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1. 发明专利

TW334521B 液晶顯示用薄膜之製成方法及製成裝置失效
简体标题：液晶显示用薄膜之制成方法及制成设备
公开(公告)号：TW334521B
公开(公告)日：1998-06-21
申请号：TW085107499
申请日：1996-06-22
申请人：安內華股份有限公司
发明人：吉岡勝也 , 岩田寬
IPC分类号： G02F
CPC分类号： C23C14/027 , C23C14/0063 , C23C14/56 , G02F1/133512
摘要：本發明之目的係為：有助於製成使外光(太陽光、室內光)的反射率減低並可構成畫面易看的液晶顯示薄膜。
本發明之構成係為：在具備由金屬所構成之目標(Target)8的陰極7前方，導入氧／氮之混合氣和氬氣以便在透明基板2之移動方向中的氧氣分壓梯度變成預定值，藉由目標8的反應性噴鍍在透明基板2的表面上製成金屬氧化物薄膜。薄膜係在膜厚方向構成具有預定組成比率的梯度者。藉由調節氧氣和氮氣的混合量，就可調節組成比率的梯度。
简体摘要：本发明之目的系为：有助于制成使外光(太阳光、室内光)的反射率减低并可构成画面易看的液晶显示薄膜。本发明之构成系为：在具备由金属所构成之目标(Target)8的阴极7前方，导入氧／氮之混合气和氩气以便在透明基板2之移动方向中的氧气分压梯度变成预定值，借由目标8的反应性喷镀在透明基板2的表面上制成金属氧化物薄膜。薄膜系在膜厚方向构成具有预定组成比率的梯度者。借由调节氧气和氮气的混合量，就可调节组成比率的梯度。

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