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1. 发明专利

TWI403567B 在防塵薄膜組件框架之通氣孔內壁塗佈黏接劑之方法有权
简体标题：在防尘薄膜组件框架之通气孔内壁涂布黏接剂之方法
公开(公告)号：TWI403567B
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：TW100112580
申请日：2011-04-12
申请人：信越化學工業股份有限公司 , SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：野崎聰 , NOZAKI, SATOSHI
IPC分类号： C09J5/00 , C09J11/06 , G03F1/62

2. 发明专利

TW201211192A 在防塵薄膜組件框架之通氣孔內壁塗佈黏接劑之方法 METHOD FOR COATING ADHESIVE ON INNER WALL OF VENTING HOLE IN PELLICLE FRAME 审中-公开
简体标题：在防尘薄膜组件框架之通气孔内壁涂布黏接剂之方法 METHOD FOR COATING ADHESIVE ON INNER WALL OF VENTING HOLE IN PELLICLE FRAME
公开(公告)号：TW201211192A
公开(公告)日：2012-03-16
申请号：TW100112580
申请日：2011-04-12
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：野崎聰
IPC分类号： C09J , G03F
摘要：本發明提供一種不會污染周圍環境，且具有優良的均一塗佈性，在防塵薄膜組件框架之通氣孔內壁塗佈黏接劑之方法。一種在防塵薄膜組件框架之通氣孔內壁塗佈黏接劑之方法，使具有通氣孔的防塵薄膜組件框架外側面呈水平或呈傾斜45度或更小而固持著框架，將藉由有機溶劑稀釋至10質量%或更小的黏接劑，朝上述通氣孔滴入。而特徵如下：上述有機溶劑，係將醋酸乙酯與己烷以其混合比為3：7~5：5的範圍混合而成之混合溶劑。
简体摘要：本发明提供一种不会污染周围环境，且具有优良的均一涂布性，在防尘薄膜组件框架之通气孔内壁涂布黏接剂之方法。一种在防尘薄膜组件框架之通气孔内壁涂布黏接剂之方法，使具有通气孔的防尘薄膜组件框架外侧面呈水平或呈倾斜45度或更小而固持着框架，将借由有机溶剂稀释至10质量%或更小的黏接剂，朝上述通气孔滴入。而特征如下：上述有机溶剂，系将醋酸乙酯与己烷以其混合比为3：7~5：5的范围混合而成之混合溶剂。

3. 发明专利

TW201223834A 防塵薄膜組件容器套組 A PELLICLE CONTAINER KIT 审中-公开
简体标题：防尘薄膜组件容器套组 A PELLICLE CONTAINER KIT
公开(公告)号：TW201223834A
公开(公告)日：2012-06-16
申请号：TW100130556
申请日：2011-08-25
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：野崎聰
IPC分类号： B65D , C08L , G03F
CPC分类号： B65D81/02
摘要：提出一種防塵薄膜組件容器套組，其中使防塵薄膜組件容器之蓋與盤結合在一起的角部夾之材料為橡膠硬度計硬度為D58至D64之樹脂，且其最好由聚氨酯樹脂或聚乙烯樹脂其中一者製成。
简体摘要：提出一种防尘薄膜组件容器套组，其中使防尘薄膜组件容器之盖与盘结合在一起的角部夹之材料为橡胶硬度计硬度为D58至D64之树脂，且其最好由聚氨酯树脂或聚乙烯树脂其中一者制成。

4. 发明专利

TWI341280B 防護薄膜組件包裝用緩衝體及包裝方法 BUFFERING MATERIAL FOR PACKAGING PELLICLE AND PACKAGING METHOD 有权
简体标题：防护薄膜组件包装用缓冲体及包装方法 BUFFERING MATERIAL FOR PACKAGING PELLICLE AND PACKAGING METHOD
公开(公告)号：TWI341280B
公开(公告)日：2011-05-01
申请号：TW096139236
申请日：2007-10-19
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：關原一敏 , 野崎聰
IPC分类号： B65D
摘要：本發明旨在提供一防護薄膜組件包裝用緩衝體，以及使用此緩衝體之防護薄膜組件包裝方法，係於運送防護薄膜組件的過程中，對於輸送容器所產生的各種振動、撞擊，能保護防護薄膜組件及防護薄膜組件殼體。並且藉由防止該等結構與零件產生粉塵，以保持防護薄膜組件於潔淨之狀態，且可於此狀態下安全地運送。
本發明之防護薄膜組件包裝用緩衝體1於防護薄膜組件之輸送容器6內，設置凹凸部2於配置在防護薄膜組件殼體3之底面的該緩衝體1的表面，而該表面係接觸防護薄膜組件殼體3。藉由使用此緩衝體1之防護薄膜組件的包裝方法，相較於習知所用的平板狀緩衝體，可大幅提高緩衝效果。因此，能減少運送時的振動、撞擊，且可在防護薄膜組件上未附著異物而不受污染之狀態下，將其保持潔淨狀態而輸送。
简体摘要：本发明旨在提供一防护薄膜组件包装用缓冲体，以及使用此缓冲体之防护薄膜组件包装方法，系于运送防护薄膜组件的过程中，对于输送容器所产生的各种振动、撞击，能保护防护薄膜组件及防护薄膜组件壳体。并且借由防止该等结构与零件产生粉尘，以保持防护薄膜组件于洁净之状态，且可于此状态下安全地运送。本发明之防护薄膜组件包装用缓冲体1于防护薄膜组件之输送容器6内，设置凹凸部2于配置在防护薄膜组件壳体3之底面的该缓冲体1的表面，而该表面系接触防护薄膜组件壳体3。借由使用此缓冲体1之防护薄膜组件的包装方法，相较于习知所用的平板状缓冲体，可大幅提高缓冲效果。因此，能减少运送时的振动、撞击，且可在防护薄膜组件上未附着异物而不受污染之状态下，将其保持洁净状态而输送。

5. 发明专利

TWI316920B 防護薄膜組件收納容器及其製造方法 PELLICLE STORAGE CONTAINER AND METHOD OF MANUFACTURING SAME 有权
简体标题：防护薄膜组件收纳容器及其制造方法 PELLICLE STORAGE CONTAINER AND METHOD OF MANUFACTURING SAME
公开(公告)号：TWI316920B
公开(公告)日：2009-11-11
申请号：TW096120602
申请日：2007-06-07
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：野崎聰
IPC分类号： B65D , G03F
摘要：本發明的目的在提供一種光微影用防護薄膜組件收納容器，其在保管、輸送、操作中能防止所收納的防護薄膜組件污損並維持品質。
本發明之防護薄膜組件收納容器，係由載置防護薄膜組件的容器本體，以及覆蓋、保護防護薄膜組件且與容器本體彼此在周緣部嵌合卡止的蓋體所構成，其特徵為：預先設計製作成凸出形狀，使蓋體不會因為本身重量而彎曲附著於防護薄膜上。
简体摘要：本发明的目的在提供一种光微影用防护薄膜组件收纳容器，其在保管、输送、操作中能防止所收纳的防护薄膜组件污损并维持品质。本发明之防护薄膜组件收纳容器，系由载置防护薄膜组件的容器本体，以及覆盖、保护防护薄膜组件且与容器本体彼此在周缘部嵌合卡止的盖体所构成，其特征为：预先设计制作成凸出形状，使盖体不会因为本身重量而弯曲附着于防护薄膜上。

6. 发明专利

TW371726B 用於結合薄膜襯墊之裝置失效
简体标题：用于结合薄膜衬垫之设备
公开(公告)号：TW371726B
公开(公告)日：1999-10-11
申请号：TW088102782
申请日：1999-02-24
申请人：信越化學工業股份有限公司
发明人：野崎聰
IPC分类号： G03F
CPC分类号： G03F1/84
摘要：本發明揭露一種結合薄膜襯墊至一塗有壓合膠黏劑之框架形薄膜之薄膜框架下端表面之裝置，其一目的是保護該壓合黏著層之黏著表面，以便使該薄膜襯墊至邊緣伸出部份超出該薄膜框架下端表面之寬度變化減至最小，俾能改善該框架形薄膜產品之商業價值。該結合裝置包含：（Ａ）一偵測機制，其偵測該薄膜框架及欲結合薄膜襯墊離開正確結合位置之相對位置偏差，及（Ｂ）一能根據來自該偵測機制（Ａ）之對應偏差信號調整該薄膜框架及該薄膜襯墊之相對位置至該正確結合位置之驅動機制，及然後使該薄膜框架及該薄膜襯墊接觸以使一壓合黏著層介於其間而施行黏著結合。
简体摘要：本发明揭露一种结合薄膜衬垫至一涂有压合胶黏剂之框架形薄膜之薄膜框架下端表面之设备，其一目的是保护该压合黏着层之黏着表面，以便使该薄膜衬垫至边缘伸出部份超出该薄膜框架下端表面之宽度变化减至最小，俾能改善该框架形薄膜产品之商业价值。该结合设备包含：（Ａ）一侦测机制，其侦测该薄膜框架及欲结合薄膜衬垫离开正确结合位置之相对位置偏差，及（Ｂ）一能根据来自该侦测机制（Ａ）之对应偏差信号调整该薄膜框架及该薄膜衬垫之相对位置至该正确结合位置之驱动机制，及然后使该薄膜框架及该薄膜衬垫接触以使一压合黏着层介于其间而施行黏着结合。

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