专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

KR102421265B1 진공환원로 有权
公开(公告)号：KR102421265B1
公开(公告)日：2022-07-15
申请号：KR1020200064872
申请日：2020-05-29
IPC分类号： F27B17/00 , F27D5/00 , C01B3/00
摘要： 개시된본 발명에따른진공환원로는, 내부에진공상태가유지되며, 개폐부에의해개폐가능하게구비되는진공로; 상기진공로의내부하측에적층되면서형성된가스유로에의해가연성가스와시료의반응을일정하게유지하는트레이부; 상기진공로의내부에구비되어상기시료를가열시키는가열부; 및상기진공로에연결되어순환을위해가연성가스를냉각하는가스냉각부;를포함한다. 본발명에따르면, 칼슘, 마그네슘등의알칼리토금속을일반전기로에서산화소성하여다수의기공에의한비표면적을확대한상태에서알칼리토금속에수소를흡장하는공정에활용하므로환원로내의공기(산소)를제거하여가연성가스의발화를막거나고온에서산화를방지하고, CVD 공정등과같이반도체제조장치에도적용가능한효과가있다.

2. 发明授权

KR102306866B1 열적 프로세싱 챔버용 에지 링 有权
公开(公告)号：KR102306866B1
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：KR1020207024847
申请日：2012-02-20
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/67 , F27D11/12 , F27D5/00
摘要： 본발명의실시예들은개선된온도균일도로기판을지지하기위한에지링을제공한다. 특히, 본발명의실시예들은에지링의에너지수용면상에형성된하나또는둘 이상의표면적증대구조들을가진에지링을제공한다.

3. 发明授权

KR102233851B1 열적 프로세싱 챔버용 에지 링 有权
公开(公告)号：KR102233851B1
公开(公告)日：2021-03-29
申请号：KR1020207004706
申请日：2012-02-20
申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
发明人： 코엘멜,블레크 , 라니쉬,조셉엠. , 메이유르,아브히라쉬제이.
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/67 , F27D11/12 , F27D5/00
摘要： 본발명의실시예들은개선된온도균일도로기판을지지하기위한에지링을제공한다. 특히, 본발명의실시예들은에지링의에너지수용면상에형성된하나또는둘 이상의표면적증대구조들을가진에지링을제공한다.

4. 发明公开

KR20210021390A 캐리어 요소들을 이격하기 위한 다중 부분 지지 요소 审中-公开
公开(公告)号：KR20210021390A
公开(公告)日：2021-02-25
申请号：KR20217001665
申请日：2019-06-18
IPC分类号： F27D5/00 , C21D9/00
摘要： 본발명은캐리어요소들(40)을이격시키기위한다중부분지지요소(10)에관한것으로, 적어도상부부분(20) 및하부부분(30)을포함하며, 상부부분(20)과하부부분(30) 사이에캐리어요소(40)를고정하기위해상부부분(20)은회전식연결에의해하부부분(30)에축 방향으로분리가능하게연결될수 있고, 회전식연결은하부부분에마련된스터드(31) 및스터드(31)가안에서나사고정될수 있는, 상부부분(20)에마련된개구부(21)에의해형성되고, 회전식연결은스터드가축 방향유격으로개구부(21)에잠겨지게되도록스터드(31)를개구부(21)에나사로고정시킨후에회전식연결이다시해제되도록구현되며, 여기서하부부분(30)은층 두께가에지쪽으로향하여감소되는디스크형부착물(34)을갖는다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB