专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TWI267139B 生產裝置之異常停止迴避方法及異常停止迴避系統失效
简体标题：生产设备之异常停止回避方法及异常停止回避系统
公开(公告)号：TWI267139B
公开(公告)日：2006-11-21
申请号：TW091119823
申请日：2002-08-30
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：石井賢 , 中尾隆 , 牛久幸廣 USHIKU, YUJIHIRO , 佐俁秀一
IPC分类号： H01L , G06F
CPC分类号： G05B9/02 , G05B23/024 , G05B23/0291
摘要：本發明為一種異常停止迴避系統，能夠預測出正確之故障時期，實現安全且低成本之維護。
其係包含：反應室521；真空泵(18、19)，其係用以對反應室521進行減壓；氣體供應控制系統51，其係用以將氣體導入反應室521；特徵量感測器31至37，其係用以測定真空泵(18、19)之特徵量之時系列資料；即時控制器531，其係用以對反應室521、真空泵(18、19)、及氣體供應控制系統51進行即時之控制；及故障即時判定模組533，其係對時系列資料實施第一即時解析來取得一次故障診斷資料，對一次故障診斷資料施以第二即時解析來取得二次故障診斷資料，藉此預測故障。當判斷會異常停止時，將藉由氣體供應控制系統51，將換氣用氣體導入反應室521內。
简体摘要：本发明为一种异常停止回避系统，能够预测出正确之故障时期，实现安全且低成本之维护。其系包含：反应室521；真空泵(18、19)，其系用以对反应室521进行减压；气体供应控制系统51，其系用以将气体导入反应室521；特征量传感器31至37，其系用以测定真空泵(18、19)之特征量之时系列数据；实时控制器531，其系用以对反应室521、真空泵(18、19)、及气体供应控制系统51进行实时之控制；及故障实时判定模块533，其系对时系列数据实施第一实时解析来取得一次故障诊断数据，对一次故障诊断数据施以第二实时解析来取得二次故障诊断数据，借此预测故障。当判断会异常停止时，将借由气体供应控制系统51，将换气用气体导入反应室521内。

2. 发明专利

TW591688B 半導體製造裝置用旋轉機之壽命預測方法及半導體製造裝置失效
简体标题：半导体制造设备用旋转机之寿命预测方法及半导体制造设备
公开(公告)号：TW591688B
公开(公告)日：2004-06-11
申请号：TW091119820
申请日：2002-08-30
申请人：東芝股份有限公司 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：佐俁秀一 , 牛久幸廣 , 古田武夫 , 中尾隆 , 石井賢
IPC分类号： F04B , G05B , H01L
CPC分类号： G05B19/4065 , G05B2219/37252 , Y02P90/86
摘要：本發明提供一種高靈敏度且穩定之半導體製造裝置用旋轉機之壽命預測方法。其包含：測定旋轉機(乾泵)之加速度，獲得時間序列資料(步驟S101)；頻率分析時間序列資料，獲得頻譜(步驟S102)；決定分析對象頻率(步驟 S103)；抽樣測定對應於分析對象頻率之峰值加速度的基準用時間序列資料、及峰值加速度的評估用時間序列資料(步驟S104)；使用基準用時間序列資料及評估用時間序列資料，作成旋轉機之壽命評估用資料，以決定旋轉機壽命步驟(步驟S105)。
简体摘要：本发明提供一种高灵敏度且稳定之半导体制造设备用旋转机之寿命预测方法。其包含：测定旋转机(干泵)之加速度，获得时间串行数据(步骤S101)；频率分析时间串行数据，获得频谱(步骤S102)；决定分析对象频率(步骤 S103)；抽样测定对应于分析对象频率之峰值加速度的基准用时间串行数据、及峰值加速度的评估用时间串行数据(步骤S104)；使用基准用时间串行数据及评估用时间串行数据，作成旋转机之寿命评估用数据，以决定旋转机寿命步骤(步骤S105)。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式