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    • 4. 发明专利
    • 流體供給裝置及該裝置的液體排出方法
    • 流体供给设备及该设备的液体排出方法
    • TW201921425A
    • 2019-06-01
    • TW107127538
    • 2018-08-08
    • 日商富士金股份有限公司FUJIKIN INCORPORATED
    • 吉田俊英YOSHIDA, TOSHIHIDE皆見幸男MINAMI, YUKIO篠原努SHINOHARA, TSUTOMU
    • H01L21/02H01L21/304F26B9/06
    • [課題]提供一種流體供給裝置及適合此裝置的液體排出方法,可防止由被設置在主配管的各種機器的凍結所產生的故障。   [技術內容]具有:電容器(130)、及將流體貯留的槽桶(140)、及將流體朝向處理室(500)壓送的泵(160)、及使用被貯留在將槽桶(140)及泵(160)連結的槽桶(140)的液體的自重將該液體朝泵(160)移送用的主配管(2)、及主配管(2)及一端是由該主配管(2)的最低位置(MB)被連接且另一端部是朝大氣被開放並將槽桶(140)及主配管(2)內的液體氣化並朝外部排出用的排出用配管(5),排出用配管(5),是在槽桶(140)及主配管(2)內的液體全部被排出之後,使將排出用配管(5)的大氣側的空間及主配管(2)側的空間隔出的積水,在排出用配管(5)內暫時地發生地形成。
    • [课题]提供一种流体供给设备及适合此设备的液体排出方法,可防止由被设置在主配管的各种机器的冻结所产生的故障。   [技术内容]具有:电容器(130)、及将流体贮留的槽桶(140)、及将流体朝向处理室(500)压送的泵(160)、及使用被贮留在将槽桶(140)及泵(160)链接的槽桶(140)的液体的自重将该液体朝泵(160)移送用的主配管(2)、及主配管(2)及一端是由该主配管(2)的最低位置(MB)被连接且另一端部是朝大气被开放并将槽桶(140)及主配管(2)内的液体气化并朝外部排出用的排出用配管(5),排出用配管(5),是在槽桶(140)及主配管(2)内的液体全部被排出之后,使将排出用配管(5)的大气侧的空间及主配管(2)侧的空间隔出的积水,在排出用配管(5)内暂时地发生地形成。
    • 6. 发明专利
    • 減壓乾燥裝置及減壓乾燥方法
    • 减压干燥设备及减压干燥方法
    • TW202004847A
    • 2020-01-16
    • TW108116955
    • 2019-05-16
    • 日商斯庫林集團股份有限公司SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
    • 富藤幸雄TOMIFUJI, YUKIO
    • H01L21/027F26B5/04F26B9/06H01L21/304
    • 本發明之課題,在於提供在利用減壓使基板上之處理液乾燥時,減輕處理液之乾燥不均的發生之技術。 本發明於腔室10內之底面100設置有凹部12,並於該凹部12之底面120設置有排氣口14。於收容空間10S內之Z軸方向(凹部12之深度方向)上與排氣口14重疊之位置設置有第1整流板30。於第1整流板30之端部(-X側端部32a或+X側端部32b)及凹部12之內緣部(-X側緣部124a或+X側緣部124b)在Z軸方向(凹部12之深度方向)上重疊之位置設置有第2整流板40。複數個保持部52在第1整流板30及第2整流板40之上方之位置(上位置L1或下位置L2)保持基板9。
    • 本发明之课题,在于提供在利用减压使基板上之处理液干燥时,减轻处理液之干燥不均的发生之技术。 本发明于腔室10内之底面100设置有凹部12,并于该凹部12之底面120设置有排气口14。于收容空间10S内之Z轴方向(凹部12之深度方向)上与排气口14重叠之位置设置有第1整流板30。于第1整流板30之端部(-X侧端部32a或+X侧端部32b)及凹部12之内缘部(-X侧缘部124a或+X侧缘部124b)在Z轴方向(凹部12之深度方向)上重叠之位置设置有第2整流板40。复数个保持部52在第1整流板30及第2整流板40之上方之位置(上位置L1或下位置L2)保持基板9。
    • 8. 发明专利
    • 具有節能效果之食品乾燥機
    • 具有节能效果之食品干燥机
    • TW201503832A
    • 2015-02-01
    • TW102127442
    • 2013-07-31
    • 賴建忠
    • 賴建忠
    • A23L3/40F26B9/06
    • Y02P60/853
    • 一種具有節能效果之食品乾燥機,其係包含有一本體,該本體具有一容置空間,且該本體設有一進氣通道及一排氣通道,而該排氣通道係設於該進氣通道之一側,該進氣通道出口處更設有一加熱裝置,且該容置空間設有至少一循環風扇,藉此,該排氣通道所排出的溼熱空氣可與該進氣通道中未加熱的冷空氣進行熱交換,使該進氣通道中未加熱的冷空氣可預先受熱升溫,以減少所需之熱能源,俾達降低成本,符合產業利用之經濟效益,從而使該具有節能效果之食品乾燥機具有節能之效果。
    • 一种具有节能效果之食品干燥机,其系包含有一本体,该本体具有一容置空间,且该本体设有一进气信道及一排气信道,而该排气信道系设于该进气信道之一侧,该进气信道出口处更设有一加热设备,且该容置空间设有至少一循环风扇,借此,该排气信道所排出的湿热空气可与该进气信道中未加热的冷空气进行热交换,使该进气信道中未加热的冷空气可预先受热升温,以减少所需之热能源,俾达降低成本,符合产业利用之经济效益,从而使该具有节能效果之食品干燥机具有节能之效果。