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1. 发明授权

KR102453537B1 결합 검정 有权
公开(公告)号：KR102453537B1
公开(公告)日：2022-10-11
申请号：KR1020197017597
申请日：2017-12-18
IPC分类号： G01N33/68 , G01N33/543 , G01N33/52 , G01N21/45 , G01N21/77

2. 发明授权

KR102343663B1 샘플 내의 입자를 특성화하는 홀로그래픽 방법 有权
公开(公告)号：KR102343663B1
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：KR1020187030133
申请日：2017-03-22
IPC分类号： G03H1/08 , G03H1/04 , G01N21/45 , G01N15/14 , G03H1/00
摘要： 본발명은, 샘플이광원(11)에의해조명될때, 이미지센서(16)에의해획득된샘플의이미지(I0) 또는홀로그램에기초하여, 샘플(10) 내에함유된입자(10b)를홀로그래픽특성화하는방법에관한것이다. 홀로그램은, 재구성평면에서샘플에의해투과된광파를나타내는기준복합이미지(Aref)를참조하여복합이미지를획득할수 있도록하는홀로그래픽재구성(holographic reconstruction)의대상이다. 복수의소위 2차복합이미지(Aref,z)를얻을수 있도록홀로그램에전파연산자가상기기준복합이미지에적용되는데, 2차복합이미지로부터상기광파의전파축(Z)을따라샘플에의해투과된광파의광학특성의변화를나타내는프로파일이결정된다.

3. 发明授权

KR102244724B1 대형 샘플 검사용 단층촬영 장치 有权
公开(公告)号：KR102244724B1
公开(公告)日：2021-05-06
申请号：KR1020190169070
申请日：2019-12-17
申请人： 주식회사 휴비츠
发明人： 유대원 , 성치혁 , 이용진
IPC分类号： G01N21/45 , G01B9/02 , G01N21/88
摘要： 태플릿컴퓨터용디스플레이, 차량용계기판등의대형샘플의표면및 내부를비파괴적으로검사할수 있는단층촬영장치가개시된다. 상기단층촬영장치는샘플(5)의라인스캔방향으로순차적으로배치되어샘플(5)을단층촬영하며, 상기라인스캔방향에서, 각각의광 간섭단층촬영부(30, 40)의라인스캔영역이부분적으로중복되도록배치되는둘 이상의광 간섭단층촬영부(30, 40); 각각의상기광 간섭단층촬영부(30, 40)의높이를조절하여, 각각의광 간섭단층촬영부(30, 40)가샘플(5)의검사면으로부터소정거리이격되도록하는구동부(32, 42); 및샘플(5)이장착되며, 장착된샘플(5)을라인스캔방향과다른방향으로이송하기위한샘플장착부(50)를포함한다.

4. 发明授权

KR102206444B1 광신호를 이용한 탄성체의 성질 측정 장치 및 방법 有权
公开(公告)号：KR102206444B1
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：KR1020190069979
申请日：2019-06-13
申请人： 광주과학기술원
发明人： 박숭호 , 이병하 , 김영규 , 임승환
IPC分类号： G01N21/17 , G01N21/45 , A61B5/00
摘要： 검사광을이용한탄성체의성질측정장치및 방법을개시한다. 본실시예의일 측면에의하면, 비접촉하여탄성체의성질을측정하는장치에있어서, 상기탄성체로출력할검사광을생성하는광원과상기광원으로부터출력된검사광을반사시키는미러와상기광원으로부터출력된검사광을상기탄성체로조사하고, 상기탄성체의진동으로인한광신호를수신하는프로브와상기광원으로부터출력된검사광을상기미러및 프로브로분기시키고, 상기미러에서반사된광신호와상기프로브가수신한검사광을간섭시켜분기시키는커플러와상기커플러로부터분기된간섭신호를각각센싱하는복수의센싱부및 상기탄성체가진동하도록하는음향파를상기프로브로전달하여상기프로브가기 설정된파장대역의신호를상기탄성체로조사하도록하며, 각센싱부가센싱한센싱값들로부터상기탄성체의진동전파속도를측정하는측정부를포함하는것을특징으로하는탄성체성질측정장치를제공한다.

5. 发明公开

KR1020210005976A 기판 검사 장치 审中-实审
公开(公告)号：KR1020210005976A
公开(公告)日：2021-01-15
申请号：KR1020210001510
申请日：2021-01-06
申请人： 주식회사 내일해
发明人： 김병목 , 김지훈 , 성맑음 , 이상진
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/45 , G01B11/24 , G03H1/04 , G01B11/25
摘要： 본발명의일 실시예는, 기판에재료를증착시키는증착부, 내부에상기증착부를배치시키고진공을형성하는진공챔버, 상기진공챔버에인접하게배치되는검사챔버및 상기검사챔버내부에배치되며, 상기기판을검사하되상기기판표면의 3차원정보를복원하여증착된상기기판의이상유무를검사하는검사유닛을포함하고, 상기검사유닛은, 단일파장광을방출하는광원부, 상기광원부에서방출된단일파장광을시준하기위한시준기, 상기시준기를통과한상기단일파장광을물체광및 기준광으로분할하는광 분할기, 상기광 분할기에의해분할된상기물체광을통과시키는물체광대물렌즈, 상기광 분할기에의해분할된상기기준광을반사시키는광학거울, 상기물체광대물렌즈를통과하여상기기판의표면에서반사된물체광및 상기광학거울에의해반사된기준광이각각상기광 분할기로전달되어형성되는간섭무늬를기록하는영상센서및 상기영상센서에서상기간섭무늬를변환하여생성된물체홀로그램의강도(Intensity) 정보를포함하는이미지를수신하여저장하고, 상기기판표면의 3차원형상정보를생성하는프로세서를포함하는, 기판검사장치를제공한다.

6. 发明授权

KR102202301B1 기판 검사 장치 有权
公开(公告)号：KR102202301B1
公开(公告)日：2021-01-13
申请号：KR1020180131112
申请日：2018-10-30
申请人： 주식회사 내일해
发明人： 김병목 , 김지훈 , 성맑음 , 이상진
IPC分类号： G01N21/88 , G01N21/45 , G01B11/24 , G01B11/25 , G03H1/04
摘要： 본발명의일 실시예는, 기판에재료를증착시키는증착부, 내부에상기증착부를배치시키고진공을형성하는진공챔버, 상기진공챔버에인접하게배치되는검사챔버및 상기검사챔버내부에배치되며, 상기기판을검사하되상기기판표면의 3차원정보를복원하여증착된상기기판의이상유무를검사하는검사유닛을포함하고, 상기검사유닛은, 단일파장광을방출하는광원부, 상기광원부에서방출된단일파장광을시준하기위한시준기, 상기시준기를통과한상기단일파장광을물체광및 기준광으로분할하는광 분할기, 상기광 분할기에의해분할된상기물체광을통과시키는물체광대물렌즈, 상기광 분할기에의해분할된상기기준광을반사시키는광학거울, 상기물체광대물렌즈를통과하여상기기판의표면에서반사된물체광및 상기광학거울에의해반사된기준광이각각상기광 분할기로전달되어형성되는간섭무늬를기록하는영상센서및 상기영상센서에서상기간섭무늬를변환하여생성된물체홀로그램의강도(Intensity) 정보를포함하는이미지를수신하여저장하고, 상기기판표면의 3차원형상정보를생성하는프로세서를포함하는, 기판검사장치를제공한다.

7. 发明授权

KR102154649B1 샘플 내의 타겟 오브젝트를 측정하기 위한 고속 이미징 시스템 有权
公开(公告)号：KR102154649B1
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：KR1020180118096
申请日：2018-10-04
申请人： 고려대학교 산학협력단 , 기초과학연구원
发明人： 김문석 , 최원식 , 조용현 , 윤석찬
IPC分类号： G01N21/45 , G01J3/45 , G01J9/02

8. 发明授权

KR102143540B1 반사 테라헤르츠 방사선을 사용하는 물질 특성 계산 시스템 有权
公开(公告)号：KR102143540B1
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：KR1020157012742
申请日：2013-10-18
申请人： 피코메트릭스 엘엘씨
发明人： 화이트,제프리,에스. , 짐달즈,데이비드
IPC分类号： G01N21/3586 , G01N21/45 , G01N9/00 , G01N5/00 , G01B11/06 , G01B9/02

9. 发明授权

KR101983400B1 2차원 샘플 어레이의 검출 및 이미징을 위한 시스템 및 방법 有权
公开(公告)号：KR101983400B1
公开(公告)日：2019-05-28
申请号：KR1020137010703
申请日：2011-10-25
申请人： 제너럴 일렉트릭 캄파니
发明人： 매이티샌딥 , 라폴우마칸트 , 바탁사미어딩카 , 랭고주라제쉬 , 파틸아브히트 , 람모한아누샤
IPC分类号： G01N21/55 , G01N21/45 , G01N33/53

10. 发明授权

KR101935659B1 진위 판정 장치 및 이의 제조 방법 有权
公开(公告)号：KR101935659B1
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：KR1020170041965
申请日：2017-03-31
申请人： 고려대학교 산학협력단
发明人： 이헌 , 최학종
IPC分类号： G01N21/45 , G06Q30/00 , G02B5/26 , G02B5/22 , G02B5/18

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