、系統和裝置。在一個示例中，公開X射線顯微鏡。該X射線顯微鏡包括X射線源和檢測器。該X射線源配置成用於對樣本輻照X射線。檢測器配置成用於：檢測來自輻照X射線的X射線光子、確定檢測的X射線光子中的每個的能量以及基於具有在預定範圍內的能量的檢測X射線光子產生樣本的圖像。
简体摘要：本教导涉及用于利用能够分辨光子能量的检测器的X射线成像的方法、系统和设备。在一个示例中，公开X射线显微镜。该X射线显微镜包括X射线源和检测器。该X射线源配置成用于对样本辐照X射线。检测器配置成用于：检测来自辐照X射线的X射线光子、确定检测的X射线光子中的每个的能量以及基于具有在预定范围内的能量的检测X射线光子产生样本的图像。

5. 发明专利

TW201708791A 矽貫通通孔形成生產系統、矽貫通通孔形成生產方法、記錄媒體及程式审中-公开
简体标题：硅贯通通孔形成生产系统、硅贯通通孔形成生产方法、记录媒体及进程
公开(公告)号：TW201708791A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：TW105110390
申请日：2016-03-31
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：梅原康敏 , UMEHARA, YASUTOSHI , 波岡一郎 , NAMIOKA, ICHIRO
IPC分类号： G01B15/02 , G01B15/04 , G01N23/04 , G01N23/18 , G05B19/418
CPC分类号： G01B15/00 , G01B15/02 , G01B15/04 , G01N23/04 , G01N23/18 , G05B19/418 , Y02P90/22
摘要：矽貫通通孔形成生產系統包括：X射線檢查裝置，其取得表示形成於矽基板之矽貫通通孔70之形狀及該矽貫通通孔內之鍍覆膜之狀態的圖像；缺陷模式判定機構，其由所取得之上述圖像而判定上述鍍覆膜內之空隙缺陷之有無，且於檢測出該空隙缺陷時，將該空隙缺陷分類為特定之複數個缺陷模式；不良處理認定機構，其根據分類出之上述特定之缺陷模式，認定造成上述空隙缺陷之不良處理；及控制機構，其指示正在進行上述不良處理之處理裝置進行用以更正上述不良處理之變更處理。
简体摘要：硅贯通通孔形成生产系统包括：X射线检查设备，其取得表示形成于硅基板之硅贯通通孔70之形状及该硅贯通通孔内之镀覆膜之状态的图像；缺陷模式判定机构，其由所取得之上述图像而判定上述镀覆膜内之空隙缺陷之有无，且于检测出该空隙缺陷时，将该空隙缺陷分类为特定之复数个缺陷模式；不良处理认定机构，其根据分类出之上述特定之缺陷模式，认定造成上述空隙缺陷之不良处理；及控制机构，其指示正在进行上述不良处理之处理设备进行用以更正上述不良处理之变更处理。

6. 发明专利

TWI458968B 檢測超紫外線光罩之方法及裝置有权
简体标题：检测超紫外线光罩之方法及设备
公开(公告)号：TWI458968B
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW100125948
申请日：2011-07-22
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES MICROVISION, INC.
发明人：關鍵 , KUAN, CHIYAN , 方偉 , FANG, WEI , 王友金 , WANG, YOU-JIN
IPC分类号： G01N23/225 , G01N23/18 , G01N21/88
CPC分类号： G01N23/2251

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