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热词
    • 1. 发明专利
    • 熱電測定裝置之試樣組裝體
    • 热电测定设备之试样组装体
    • TW514726B
    • 2002-12-21
    • TW090121301
    • 2001-08-29
    • 理學電機股份有限公司三菱電機股份有限公司
    • 平山泰生稻實雅信松尾秀一伊藤幸一郎服部亮宮國晉一野谷佳弘山本佳嗣
    • G01N
    • G01N25/486
    • 本發明之目的在於提供一種熱電測定裝置之試樣組裝體,其於熱電測定裝置中,經由銦黏接層黏接試樣於基板上,藉此,使試樣組裝體之均熱性變佳,減小接觸電動勢和熱電動勢。
      本發明之解決手段中,氮化鋁製基板12係導熱佳之絕緣性基板。於基板12之中央形成中間層16,於兩端形成中繼電極層24、26。此等層自基板12側依序形成 Ti(鍗)/Mo(鉬)/Au(金)之三層構造。GaAs試樣經由導熱良好之銦製黏接層18黏接於中間層16上。一對電極層20、22隔有間隔形成於試樣14上面。此等電極層20、22自試樣14側依序形成AuGe(金.鍺合金)/Mi(鎳)/Au(金)之三層構造。試樣14上之電極層20、22與基板12上之中繼電極層24、26藉金線(Au線)連接。
    • 本发明之目的在于提供一种热电测定设备之试样组装体,其于热电测定设备中,经由铟黏接层黏接试样于基板上,借此,使试样组装体之均热性变佳,减小接触电动势和热电动势。 本发明之解决手段中,氮化铝制基板12系导热佳之绝缘性基板。于基板12之中央形成中间层16,于两端形成中继电极层24、26。此等层自基板12侧依序形成 Ti(鍗)/Mo(钼)/Au(金)之三层构造。GaAs试样经由导热良好之铟制黏接层18黏接于中间层16上。一对电极层20、22隔有间隔形成于试样14上面。此等电极层20、22自试样14侧依序形成AuGe(金.锗合金)/Mi(镍)/Au(金)之三层构造。试样14上之电极层20、22与基板12上之中继电极层24、26藉金线(Au线)连接。
    • 2. 发明专利
    • 試樣表面漏電流之測定方法
    • 试样表面漏电流之测定方法
    • TW502114B
    • 2002-09-11
    • TW090121300
    • 2001-08-29
    • 理學電機股份有限公司三菱電機股份有限公司
    • 平山泰生伊藤幸一郎服部亮宮國晉一野谷佳弘山本佳嗣
    • G01N
    • G01N27/041G01N1/44
    • 本發明係無需預先藉其他設備除去試樣表面上之附著物質,便可高精度測定試樣之表面漏電流。又可確認試樣表面上之附著物質是否完全脫離。
      於試樣50表面上形成一對電極52、54。在施加電壓於一對電極52、54間狀態下,當照射能量射束62於電極52、54間之試樣表面區域,附著物質60即自試樣表面脫離。若於照射能量射束62期間內,測定流過電極52、54間之電流時,在附著物質存在期間內,可觀測到通過附著物質而流動之表面漏電流。附著物質60一完全脫離,附著物質60所引發之表面漏電流即消失。因此,於附著物質6O引發之表面漏電流消失之時刻,可確認附著物質60完全脫離。此後,停止照射能量射束62,可測定試樣本來之表面漏電流。
    • 本发明系无需预先藉其他设备除去试样表面上之附着物质,便可高精度测定试样之表面漏电流。又可确认试样表面上之附着物质是否完全脱离。 于试样50表面上形成一对电极52、54。在施加电压于一对电极52、54间状态下,当照射能量射束62于电极52、54间之试样表面区域,附着物质60即自试样表面脱离。若于照射能量射束62期间内,测定流过电极52、54间之电流时,在附着物质存在期间内,可观测到通过附着物质而流动之表面漏电流。附着物质60一完全脱离,附着物质60所引发之表面漏电流即消失。因此,于附着物质6O引发之表面漏电流消失之时刻,可确认附着物质60完全脱离。此后,停止照射能量射束62,可测定试样本来之表面漏电流。