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1. 发明专利

TW422758B 化學機械研磨機之載具膜之預防保養方法以及適用於此方法之預防保養設備失效
简体标题：化学机械研磨机之载具膜之预防保养方法以及适用于此方法之预防保养设备
公开(公告)号：TW422758B
公开(公告)日：2001-02-21
申请号：TW088121051
申请日：1999-12-02
申请人：華邦電子股份有限公司
发明人：陳延國 , 廖泳森 , 張仁杰
IPC分类号： B24B , H01L
CPC分类号： B24B37/30 , B24B37/042 , H01L21/30625 , Y10T29/4973 , Y10T29/49778 , Y10T29/4978 , Y10T29/49895
摘要：本發明提供一種化學機械研磨機之載具膜之預防保養方法以及適用於此方法之預防保養設備。本發明藉由雷射預先加工在載具膜上打孔，可避免習知載具膜需在研磨載具上手工鑽孔的限制。又，提供一對孔板，可大幅縮減因預防保養而導致化學機械研磨機停機的時間，並可提高效率，簡化預防保養程序。
简体摘要：本发明提供一种化学机械研磨机之载具膜之预防保养方法以及适用于此方法之预防保养设备。本发明借由激光预先加工在载具膜上打孔，可避免习知载具膜需在研磨载具上手工钻孔的限制。又，提供一对孔板，可大幅缩减因预防保养而导致化学机械研磨机停机的时间，并可提高效率，简化预防保养进程。

2. 发明专利

TW496782B 柱狀海棉體換裝輔助器失效
简体标题：柱状海棉体换装辅助器
公开(公告)号：TW496782B
公开(公告)日：2002-08-01
申请号：TW089119701
申请日：2000-09-25
申请人：華邦電子股份有限公司
发明人：陳廷國 , 廖泳森 , 陳義元 , 黃啓業
IPC分类号： B08B , B24B
CPC分类号： B29C63/18 , B23P11/02 , B29L2031/32 , Y10T29/49945 , Y10T29/53657
摘要：本發明揭示一種柱狀海綿體換裝輔助器，其包含一縱長套持體且最好亦包含一基座，該套持體具有縱向接續之一套筒部與一推拔部；該套筒部具有一筒身部以及一位於該筒身部中且朝向其中一側開口之中空部，該筒身部之外徑約略大於該柱狀海綿體未擴張之內徑，該中空部之內徑則設定成一可供該心軸自該其中一側開口順利插入之大小。藉此，將可藉由簡單之套持體，而很容易地將海綿體套裝於心軸上。
简体摘要：本发明揭示一种柱状海绵体换装辅助器，其包含一纵长套持体且最好亦包含一基座，该套持体具有纵向接续之一套筒部与一推拔部；该套筒部具有一筒身部以及一位于该筒身部中且朝向其中一侧开口之中空部，该筒身部之外径约略大于该柱状海绵体未扩张之内径，该中空部之内径则设置成一可供该心轴自该其中一侧开口顺利插入之大小。借此，将可借由简单之套持体，而很容易地将海绵体套装于心轴上。

3. 发明专利

TW492246B 具智慧型之晶元破片影像監看自動錄製系統和方法失效
简体标题：具智能型之芯片破片影像监看自动录制系统和方法
公开(公告)号：TW492246B
公开(公告)日：2002-06-21
申请号：TW089118413
申请日：2000-09-08
申请人：華邦電子股份有限公司
发明人：陳廷國 , 郭文進 , 廖泳森 , 林俊傑
IPC分类号： G01N , H04N
摘要：一種具智慧型之晶元破片影像監看自動錄製系統和方法，主要係由可同時監看晶元研磨時之狀況之多台攝影裝置，傳送該攝影裝置所攝得之影像訊號之多機影像傳送器，接收由該多機攝影攝影傳送器所傳送之影像訊號，接收後將同時截取之影像合併於同一畫面之多機影像接收器，可於其內部之影像截取卡之輸入端接收該多機影像接收器所傳來之影像訊號，並接收訊號傳輸裝置之晶元進入和離開研磨裝置之訊號及破片時之訊號之個人電腦(PC)所組成，而可利於工程人員判斷、會診、真因驗證或工程改善管理。
简体摘要：一种具智能型之芯片破片影像监看自动录制系统和方法，主要系由可同时监看芯片研磨时之状况之多台摄影设备，发送该摄影设备所摄得之影像信号之多机影像发送器，接收由该多机摄影摄影发送器所发送之影像信号，接收后将同时截取之影像合并于同一画面之多机影像接收器，可于其内部之影像截取卡之输入端接收该多机影像接收器所传来之影像信号，并接收信号传输设备之芯片进入和离开研磨设备之信号及破片时之信号之个人电脑(PC)所组成，而可利于工程人员判断、会诊、真因验证或工程改善管理。

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