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1. 发明专利

TW200921805A 晶片黏著封裝方法审中-公开
简体标题：芯片黏着封装方法
公开(公告)号：TW200921805A
公开(公告)日：2009-05-16
申请号：TW096141594
申请日：2007-11-02
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：林春佑 , 孟憲鎧
IPC分类号： H01L
摘要：一種具有兩個或兩個以上的基材本體所組成之晶片黏著封裝方法,該方法係使用貼合法、旋轉塗佈法、浸泡法或蒸發塗佈法在第一基材本體表面形成一膠合劑薄層,再將第二基材本體置於此第一基材本體上面,最後使膠合劑固化即完成第一基材本體與第二基材本體之黏著封裝。該方法係應用在微流體晶片、生物微機電晶片與光學微機電晶片黏著封裝。
简体摘要：一种具有两个或两个以上的基材本体所组成之芯片黏着封装方法,该方法系使用贴合法、旋转涂布法、浸泡法或蒸发涂布法在第一基材本体表面形成一胶合剂薄层,再将第二基材本体置于此第一基材本体上面,最后使胶合剂固化即完成第一基材本体与第二基材本体之黏着封装。该方法系应用在微流体芯片、生物微机电芯片与光学微机电芯片黏着封装。

2. 发明专利

TW200933288A 凸型魚眼光罩結構审中-公开
简体标题：凸型鱼眼光罩结构
公开(公告)号：TW200933288A
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW097102032
申请日：2008-01-18
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：謝景文 , 林春佑 , 孟憲鎧
IPC分类号： G03F , G02B
摘要：一種凸型魚眼光罩結構,包括有一透明基材、一阻光材料層及一魚眼透鏡結構。其中透明基材具有一表面及一底面,其表面形成有一阻光材料層,且開設有複數個光源透空區。而魚眼透鏡結構包括有複數個凸型魚眼透鏡,係個別地形成於該阻光材料層之光源透空區中。該各個凸型魚眼透鏡具有一底面及一頂面,其底面係結合於該透明基材之表面,而其頂面係形成一凸曲面,且該各個凸型魚眼透鏡係一一對應於該阻光材料層之光源透空區,以使一光源入射通過凸型魚眼光罩結構之凸型魚眼透鏡後,改變光源之行進方向。
简体摘要：一种凸型鱼眼光罩结构,包括有一透明基材、一阻光材料层及一鱼眼透镜结构。其中透明基材具有一表面及一底面,其表面形成有一阻光材料层,且开设有复数个光源透空区。而鱼眼透镜结构包括有复数个凸型鱼眼透镜,系个别地形成于该阻光材料层之光源透空区中。该各个凸型鱼眼透镜具有一底面及一顶面,其底面系结合于该透明基材之表面,而其顶面系形成一凸曲面,且该各个凸型鱼眼透镜系一一对应于该阻光材料层之光源透空区,以使一光源入射通过凸型鱼眼光罩结构之凸型鱼眼透镜后,改变光源之行进方向。

3. 发明专利

TW200931168A 具有魚眼透鏡結構之光罩結構审中-公开
简体标题：具有鱼眼透镜结构之光罩结构
公开(公告)号：TW200931168A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：TW097101492
申请日：2008-01-15
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：謝景文 , 林春佑 , 孟憲鎧
IPC分类号： G03F , G02B
摘要：一種具有魚眼透鏡結構之光罩結構,包括有一透明基材、一阻光材料層及一魚眼透鏡結構。該透明基材具有一表面及一底面,其中該表面具有複數個凹曲面,並以該各個凹曲面作為凹型魚眼透鏡,以形成該魚眼透鏡結構。該魚眼透鏡結構亦可以是由複數個凸形魚眼透鏡所組成,並個別地結合於該透明基材表面之各個凹曲面。而阻光材料層係形成於透明基材之底面,且阻光材料層開設有複數個光源透空區,該各個光源透空區係一一對應於該各個凹曲面,以使一光源入射通過魚眼透鏡後,改變該光源之行進方向。
简体摘要：一种具有鱼眼透镜结构之光罩结构,包括有一透明基材、一阻光材料层及一鱼眼透镜结构。该透明基材具有一表面及一底面,其中该表面具有复数个凹曲面,并以该各个凹曲面作为凹型鱼眼透镜,以形成该鱼眼透镜结构。该鱼眼透镜结构亦可以是由复数个凸形鱼眼透镜所组成,并个别地结合于该透明基材表面之各个凹曲面。而阻光材料层系形成于透明基材之底面,且阻光材料层开设有复数个光源透空区,该各个光源透空区系一一对应于该各个凹曲面,以使一光源入射通过鱼眼透镜后,改变该光源之行进方向。

4. 发明专利

TW200928575A 魚眼光罩結構审中-公开
简体标题：鱼眼光罩结构
公开(公告)号：TW200928575A
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW096150815
申请日：2007-12-28
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：謝景文 , 林春佑 , 孟憲鎧
IPC分类号： G03F
摘要：一種魚眼光罩結構,其包括有一透明基材、一阻光材料層及一魚眼透鏡結構。其中透明基材具有一平整表面及一底面。阻光材料層係形成於透明基材之底面,且該阻光材料層開設有複數個光源透空區。而魚眼透鏡結構可形成於透明基材之平整表面或底面之阻光材料層上,該魚眼透鏡結構包括有複數個魚眼透鏡,一一對應於該阻光材料層之光源透空區。可使一光源入射通過魚眼透鏡後,改變光源之行進方向,並造成光源聚集或發散之效果。
简体摘要：一种鱼眼光罩结构,其包括有一透明基材、一阻光材料层及一鱼眼透镜结构。其中透明基材具有一平整表面及一底面。阻光材料层系形成于透明基材之底面,且该阻光材料层开设有复数个光源透空区。而鱼眼透镜结构可形成于透明基材之平整表面或底面之阻光材料层上,该鱼眼透镜结构包括有复数个鱼眼透镜,一一对应于该阻光材料层之光源透空区。可使一光源入射通过鱼眼透镜后,改变光源之行进方向,并造成光源聚集或发散之效果。

5. 发明专利

TW200934721A 以魚眼光罩結合遮罩層配合微影製程製作中空微針頭陣列的方法审中-公开
简体标题：以鱼眼光罩结合遮罩层配合微影制程制作中空微针头数组的方法
公开(公告)号：TW200934721A
公开(公告)日：2009-08-16
申请号：TW097104931
申请日：2008-02-05
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：謝景文 , 孟憲鎧
IPC分类号： B81B , H01L
摘要：一種以魚眼光罩結合遮罩層配合微影製程製作中空微針頭陣列的方法。首先提供一基材,並於基材表面形成一層或複數層光阻層。將一魚眼光罩配置在基材表面,以一光源入射通過該魚眼光罩之各個魚眼透鏡,並在該魚眼光罩之光源透空區中央位置形成一遮蔽區,以使部分光源受到遮蔽,使各個光阻層上對應之選定曝光區域曝光。以顯影成模製程除去光阻層之曝光區以形成一母模,再對母模進行膜層塗佈及剝膜成型製程形成一微針頭陣列。最後貫通微針頭陣列之各個微針頭之孔洞使形成貫孔,以形成一中空微針頭陣列。
简体摘要：一种以鱼眼光罩结合遮罩层配合微影制程制作中空微针头数组的方法。首先提供一基材,并于基材表面形成一层或复数层光阻层。将一鱼眼光罩配置在基材表面,以一光源入射通过该鱼眼光罩之各个鱼眼透镜,并在该鱼眼光罩之光源透空区中央位置形成一屏蔽区,以使部分光源受到屏蔽,使各个光阻层上对应之选定曝光区域曝光。以显影成模制程除去光阻层之曝光区以形成一母模,再对母模进行膜层涂布及剥膜成型制程形成一微针头数组。最后贯通微针头数组之各个微针头之孔洞使形成贯孔,以形成一中空微针头数组。

6. 发明专利

TW200933303A 以魚眼光罩配合柱狀體以微影製程製作中空微針頭陣列的方法审中-公开
简体标题：以鱼眼光罩配合柱状体以微影制程制作中空微针头数组的方法
公开(公告)号：TW200933303A
公开(公告)日：2009-08-01
申请号：TW097102957
申请日：2008-01-25
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：謝景文 , 孟憲鎧
IPC分类号： G03F
摘要：一種以魚眼光罩配合柱狀體以微影製程製作中空微針頭陣列的方法。首先提供一基材,並於其表面之選定位置形成有複數個柱狀體,塗佈一層或複數層光阻層於基材表面。將一魚眼光罩配置在基材表面,以使魚眼光罩之魚眼透鏡陣列之各個魚眼透鏡一一對應於基材表面之各個柱狀體。再以一光源入射通過該魚眼光罩後出射至該基材表面之各個光阻層,以使各個光阻層上對應之選定曝光區域曝光。以顯影成模製程除去光阻層之曝光區以形成一母模,再對母模進行膜層塗佈及剝膜成型製程,以形成一中空微針頭陣列。
简体摘要：一种以鱼眼光罩配合柱状体以微影制程制作中空微针头数组的方法。首先提供一基材,并于其表面之选定位置形成有复数个柱状体,涂布一层或复数层光阻层于基材表面。将一鱼眼光罩配置在基材表面,以使鱼眼光罩之鱼眼透镜数组之各个鱼眼透镜一一对应于基材表面之各个柱状体。再以一光源入射通过该鱼眼光罩后出射至该基材表面之各个光阻层,以使各个光阻层上对应之选定曝光区域曝光。以显影成模制程除去光阻层之曝光区以形成一母模,再对母模进行膜层涂布及剥膜成型制程,以形成一中空微针头数组。

7. 发明专利

TW200909065A 霧化器噴嘴結構及其製程审中-公开
简体标题：雾化器喷嘴结构及其制程
公开(公告)号：TW200909065A
公开(公告)日：2009-03-01
申请号：TW096130904
申请日：2007-08-21
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：林春佑 , 孟憲鎧
IPC分类号： B05B
摘要：一種霧化器噴嘴結構,包括有一噴嘴基體、一液滴噴孔、一渦旋流體導入區域、一渦旋流場區段及一液體入口,利用噴嘴基體底面之液體入口引入一液體源,經由導流管道連通於渦旋流體導入區域及渦旋流場區段,且導流管道係以渦旋流體導入區域之切線方向配置,使引入之液體源形成一渦旋流體,再由連通於液滴噴孔及渦旋流體導入區域之間之渦旋流場區段,及噴嘴基體之頂面形成之一漸擴開口,由液滴噴孔噴出產生霧化液滴。
简体摘要：一种雾化器喷嘴结构,包括有一喷嘴基体、一液滴喷孔、一涡旋流体导入区域、一涡旋流场区段及一液体入口,利用喷嘴基体底面之液体入口引入一液体源,经由导流管道连通于涡旋流体导入区域及涡旋流场区段,且导流管道系以涡旋流体导入区域之切线方向配置,使引入之液体源形成一涡旋流体,再由连通于液滴喷孔及涡旋流体导入区域之间之涡旋流场区段,及喷嘴基体之顶面形成之一渐扩开口,由液滴喷孔喷出产生雾化液滴。

8. 发明专利

TW200931492A 以凹型魚眼光罩製作微針頭陣列的方法审中-公开
简体标题：以凹型鱼眼光罩制作微针头数组的方法
公开(公告)号：TW200931492A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：TW097101491
申请日：2008-01-15
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：謝景文 , 孟憲鎧
IPC分类号： H01L , G03F
摘要：一種以凹型魚眼光罩製作微針頭陣列的方法。首先提供一基材並塗佈一光阻層於其表面,再將一凹型魚眼光罩配置在該基材之表面,並與該基材之光阻層保持一預定間距。以一光源入射通過該凹型魚眼光罩後經由折射作用,使通過各個凹型魚眼透鏡後之光源發散並通過該表面之光阻層,以對該光阻層之選定曝光區域進行曝光,藉調整光源交疊之預定深度大小,再以顯影成形製程除去該光阻層曝光區域,以直接形成一微針頭陣列,或將其作為一母模,再藉由成形及剝膜製程,製成不同幾何結構之微針頭陣列。
简体摘要：一种以凹型鱼眼光罩制作微针头数组的方法。首先提供一基材并涂布一光阻层于其表面,再将一凹型鱼眼光罩配置在该基材之表面,并与该基材之光阻层保持一预定间距。以一光源入射通过该凹型鱼眼光罩后经由折射作用,使通过各个凹型鱼眼透镜后之光源发散并通过该表面之光阻层,以对该光阻层之选定曝光区域进行曝光,藉调整光源交叠之预定深度大小,再以显影成形制程除去该光阻层曝光区域,以直接形成一微针头数组,或将其作为一母模,再借由成形及剥膜制程,制成不同几何结构之微针头数组。

9. 发明专利

TW200931027A 以凸型魚眼光罩製作微針頭陣列的方法审中-公开
简体标题：以凸型鱼眼光罩制作微针头数组的方法
公开(公告)号：TW200931027A
公开(公告)日：2009-07-16
申请号：TW097101157
申请日：2008-01-11
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：謝景文 , 孟憲鎧
IPC分类号： G01R , G03F
摘要：一種以凸型魚眼光罩製作微針頭陣列的方法,其係在一基材之表面塗佈有一具有預定厚度之光阻層,並將一凸型魚眼光罩配置在該基材之表面,且保持一預定間距。以一光源入射通過凸型魚眼光罩之各個凸型魚眼透鏡並聚焦於該基材上之光阻層之一預定深度以進行曝光。再以顯影成模製程除去該光阻層曝光區域,形成一具有凹部結構陣列之母模。形成具有預定厚度之一微針頭材料層並填注入該母模之凹部結構陣列中。將該微針頭材料層從該母模剝離,以形成該微針頭陣列。
简体摘要：一种以凸型鱼眼光罩制作微针头数组的方法,其系在一基材之表面涂布有一具有预定厚度之光阻层,并将一凸型鱼眼光罩配置在该基材之表面,且保持一预定间距。以一光源入射通过凸型鱼眼光罩之各个凸型鱼眼透镜并聚焦于该基材上之光阻层之一预定深度以进行曝光。再以显影成模制程除去该光阻层曝光区域,形成一具有凹部结构数组之母模。形成具有预定厚度之一微针头材料层并填注入该母模之凹部结构数组中。将该微针头材料层从该母模剥离,以形成该微针头数组。

10. 发明专利

TW200909068A 手動式霧化器之氣體增壓機構审中-公开
简体标题：手动式雾化器之气体增压机构
公开(公告)号：TW200909068A
公开(公告)日：2009-03-01
申请号：TW096130914
申请日：2007-08-21
申请人：微邦科技股份有限公司 MICRO BASE TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：林春佑 , 孟憲鎧
IPC分类号： B05B
摘要：一種手動式霧化器之氣體增壓機構,包括有一液體容器、一輸送管道、一噴嘴構件、一支架結構以及一貯能裝置,液體容器具有一容置空間,用以容置一液體源,容置空間中設置有輸送管道,並於一預定位置處連接支架結構之一活塞裝置,而支架結構之另一端係設置有一控制裝置,且貯能裝置係固定於支架結構,當控制裝置啓動時,貯能裝置將帶動支架結構之活塞裝置產生一加壓氣體,並導入液體容器之容置空間中,使得液體源由輸送管道之噴孔噴出形成霧化之效果。
简体摘要：一种手动式雾化器之气体增压机构,包括有一液体容器、一输送管道、一喷嘴构件、一支架结构以及一贮能设备,液体容器具有一容置空间,用以容置一液体源,容置空间中设置有输送管道,并于一预定位置处连接支架结构之一活塞设备,而支架结构之另一端系设置有一控制设备,且贮能设备系固定于支架结构,当控制设备启动时,贮能设备将带动支架结构之活塞设备产生一加压气体,并导入液体容器之容置空间中,使得液体源由输送管道之喷孔喷出形成雾化之效果。

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