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    • 2. 发明专利
    • 雷射加工方法及雷射加工裝置
    • 激光加工方法及激光加工设备
    • TW201838752A
    • 2018-11-01
    • TW107107250
    • 2018-03-05
    • 日商東麗工程股份有限公司TORAY ENGINEERING CO., LTD.
    • 佐橋敬一SAHASHI, KEIICHI森英治MORI, EIJI北村慎章KITAMURA, NORIAKI
    • B23K26/361B23K26/067B23K26/00H01L31/0463
    • 本發明之課題在於實現可抑制毛邊之產生並且成本降低之雷射加工。 具體而言,本發明係一種雷射加工方法,其特徵在於:其係對薄膜照射雷射而進行加工者,且包括: 雷射分支步驟,其係使自一個雷射振盪器輸出之雷射光束分支成薄膜加工用之主光束、及因主光束之照射而產生之毛邊去除用之第1副光束與第2副光束; 加工步驟,其係一面使主光束相對於薄膜沿加工方向相對移動,一面進行照射而形成加工線;及 毛邊去除步驟,其係一面與主光束保持特定之相對位置,一面對藉由加工步驟於薄膜中形成之加工線之兩側部照射第1副光束及第2副光束而去除毛邊;且 特定之相對位置係主光束為加工方向之上游位置,第1副光束及第2副光束為下游位置。
    • 本发明之课题在于实现可抑制毛边之产生并且成本降低之激光加工。 具体而言,本发明系一种激光加工方法,其特征在于:其系对薄膜照射激光而进行加工者,且包括: 激光分支步骤,其系使自一个激光振荡器输出之激光光束分支成薄膜加工用之主光束、及因主光束之照射而产生之毛边去除用之第1副光束与第2副光束; 加工步骤,其系一面使主光束相对于薄膜沿加工方向相对移动,一面进行照射而形成加工线;及 毛边去除步骤,其系一面与主光束保持特定之相对位置,一面对借由加工步骤于薄膜中形成之加工线之两侧部照射第1副光束及第2副光束而去除毛边;且 特定之相对位置系主光束为加工方向之上游位置,第1副光束及第2副光束为下游位置。