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    • 2. 发明授权
    • 가스 분배 네트워크에서의 흐름 밸런싱
    • KR102360546B1
    • 2022-02-08
    • KR1020200093081
    • 2020-07-27
    • F17D1/20F17D3/01H01L21/67
    • 본발명은, 프로세스가스를멀티-스테이션증착챔버내의 2 이상의스테이션에공급하는흐름분배네트워크에관한것이다. 각흐름분배네트워크는유입부및 프로세스가스를스테이션으로전달하기위한흐름분배라인을포함한다. 흐름분배라인은유입부로부터하류측의분기점및 분기점으로부터하류측의 2 이상의지류를포함한다. 각지류는스테이션으로공급한다. 흐름분배네트워크는또한각 지류에매우가변적인흐름엘리먼트를포함한다. 제한컴포넌트는각 지류에서가변적인제어엘리먼트로부터하류측에위치된다. 이러한제한컴포넌트들은명목상동일하고, 유입부압력을과도하게증가시키기않으면서흐름밸런싱을개선할수 있도록가변적인흐름컴포넌트로부터압력강하의대부분을시프트시키도록디자인된다. 일부케이스에서, 부하시프팅 (load shifting) 은더 가변적인흐름컴포넌트가언쵸킹흐름체제 (unchoked flow regime) 에서동작하게할 수있다.
    • 4. 发明公开
    • 가스 압축기 시스템
    • 气体压缩机系统
    • KR1020170051753A
    • 2017-05-12
    • KR1020150152459
    • 2015-10-30
    • 현대중공업 주식회사
    • 김영훈남기일박상민
    • F17D1/20F17D1/04F17D1/07F04B49/00F04C28/00F04D27/02F17C9/00F17C13/00
    • 본발명은가스압축기시스템에관한것으로서, 보다구체적으로는가스압축기로극저온가스가유입될경우유입된가스의온도를일정수준으로높여이송되도록하고, 가스압축기의서지현상발생시빠른시간내에정상의상태로회복할수 있도록운전의안정성을향상시킨가스압축기시스템에관한것이다. 이를위해, 가스가유입되는흡입관에설치되고흡입관으로흡입되어이송되는가스의압력을조절하는압력조절밸브와상기압력조절밸브에서이송된가스의유량을제어하기위한흡입밸브를포함하는흡입부; 상기흡입부에서이송되는가스를압축하고압축된가스를냉각하기위한압축부; 상기압축부에서이송된가스를이상고압발생시 배출시키고, 정상압력일경우에는가스사용처로배출하기위한배출부; 가스압축기에서서지현상발생시 가스압력을재순환시켜정상압력을유지하도록하여서지현상으로부터회복시키기위한안티서지부;를포함하고, 상기흡입부로이송되는극저온가스를열교환하여일정수준의온도로높이기위한히터;를더 포함하는가스압축기시스템을제공한다.
    • 本发明涉及一种气体压缩机系统,并且当所述低温气体流入气体压缩机和进料在恒定的水平增加了进入的气体的温度更特别euroneun,在浪涌的气体压缩机的情况下迅速恢复到正常状态 本发明涉及一种提高操作稳定性的气体压缩机系统。 为此,安装在吸入管的抽吸单元,其中被导入的气体,并用于控制在压力调节阀的进料气体的流速和压力调节阀,用于调节要被输送的气体的压力的吸入阀被吸入到吸入管; 压缩单元,用于压缩从抽吸单元输送的气体并用于冷却压缩气体; 排出单元,用于当产生异常高压时排出从压缩单元输送的气体,并且当压力正常时将气体排出到使用位置; 一种用于提高包含和加热深冷气体加热器在一定水平的温度被传递到吸入;通过回收浪涌的情况下,在气体压缩机开发用于从浪涌回收并保持气体压力常压反立设部; 2.如权利要求1所述的气体压缩机系统
    • 9. 发明公开
    • 맥동 댐퍼
    • 脉冲阻尼器
    • KR1020120069294A
    • 2012-06-28
    • KR1020100130787
    • 2010-12-20
    • 대우조선해양 주식회사
    • 김동찬류승각안재완손수정
    • F17D1/20F17C13/00
    • F17D1/20F04B39/10F16L3/01F16L55/041F17C13/00F17D1/005
    • PURPOSE: A pulse damper is provided to increase volume for absorbing pulsation and to improve space utilization by bending a pipe into a coil shape. CONSTITUTION: A pulse damper(100) comprises a bending part(110). The pulse damper is installed in a discharge port of a reciprocating pump used in liquid vaporizing at a room temperature. The bending part is formed by bending a pipe(111) connected to a piping of the discharge port and provides volume for absorbing pulsation of liquid transferred by the piping. The pulse damper comprises a support(120) for supporting the bending part. The bending part is bent to a coil shape.
    • 目的:提供脉冲阻尼器,以增加吸收脉动的体积,并通过将管弯曲成线圈形状来提高空间利用率。 构成:脉冲阻尼器(100)包括弯曲部(110)。 脉冲阻尼器安装在室温下用于液体蒸发的往复泵的排出口中。 弯曲部通过弯曲连接到排出口的管道的管(111)而形成,并且提供用于吸收由管道传送的液体的脉动的体积。 脉冲阻尼器包括用于支撑弯曲部分的支撑件(120)。 弯曲部弯曲成线圈形状。
    • 10. 发明授权
    • 액화가스 공급유량 조절장치
    • 液化气供应流量控制装置
    • KR101106597B1
    • 2012-01-20
    • KR1020090129852
    • 2009-12-23
    • 한국항공우주연구원
    • 조혁진이상훈서희준문귀원
    • F17D1/20F17D3/01F17D1/02F16L53/00
    • 본 발명에 따르면, 내부에는 밀폐된 일정크기의 내부공간이 형성되며, 상기 내부공간에는 액화가스가 충전된 액화가스 용기; 일단은 상기 내부공간에 위치하되 상기 내부공간과 연통되도록 구비되며, 타단은 상기 액화가스를 공급받는 피공급 부재와 연통되도록 구비되어, 상기 내부공간에 충전된 액화가스를 상기 피공급 부재로 이송하는 액화가스 이송관; 상기 액화가스 용기의 일측에 위치하여 상기 내부공간의 압력을 측정하는 압력센서; 제어신호에 따라 개방 또는 차단되어 상기 내부공간의 압력을 조절하는 자동원격 밸브; 상기 내부공간 내에 위치하며 전원이 인가되면 가열되는 히터와, 상기 히터에 외부의 전원을 공급하는 전원공급선을 포함하여 구비되는 가열부; 및 상기 압력센서로부터 측정된 압력값을 전달받으며, 상기 압력값에 따라 선택적으로 상기 전원공급선에 전원을 인가하여 상기 내부공간의 온도를 조절하거나, 상기 자동원격 밸브로 제어신호를 출력하여 상기 내부공간의 압력을 조절하는 제어부;를 포함하는 액화가스 공급유량 조절장치가 개시된다.
      액화가스, 공급, 조절