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1. 发明授权

KR102481066B1 면상 발열체를 이용한 콘크리트 양생용 균일 발열 시스템 有权
公开(公告)号：KR102481066B1
公开(公告)日：2022-12-26
申请号：KR1020200173647
申请日：2020-12-11
IPC分类号： E04G21/24 , H05B3/28 , H05B3/00 , H05B3/30 , H05B3/26
摘要： 본발명은면상발열체를이용한콘크리트양생용발열시스템을제안한다. 본원의일 실시예에따른면상발열체를이용한콘크리트양생용균일발열시스템은, 콘크리트제조용거푸집의외부패널에각각밀착된상태로결합되는복수의단위발열장치; 및상기복수의단위발열장치에전력을공급하는전원공급부를포함하되, 상기단위발열장치는거푸집패널의표면에부착되고, 소정의단위면적을갖는본체하우징; 상기본체하우징의상부면에결합된파지부; 및상기본체하우징의하부면에결합된면상발열히터를포함한다.

2. 发明授权

KR102424748B1 열처리 방법 有权
公开(公告)号：KR102424748B1
公开(公告)日：2022-07-25
申请号：KR1020210026369
申请日：2021-02-26
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/67 , G01J5/00 , H05B3/00

3. 发明授权

KR102395284B1 통전 가열 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102395284B1
公开(公告)日：2022-05-09
申请号：KR1020160170643
申请日：2016-12-14
IPC分类号： B21D37/16 , B21D22/02 , H05B3/00
摘要： 본발명은, 통전가열장치에관한것으로서, 가공대상물의미리정해진제1 연화영역과접촉되는양극; 및상기가공대상물의미리정해진제2 연화영역과접촉되는음극을포함하며; 상기양극과상기음극은, 상기제1 연화영역과상기제2 연화영역을통해상기가공대상물에전류를인가하여상기제1 연화영역과상기제2 연화영역의가열온도가상기가공대상물의나머지영역의가열온도에비해낮도록상기가공대상물을가열한다.

4. 发明公开

KR1020220029382A 광원 유닛 및 광조사 장치 审中-实审
公开(公告)号：KR1020220029382A
公开(公告)日：2022-03-08
申请号：KR1020210105263
申请日：2021-08-10
IPC分类号： H01L21/67 , H05B3/00
摘要： [과제] LED 소자로부터피처리기판에조사되는광의조사불균일을억제한광원유닛및 광조사장치를제공한다. [해결수단] 피처리기판에광을조사하는광원유닛으로서, 복수의 LED 소자와, 복수의 LED 소자가재치되는재치면을갖고, 재치면에직교하는방향에서보았을때에, 적어도가장외측에, 복수의분할영역이둘레방향으로배열되도록설치된 LED 기판과, 상기복수의분할영역각각에, LED 소자를냉각하기위한냉각매체를흘려넣는유입구와, LED 기판의재치면에직교하는방향에서보았을때에, 유입구보다 LED 기판의중심측에설치된, 냉각매체를배출하는배출구와, 유입구와배출구를연락하고, 내측을냉각매체가통류하는유로를갖고, LED 기판의재치면과는반대측의면에설치된냉각부재를구비한다.

5. 发明授权

KR102368832B1 다중 가열 영역 구조의 정전 척 有权
公开(公告)号：KR102368832B1
公开(公告)日：2022-03-02
申请号：KR1020210089824
申请日：2021-07-08
IPC分类号： H01L21/683 , H02N13/00 , B23Q3/15 , H01L21/67 , H05B3/14 , H05B3/00
摘要： 본발명은다중가열영역구조의정전척에관한것이다. 다중가열구조의정전척은각각이가열소자에의하여개별적으로가열제어가가능한다수개의마이크로멀티히터존(11_1 내지 11_N); 다수개의마이크로멀티히터존(11_1 내지 11_N)의각각에연결된개별스위치수단(14_1 내지 14_N)을포함하는스위치모듈(13); 및스위치모듈(13)의작동을제어하는스위치제어모듈(15)을포함하고, 각각의마이크로멀티히터존(11_1 내지 11_N)에의하여정전척에고정된웨이퍼의서로다른부분이독립적으로가열된다.

6. 发明授权

KR102366692B1 상 가열 장치 및 상 가열 장치에 사용되는 히터 有权
公开(公告)号：KR102366692B1
公开(公告)日：2022-02-23
申请号：KR1020217003343
申请日：2016-08-12
IPC分类号： G03G15/20 , H05B3/00 , H05B1/02
摘要： 히터의길이방향에서독립적으로제어가능한복수의발열블록을갖는상 가열장치에서, 히터의크기의증가가억제될수 있으며, 복수의발열블록의온도가검출될수 있다. 히터는제1 발열블록에대응하는제1 온도센서, 제2 발열블록에대응하는제2 온도센서, 상기제1 온도센서에전기적으로연결되는제1 도전체, 상기제2 온도센서에전기적으로연결되는제2 도전체, 및상기제1 및제2 온도센서에전기적으로연결되는공통도전체를갖는다.

7. 发明授权

KR102363557B1 플라즈마 처리 장치, 플라즈마 처리 장치의 운용 방법 및 급전 장치 有权
公开(公告)号：KR102363557B1
公开(公告)日：2022-02-17
申请号：KR1020167031236
申请日：2015-06-01
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/67 , H01L21/683 , H05H1/46 , H05B3/00 , H01L21/02
摘要： 일실시형태의플라즈마처리장치는처리용기, 재치대, 복수의히터및 급전장치를구비하고있다. 재치대는처리용기내에마련되어있다. 복수의히터는, 재치대내에마련되어있다. 급전장치는복수의히터에전력을공급한다. 급전장치는복수의변압기, 및복수의제로크로스제어형의솔리드스테이트릴레이(SSR)를갖고있다. 복수의변압기는, 교류전원으로부터의전압을강압하도록구성되어있다. 복수의변압기의각각은, 1차코일및 2차코일을갖고있다. 1차코일은교류전원에접속되어있다. 복수의 SSR의각각은, 복수의히터중 대응하는하나의히터와복수의변압기중 대응하는하나의변압기의 2차코일의사이에마련되어있다.

8. 发明授权

KR102357780B1 램프 가열 어셈블리를 위한 확산기 有权
公开(公告)号：KR102357780B1
公开(公告)日：2022-02-08
申请号：KR1020217019691
申请日：2014-04-15
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/67 , H05B3/00 , H01L21/683 , H05B3/06
摘要： 본개시물의실시예들은일반적으로광학적으로투명한윈도우들및 이러한광학적으로투명한윈도우들을포함하는처리챔버들에관한것이다. 광학적으로투명한윈도우는이 광학적으로투명한윈도우위에형성된광 확산구조물들을포함한다. 광확산구조물들은돌출또는만입피쳐들을갖는스캘럽또는딤플표면, 또는광택제거표면을포함할수 있다. 광확산구조물들은램프들에의한불균등한조사에의해야기되는열 핫스폿들을감소시킴으로써기판들의보다균일한가열을용이하게한다.

9. 发明授权

KR102351031B1 램프를 위한 보유 및 절연 피쳐들 有权
公开(公告)号：KR102351031B1
公开(公告)日：2022-01-13
申请号：KR1020167035966
申请日：2015-03-18
IPC分类号： H01L21/67 , H01R33/09 , H05B3/00 , H05B3/06 , H01L21/324
摘要： 본개시내용의실시예들은일반적으로열 처리챔버에서열 복사의소스로서이용되는램프를위한개선된보유및 절연피쳐들에관한것이다. 일실시예에서, 프로세스챔버가제공된다. 프로세스챔버는반도체기판들의열 처리를위한램프어셈블리 - 램프어셈블리는램프전기커넥터및 제1 측방향동작요소를가짐 -; 램프어셈블리를수용하기위한통로를갖는램프어셈블리하우징; 램프전기커넥터를수용하고램프전기커넥터에전력을전달하기위한리셉터클을갖는전력분배어셈블리; 및램프어셈블리하우징과전력분배어셈블리사이에배치된스페이서플레이트를포함하고, 스페이서플레이트는램프전기커넥터의통과를허용하는윤곽을갖는통로를갖고, 스페이서플레이트는제1 측방향동작요소에맞물리거나맞물림해제되도록구성된보유피쳐를갖는다.

10. 发明授权

KR102343576B1 추출 브루어 有权
公开(公告)号：KR102343576B1
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：KR1020187011370
申请日：2016-10-28
IPC分类号： A47J31/56 , A47J31/44 , H05B6/12 , H05B3/00
摘要： 커피나차를추출하거나, 물질을지방또는기름으로추출하기위한카하프내에놓인물질또는물질들을가열하고교반하는전기가열및 교반기계. 상기장치는모터를사용해자석이장착된자석홀더를회전시킨다. 자석이회전하면교반기는회전하는자석으로의끌림을통해자기적으로회전하고, 교반기가회전하면카하프의내용물이교반된다. 카하프의내용물은, 바람직하게는카하프의아래에위치된적외선히터또는인덕션히터에의해가열된다. 교반기의베이스는유도가열또는직접적외선가열에의해가열된다. 카하프내의내용물의온도는온도계에의해측정된다. 혼합속도, 온도, 및교반시간과가열시간모두를제어하기위해제어회로가사용될수 있다.

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